6/8 Zoll vollautomatische Waschmaschine

1. Produktübersicht:

Gama Serie6/8 Zoll vollautomatische WaschmaschineErfüllen Sie alle feuchten Prozessanforderungen, decken Sie RCA, PR Strip, Solvent, Wet Etch und andere Anwendungen ab, können für typische 0,35um, 0,18um Prozessknoten verwendet werden, unterstützen Sie 90nm Prozessknoten, kompatibel mit 6-Zoll- und 8-Zoll-Wafers。

2. GerätAnwendung：

Wafer Größe

6, 8 Zoll.

Anwendungsmaterial

Silizium, Siliziumcarbid, Silizium-basiertes Galliumnitrid

Anwendungsverfahren

Vorreinigung, Entklebung, Siliziumnitrid-Entfernung, Metallentfernung(Co, Ti), Recycle-Reinigung, Nachpolierung, Epi-Reinigung, Epi-Nachreinigung

Anwendungsbereiche

Integrierte Schaltungen, Unterlagen, Verbindungshalbleiter, Leistungshalbleiter

3. Besondere Vorteile：

Norden Waschmaschinen der GAMA-Serie bei KorrosionsgleichmäßigkeitOffensichtlich.Korrosionsgleichmäßigkeit ist von entscheidender Bedeutung für die Konsistenz und Stabilität der Chipfertigung.
Durch ein sorgfältig konzipiertes Flüssigkeitsströmsystem, einen chemischen Lösungsverteilungsmechanismus und eine Strategie zur Temperaturregelung gewährleistet die Waschmaschine eine hochgleichmäßige Korrosionswirkung auf der gesamten Chip-Oberfläche. Unabhängig davon, ob es sich um eine große Fläche von Chips oder komplexe grafische Strukturen handelt, ist ein gleichbleibender Korrosionsgrad möglich.
Techniken wie Gleichmäßiges Sprühen mit mehreren Sprühköpfen und Rotationsreinigung können verwendet werden, damit die chemische Lösung die Oberfläche des Chips gleichmäßig abdecken kann, um eine übermäßige oder unzureichende lokale Korrosion zu vermeiden. Gleichzeitig können präzise Temperaturregelsysteme eine Gleichmäßigkeit der Temperatur während des gesamten Reinigungsprozesses gewährleisten, da Temperaturunterschiede die Geschwindigkeit und Gleichmäßigkeit der Korrosionsreaktion beeinflussen können. In praktischen Anwendungen bietet die Waschmaschine eine hervorragende Korrosionsgleichmäßigkeit, die die Qualität und Leistung des Chips effektiv verbessert, auch bei Chips mit unterschiedlichen Materialien und Dicken.

4. Ausrüstungsmerkmale

Kompakte Konstruktion und geringe Fläche

Modulares Design mit flexibler und skalierbarer Konfiguration

Ausgewählte Konstruktion für Prozessstabilität

Präzises chemisches Wägesystem für hochwertige Prozesse