Helios 5 PFIB DualBeam

VerhandlungsfähigAktualisieren am01/31

Modell

Natur des Herstellers: Hersteller

Produktkategorie

Ursprungsort

Online Beratung

Übersicht

Helios 5 PFIB DualBeam$r$n Dank der neuen PFIB-Chromatografie-Säulen, die eine 500 V Xe+-Endpolierung und eine ausgezeichnete Leistung unter allen Betriebsbedingungen erzielen, ist eine hochwertige, galliumfreie TEM- und APT-Probenvorbereitung möglich.

Produktdetails

Plasmafokussiertes Ionenstrahlscannelektronenmikroskop für TEM-Probenvorbereitung, einschließlich 3D-Charakterisierung, Querschnittsbilderung und Mikrobearbeitung

Das Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam (Focused Ion Beam Scanning Electronic Microscope oder FIB-SEM) ist ein Mikroskop mit Funktionen, das speziell für Materialwissenschaften und Halbleiteranwendungen verwendet wird. Materialwissenschaftler könnenHelios 5 PFIB DualBeam3D-Charakterisierung mit großem Volumen, galliumfreie Probenvorbereitung und präzise Mikrobearbeitung. Hersteller von Halbleitergeräten, fortgeschrittenen Verpackungstechnologien und AnzeigeeinrichtungenHelios 5 PFIB DualBeamSchadenfrei, großflächige Gegenbehandlung, schnelle Probenvorbereitung und hochzuverlässige Fehleranalyse.

Hauptmerkmale der Materialwissenschaft

Galliumfreie STEM- und TEM-Probenvorbereitung

Dank der neuen PFIB-Chromatografie-Säulen, die eine 500 V Xe+-Endpolierung und eine ausgezeichnete Leistung unter allen Betriebsbedingungen erzielen, ist eine hochwertige, galliumfreie TEM- und APT-Probenvorbereitung möglich.

Neue Generation 2,5 μA Xenon Plasma FIB Chromatografie Säulen

Verwenden Sie die neue Generation von 2,5 μA Xenon Plasma FIB Chromatography Columns (PFIB) für statistisch relevante 3D-Charakterisierung, Querschnittsbilderung und Mikrobearbeitung mit hohem Durchsatz und hoher Qualität.

Sub-Nano-Eigenschaften bei niedriger Energie

Mit der Elektronischen Chromatografie-Säule von Elstar mit der Hochstrom-UC+-Monochromatechnologie können subnanometrische Leistungen bei geringer Energie erreicht werden, um detaillierteste Informationen anzuzeigen.

Fortgeschrittene Funktionen

Elektronen- und Ionenstrahlinduzierte Ablagerung und Ätzfunktion mit optionalen Thermo Scientific MultiChem- oder GIS-Gasfördersystemen durch FIB/SEM-Systeme.

Kurze Zeit für Nano-Informationen

Mit der SmartAlign- und FLASH-Technologie können Anwender aller Erfahrungsstufen in kürzester Zeit Informationen im Nanoskala erhalten.

Fortgeschrittene Automatisierung

Schnellste und schnellste Multipoint-Automatisierung mit der optionalen AutoTEM 5-SoftwareStandortundNicht vor OrtTEM-Probenvorbereitung und Querschnittsbilderung.

Multimode Sub-Oberflächen und 3D-Informationen

Mit der optionalen Software Auto Slice & View 4 (AS&V4) können Sie auf qualitativ hochwertige, multimodale Sub-Oberflächen und 3D-Informationen zugreifen und Ihre Interessengebiete genau lokalisieren.

Vollständige Probeninformationen

Mit bis zu sechs integrierten Detektoren, die in die Chromatografie-Säule und unter der Linse integriert sind, erhalten Sie die vollständigsten Probeninformationen für klare, präzise und ladungsfreie Kontraste.

Kein falsches Bild

Pseudo-freie Bildgebung basierend auf integriertem Probenreinigkeitsmanagement und speziellen Bildmodus wie SmartScan ™ im DCFI-Modus.

Genaue Probennavigation

Dank der hohen Stabilität und Genauigkeit der Nav-Cam-Navigation in den 150 mm Spannungsstanden und den optionalen Kammern kann eine präzise Probennavigation auf die spezifischen Anforderungen der Anwendung angepasst werden.

Materialwissenschaftliche Spezifikationen

Helios 5 PFIB CXe DualBeam	Helios 5 PFIB UXe DualBeam
Elektronische optische Systeme	Elstar emittiert eine SEM-Chromatografie-Säule mit ultrahoher Auflösung mit: Eintauchmagnetoskop Hochstabile Short Field Launch Gun für eine stabile, hochauflösende Stromanalyse UC+ Monochrome Technologie
ElektronikBündelauflösung	Bei optimierter Arbeitsentfernung (WD): 1 kV 时 0.7 nm 500 V (ICD) 时 1.0 nm Auf dem Schwerpunkt: 15 kV 时 0.6 nm 1 kV 时 1.2 nm
Elektronenstrahlparameterraum	Elektronenstrahlstrombereich: 0,8 pA bis 100 nA Beschleunigungsspannungsbereich: 200 V – 30 kV Landungsenergiebereich: 20* eV – 30 keV Maximale horizontale Schützfeldbreite: 2,3 mm bei 4 mm WD
Ionenoptische Systeme	Hochleistungs-PFIB-Chromatografie-Säule mit induktiv gekoppeltem Xe+-Plasma (ICP) Ionenstrahlstrombereich: 1,5 pA bis 2,5 µA Beschleunigungsspannungsbereich: 500 V - 30 kV Maximale horizontale Sichtfeldbreite: 0,9 mm am Plasma-Strahlzusammenbruch Auflösung des Ionenstrahls beim Überlappungspunkt < 20 nm mit statistischer Methode bei 30 kV < 10 nm bei Anwendung der Winkelwahlmethode bei 30 kV
Detektoren	In-Glas-SE/BSE-Detektor von Elstar (TLD-SE, TLD-BSE) SE/BSE-Detektor (ICD) in der Elstar-Chromatografie* Everhart-Thornley SE-Detektor (ETD) IR-Kamera zur Anzeige von Proben/Chromatografie-Säulen Hochleistungsstarke Ionenumwandlungs- und Elektronendetektoren (ICE) für sekundäre Ionen (SI) und sekundäre Elektronen (SE) Navigationskamera Nav-Cam in der Kammer* Ausdehnbarer, niederspannungsfähiger, kontrasthoher, orientierter, Solid State Reverse Spread Electronic Detector (DBS)* Integrierte Plasmastrahlstrommessung
Tragstelle und Proben	Flexible 5-Achs-Elektroplattform: XY-Bereich: 110 mm Z-Bereich: 65 mm Drehung: 360° (unbegrenzt) Neigungsbereich: -38° bis +90° XY-Wiederholbarkeit: 3 μm Maximale Probenhöhe: Abstand von 85 mm Maximales Probengewicht bei 0° Neigung: 5 kg (einschließlich Probenhalter) Maximale Probengröße: 110 mm bei Drehung (auch größere Proben, aber begrenzte Drehung möglich) Drehung und Neigung des Rechenzentrums	Hohe Präzision, 5-Achse elektrischer Probentasch (mit XYR-Achse), piezoelektrischer Antrieb XY-Bereich: 150 mm Z-Bereich: 10 mm Drehung: 360° (unbegrenzt) Neigungsbereich: -38° bis +60° XY-Wiederholbarkeit: 1 μm Maximale Probenhöhe: Abstand von 55 mm Maximales Probengewicht bei 0° Neigung: 500 g (einschließlich Probenhalter) Maximale Probengröße: 150 mm bei Drehung (auch größere Proben, aber begrenzte Drehung möglich) Drehung und Neigung des Rechenzentrums

Spezifikation

Ähnliches Produkt Empfehlen