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Helios 5 Hydra DualBeam Mikroskop

VerhandlungsfähigAktualisieren am01/31
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Das Helios 5 Hydra DualBeam Mikroskop verfügt über eine Vielzahl von Ionentypen für die Plasmafokussierte Ionenstrahlscannelektronenmikroskopie zur Prüfung von 3D-EM- und TEM-Proben.
Produktdetails

Helios 5 Hydra DualBeam MikroskopPlasmafokussierte Ionenstrahlscannelektronenmikroskopie mit mehreren Ionentypen für die 3D-EM- und TEM-Probenvorbereitung


Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam (Plasmafokussiertes Ionenstrahlscannelektronenmikroskop, kurz PFIB-SEM) bietet vier verschiedene Ionentypen als Hauptstrahl an und ermöglicht Ihnen die Auswahl von Ionen, die die besten Ergebnisse für Proben und Anwendungsfälle liefern, wie z. B. Probenvorbereitung und 3D-Materialcharakterisierung mit Scan-Durchlaufelektronenmikroskopen [STEM] und Durchlaufelektronenmikroskopen [TEM].

Sie können in weniger als zehn Minuten einfach zwischen Argon, Stickstoff, Sauerstoff und Xenon wechseln, ohne die Leistung zu beeinträchtigen. Diese Flexibilität erweitert die Anwendungsmöglichkeiten von PFIB erheblich und ermöglicht die Optimierung bestehender Anwendungsfälle durch die Untersuchung von Ionen-Proben-Wechselwirkungen.

Helios 5 Hydra DualBeam kombiniert die innovative neue Poly-Ion-Typ-Plasma-FIB-Säule (PFIB) mit der monochromatischen Thermo Scientific Elstar UC+ SEM-Chromatografie-Säule, um fortgeschrittene fokussierte Ionen- und Elektronenstrahlenleistungen zu bieten. Die intuitive Software und das Automatisierungsniveau und die Benutzerfreundlichkeit ermöglichen die Beobachtung und Analyse der relevanten Unterflächenvolumentinformationen.

Helios 5 Hydra DualBeam MikroskopHauptmerkmale

Breite Anwendungsfläche

Die Ionenquellen bieten die folgenden vier schnellen, wechselbaren Ionentypen für die breitesten Anwendungsbereiche: Xe, Ar, O, N

Fortgeschrittene Automatisierung

Mit der optionalen AutoTEM 5-Software können Sie auf schnellste und einfachste Weise mehrere Punkte automatisierenStandortundNicht vor OrtTEM Probenvorbereitung und Kreuzschneiden

Kurze Implementierungszyklen auf Nanoskale

Mit SmartAlign- und FLASH-Technologien können Anwender aller Erfahrungsstufen in kürzester Zeit Informationen im Nanoskala erhalten

Elektronen- und Ionenstrahl induzierte Ablagerung und Ätzung

Elektronen- und Ionenstrahlinduzierte Ablagerung und Ätzfunktion auf DualBeam-Systemen mit optionalen Thermo Scientific MultiChem- oder GIS-Gasfördersystemen.

Kein falsches Bild

Basierend auf integriertem Probenreinigkeitsmanagement und speziellen Bildverarbeitungsmodi wie SmartScan und DCFI

Hoher Durchsatz und hohe Qualität

Verwenden Sie die nächste Generation von 2,5 μA Plasma-FIB-Chromatogrammkolonnen für eine hohe Durchfluss-, qualitativ hochwertige und statistisch relevante 3D-Charakterisierung, Kreuzschneiden und Mikrobearbeitung.

Qualitativ hochwertige Probenvorbereitung

Dank der neuen PFIB-Chromatografie-Säule, die eine 500 V-Endpolierung und eine ausgezeichnete Leistung unter allen Betriebsbedingungen ermöglicht, können hochwertige galliumfreie TEM- und APT-Proben mit Xenon, Argon oder Sauerstoff hergestellt werden.

Vollständige Probeninformationen

Die vollständigsten Probeninformationen für klare, präzise und ladungsfreie Kontraste erhalten Sie mit bis zu sechs integrierten Sonden, die in die Chromatografie-Säule und unter der Linse integriert sind

Genaue Probennavigation

Dank der hohen Stabilität und Genauigkeit des 150-mm-Tragstechns oder der Flexibilität des 110-mm-Tragstechns sowie der optionalen Thermo Scientific Nav-Cam-Kamera in der Kammer können Sie sich an die spezifischen Anwendungsanforderungen anpassen.

Leistungsdaten


Helios 5 Hydra CX DualBeam Helios 5 Hydra UX DualBeam
ElektronikBündelauflösung
  • Der beste WD:

    • 1 kV 时 0.7 nm

    • 500 V (ICD) 时 1.0 nm

  • Auf dem Schwerpunkt:

    • 15 kV 时 0.6 nm

    • 1 kV 时 1.2 nm

Elektronenstrahlparameterraum
  • Elektronenstrahlstrombereich: 0,8 pA bis 100 nA bei allen Beschleunigungsspannungen

  • Beschleunigungsspannungsbereich: 350 V – 30 kV

  • Landungsenergiebereich: 20* eV – 30 keV

  • Maximale horizontale Schützfeldbreite: 2,3 mm bei 4 mm WD

Ionenoptische Systeme

Hochleistungs-PFIB-Chromatografie-Säule mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP), Unterstützung für vier Ionentypen und Schnellschaltfähigkeit

  • Ionentypen (primäre Ionenstrahlen): Xe, Ar, O, N

  • Schaltzeit < 10 Minuten, nur Softwarebedienung erforderlich

  • Ionenstrahlstrombereich: 1,5 pA bis 2,5 μA

  • Beschleunigungsspannungsbereich: 500V – 30 kV

  • Maximale horizontale Sichtfeldbreite: 0,9 mm am Plasma-Strahlzusammenbruch

Xenon-Ionenstrahlauflösung bei Überlappungspunkten

  • < 20 nm mit statistischer Methode bei 30 kV

  • < 10 nm bei 30 kV mit selektiver Randmethode

Kammer
  • E- und I-Strahlenkonfluenzpunkte bei der Analyse von WD (4 mm SEM)

  • Hafen: 21

  • Innenbreite: 379 mm

  • Integrierter Plasmareiniger

Sonde
  • SE/BSE-Sonden in Elstar-Chromatografiespiegeln (TLD-SE, TLD-BSE)

  • SE/BSE-Sonde (ICD) in der Elstar Chromatografie-Säule*

  • Everhart-Thornley SE-Detektor (ETD)

  • IR-Kamera zur Anzeige von Proben/Chromatografie-Säulen

  • Hochleistungs-Kammer-Elektronen- und Ionensonde (ICE) für sekundäre Ionen (SI) und sekundäre Elektronen (SE)

  • Navigationskamera Nav-Cam in der Kammer*

  • Ausdehnbare, niedrige Spannung, hoher Kontrast, orientierte, Solid State Reverse Spread Elektronensonde (DBS)*

  • Integrierte Plasmastrahlstrommessung

Tragstelle und Proben

Flexible fünfachsige elektrische Tragstelle:

  • XY-Bereich: 110 mm

  • Z-Bereich: 65 mm

  • Drehung: 360° (unbegrenzt)

  • Neigungsbereich: -38° bis +90°

  • XY-Wiederholbarkeit: 3 μm

  • Maximale Probenhöhe: Abstand von 85 mm

  • Maximales Probengewicht bei 0° Neigung: 5 kg (einschließlich Probenhalter)

  • Maximale Probengröße: 110 mm bei Drehung (auch größere Proben, aber begrenzte Drehung möglich)

  • Drehung und Neigung des Rechenzentrums

Hochpräziser elektrischer Fünf-Achs-Tragstisch mit XYR-Achse mit piezoelektrischem Antrieb

  • XY-Bereich: 150 mm

  • Z-Bereich: 10 mm

  • Drehung: 360° (unbegrenzt)

  • Neigungsbereich: -38° bis +60°

  • XY-Wiederholbarkeit: 1 μm

  • Maximale Probenhöhe: Abstand von 55 mm

  • Maximales Probengewicht bei 0° Neigung: 500 g (einschließlich Probenhalter)

  • Maximale Probengröße: 150 mm bei Drehung (auch größere Proben, aber begrenzte Drehung möglich)

  • Drehung und Neigung des Rechenzentrums