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Shanghai Peyuan Instrument Equipment Co., Ltd.
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Inländische Plasmagraviermaschine

VerhandlungsfähigAktualisieren am01/14
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Übersicht
Die inländische Plasmagraviermaschine PLUTO-MH ist eine innovative experimentelle Plattform für Hochschulen, wissenschaftliche Forschungsinstitute und Unternehmenslabore oder innovative Unternehmen mit kleinen Serienproduktionen. Für die unterschiedlichen Bedürfnisse der Benutzer bieten wir verschiedene funktionelle Zubehör an, die gleichzeitig eine Vielzahl von Fähigkeiten besitzen, wie Oberflächenbeschichtung (Beschichtung), Gravur, Plasmachemie, Pulverplasmabehandlung.
Produktdetails

国产等离子刻蚀机

  PLUTO-MH inländische PlasmagraviermaschineEigenschaften:
1. Für Anwendungen mit hohen Anforderungen an die Plasmabehandlung
2. Die Plasmaquelle verwendet den RFG-Generator mit einer Frequenz von 13,56 MHz, um physikalische und chemische Reaktionen zu berücksichtigen
3. Mit 500W-Leistungsversorgung, automatischer Impedanzanpassung, kann der Hochleistungs-RF-Generator auf verschiedene experimentelle Anforderungen reagieren, um eine hohe Energiedichte und eine hohe Verarbeitungseffizienz zu gewährleisten
4. Hochpräzise Vakuumkontrolle, die sich an verschiedene Verarbeitungsanforderungen anpasst
5.316 Edelstahl-Gehäuse (oder 6061 Aluminium-Legierung), vollständige Edelstahl-Rohrleitungen und Verbindungen für verschiedene Gase (einschließlich korrosiver Gase)
6.4.3 Zoll industrieller Touchscreen, einfache Softwarebedienung, verschiedene Parametereinstellungen und Prozesskombinationsbehandlungsmodus
7. kann eine Vielzahl von Zubehör, beschichtete Beschichtung, Elektroden Temperaturregelung, Plasma-Intensität-Kontrolle, Plasma-Chemie und andere Funktionen hinzufügen (bei speziellen Anwendungen, bitte konsultieren Sie den Verkäufer)
8. Bereitstellung entsprechender Plasmabehandlungslösungen und maßgeschneiderter Spezialanwendungsgeräte nach den Bedürfnissen der Benutzer
  PLUTO-MH inländische PlasmagraviermaschineParameter:
Spezifikationen der Vakuumhöhle: 316 Edelstahlkammer, Durchmesser 210 mm* (Tiefe) 230 mm ca. 4 L
Elektrode: Zwei adaptive Flachplattenelektroden, Material T6061 Aluminiumlegierung (Teflon-beschichtete Bohrlose Flachplattenelektroden sind verfügbar, geeignet für Proben, die eine doppelseitige Behandlung erfordern)
Elektrodengröße: 120 * 135 mm Abstand 20 ~ 75 mm verstellbar (umkehrbar)
Plasma-Generator: RF-Generator, Frequenz: 13,56 MHz
Leistung: 0-500W kontinuierlich einstellbar, automatische Impedanzanpassung, Genauigkeit 1W
Gassteuerung: Nadelstromventil, Standard mit 1-Wege-Gas, Rohrleitungen und Verbindungen aus Edelstahl
Steuerung: 4,3 Zoll industrieller Touchscreen
Funktionen der Steuerungssoftware: Die Schnittstelle zeigt den Arbeitszustand in Echtzeit an,
Es können eingestellte Werte und tatsächliche Werte angezeigt werden, um eine einfache Echtzeit-Steuerung zu ermöglichen.
Frei einstellbare Plasmaleistung und Gaseingangszeit
Mehrstufige Betriebsberechtigung, Kombinationssteuerung mehrerer Prozessparameter,
Vollmanuelle und vollautomatische Steuerung optional
Schutzeinrichtung: Notstandsschutzknopf mit einem Klick
  (Für weitere Funktionen wenden Sie sich bitte an den Verkäufer)
国产等离子刻蚀机

PLUTO-MH inländische PlasmagraviermaschineAnwendungsbereiche:
Konfigurieren Sie verschiedene Module und erweitern Sie verschiedene Anwendungen
Heizelektrodenmodul - temperaturgesteuert, beschleunigt die Plasmabehandlungsgeschwindigkeit und verbessert die Gleichmäßigkeit der Probenbehandlung erheblich
Ablagerung von Beschichtungsmodulen, Änderung der Oberflächeneigenschaften:
Ablagerung von CF-Material, die Probenoberfläche kann wasserabweisende Eigenschaften haben
Ablagerung von benzenhaltigem Material, die Probenoberfläche spielt wasserdichte Eigenschaften der Isolierung
Ablagerung von hydroxyhaltigen Materialien zur Verbesserung der Bindungswirkung der Probenoberfläche und anderer Materialien
Induktionskopplungsmodul - Induktionskopplungsplasmagerät
Gasmischung
Gemischte Konstruktionen können auf Anfrage ausgeführt werden
Gasreinigung und Reaktion
Gasreinigung und chemische Reaktion mit Plasma und verwandten Materialien