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Helios 5 Laser PFIB System

VerhandlungsfähigAktualisieren am01/31
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Produktkategorie
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Übersicht
Das Helios 5 Laser PFIB System ermöglicht die schnelle 3D-Charakterisierung von Materialien im Millimeter-Maßstab mit einer Nanoauflösung.
Produktdetails

Helios 5 Laser PFIB System

FIB SEM Laserwerkzeug zum Querschnitt im Millimetermaßstab mit hohem Durchsatz und zur 3D-Charakterisierung mit Nanometerauflösung

Die Thermo ScientificHelios 5 Laser PFIB Systemkombiniert die erstklassige monochromierte Elstar Scanning Electron Microscopy (SEM)-Säule mit einem plasmafokussierten Ionenstrahl (PFIB) und einem Femtosekundenlaser, um ein hochauflösendes Bild- und Analysewerkzeug mitvor OrtAblationsfähigkeit, die beispiellose Materialentfernungsraten für eine schnelle Charakterisierung im Millimeter-Maßstab bei Nanometer-Auflösung bietet.

Hauptmerkmale


Schnelle Materialentfernung

Millimetercherschnitte mit bis zu 15.000x schnellerer Materialentfernung als ein typischer Galliumfokusierter Ionenstrahl.

Genaue und wiederholbare Schnittplatzierung

Der gleiche übereinstimmende Punkt für alle 3 Strahlen (SEM/PFIB/Laser) ermöglicht eine genaue und wiederholbare Schnittplatzierung und 3D-Charakterisierung.

Hochdurchsatzbearbeitung anspruchsvoller Materialien

Enthält nicht leitende oder Ionenstrahlempfindliche Proben.

Teilet alle Funktionen der Helios 5 PFIB-Plattform

Hochwertige galliumfreie TEM- und APT-Probenvorbereitung und hochauflösende Bildgebungsmöglichkeiten.

Statistisch relevante Untersurf- und 3D-Datenanalyse

Erhalten Sie Daten für viel größere Volumen in kürzerer Zeit.

Schnelle Charakterisierung tiefer unterirdischer Merkmale

Extraktion von unterirdischen TEM-Lamellen oder Stücken zur 3D-Analyse.

Schnelle und einfache Charakterisierung luftempfindlicher Proben

Es ist keine Notwendigkeit, Proben zwischen verschiedenen Instrumenten zur Bildgebung und zum Querschnitt zu übertragen.

Spezifikationen

Spezifikationen für Femtosekunden-Laser
Laserintegration
  • Vollständig in die Kammer integriert mit demselben übereinstimmenden Punkt für alle 3 Strahlen (SEM/PFIB/Laser), was eine genaue und wiederholbare Schnittplatzierung und 3D-Charakterisierung ermöglicht.

Laserausgabe
Erste Harmonik
  • Wellenlänge

1030 nm (IR)


  • Pulsdauer

<280 ms

Zweite Harmonik
  • Wellenlänge

515 nm (grün)


  • Pulsdauer

< 300 ms

Optik
Zufälliger Punkt
  • Arbeitsabstand = 4 mm (gleiche wie SEM/FIB)

Objektivlinse
  • Variabel (motorisiert)

Polarisierung
  • Horizontal/vertikal

Wiederholungsrate
  • 1 kHz bis 1 MHz

Positionsgenauigkeit
  • < 250 nm

Schutzverschluss
  • Automatisierter SEM/PFIB-Schutzverschluss

Software
  • Lasersteuerungssoftware

  • Laser 3D serielles Schnitten Workflow

  • Laser 3D serielles Schnitten Workflow mit EBSD

  • Laserskript mit optionaler Thermo Scientific AutoScript 4 Software

Sicherheit
  • Verriegeltes Lasergehäuse (Lasersicherheit Klasse 1)