Das zentrale Ziel der Vakuummeterinstallation besteht darin, Messgenauigkeit und -stabilität zu gewährleisten.Übereinstimmung der FlanschschnittstelleundLeitungsausrichtungEs sind zwei wichtige Aspekte, die dieses Ziel beeinflussen. Wenn es falsch behandelt wird, kann Leckage, Abweichungen, Reaktionsverzögerungen und sogar Geräteschäden verursacht werden, wird in diesem Artikel die wichtigsten Punkte der Grubenvermeidung und die praktischen Lösungen im Detail demontiert.

I. Flanschschnittstelle Übereinstimmung Loch: Kern ist “Dichtung+Kompatibel”

Flansch als Verbindungsknotenpunkt von Vakuummeter und System, dessen Übereinstimmung direkt bestimmt Dichtungseffekt und Messgenauigkeit “Schnittstelle nicht kompatibel”“Dichtung fehlgeschlagen”“Strukturelle Störungen”Drei große Fragen.

1. Strikte Kontrolle der Flanschstandards, Vermeidung“Nicht-Standard-Mischung”

Standards und Eigenschaften für Vakuumflansche

Schlüsselpunkte zur Vermeidung

•Verbot nur “Messgröße”Übereinstimmung zu beurteilen, muss überprüft werdenDurchmesser (z.B.KF16undCF35Typ der Dichtung, Schraubenbohrung und Anzahl；

•Hochvakuumsysteme (10⁻⁵ Paunten) streng verbotenKFDirektverbindung mit Flansch, bevorzugtCFFlansch (Metall sauerstofffreie Kupferdichtung, Leckage≤10⁻ ¹¹ Pa・m³/s）；

•Nicht-Standard-Flansche sind maßgeschneidertSpezielle ÜbergangsverbindungenSchleifen und Schweißen von Flanschdichtungsflächen ist verboten (die Gleichheit wird zerstört und Leckage verursacht).

2. Dichtungsauswahl und Montage: Details bestimmen Leckage

Das Material und die Installationsmethode der Dichtungen beeinflussen direkt die Dichtungseffektion und müssen genau entsprechend den Vakuum- und Medieneigenschaften abgestimmt werden:

Installationsbedingungen

•Vor der InstallationWasserfreies Ethanol oder AcetonWischen Sie die Flanschdichtungsfläche, um sicherzustellen, dass es keine Staub, Partikel oder Ölverschmutzung gibt;

•Schraubbefestigung “Gleichmäßig schräg”Gesetz, Teile2~3Schritt für Schritt straffen (vermeiden Sie einseitige Kraft, die zu einer Flanschformung führt und die Dichtungsfläche ungleichmäßig passt);

•Die Dichtungsgröße muss mit dem Dichtschlitz übereinstimmen, verboten “Kleiner Dichtungsschlitz”oder“Großer Dichtungsschlitz”.

3. Vermeiden“Schnittstellenstufen”Die verursachte Messblinde Zone

Wenn der Vakuumflanschkaliber kleiner ist als der Anschlussleitungskaliber, wird “Treppenförmige Struktur”Gase und Kondensate können sich auf der Stufe leicht ansammeln, was zu einem geringeren Messwert als der reale Vakuumgehalt führt (besonders bei der niedrigen Vakuumphase).

Grubenvermeidungsprogramm

•Vorrang für die Auswahl des RohrkalibrusGleiches oder etwas größerVakuummeter;

•Verändert werden muss, verwendetGradientelle Übergangsverbindungen(Vermeidung von rechten Winkelveränderungen), Länge des Übergangsabschnitts≤Durchmesser2 Vielfach (wie25 mmLänge des Rohrdurchmessers≤50mm).

Auswirkungen der Leitungsanordnung auf die Messgenauigkeit: Der Kern ist “Pfad verkürzen+Verringerung der Störungen”

Die Verbindungsleitung wird durch Gas übertragen. “Messkanäle”Ihre Länge, Richtung, Rohrdurchmesser und Material beeinflussen direkt die Messreaktionsgeschwindigkeit und die Genauigkeit der Lesungen.“Reduzierung des Übertragungswiderstands und Vermeidung der Gasansammlung”Design.

1. Länge und Durchmesser: Je kürzer, je dicker, desto besser

Prinzipien

Die Übertragungszeit der Gasmoleküle in der Leitung ist proportional zur Leitungslänge und umgekehrt zum Quadrat des Rohrdurchmessers ——Zu lange und zu dünne Leitungen können dazu führen:

•Reaktionsverzögerung: Der Vakuumgrad des Systems hat den Standard erreicht, die Vakuummenzählung wird verzögert und nicht aktualisiert;

•Falsches Vakuum: Die Innenwand der Leitung absorbiert das Gas und kann nicht rechtzeitig von der Vakuumpumpe abgepumpt werden, was zu hohen Messungen führt.

Wichtige Punkte

•Länge der LeitungKontrolle in30 cmInnerhalbMaximal nicht länger als50 cm；

•Innendurchmesser der LeitungNicht kleiner als der Innendurchmesser der Vakuummeterschnittstelle(wieKF25Schnittstelleninnendurchmesser der Leitung≥25mm）；

•Empfehlungen für UltrahochvakuumsystemeVakuummeter mit direktem FlanschTrennen Sie die unabhängige Verbindung der Leitung (Beseitigung der Leitungsstörungen).

2. Rohrleitung: Vermeiden“Horizontale Blinde”und“Flüssigkeitsverbiegung”

Häufig gestellte Fragen und Gefahren

•Horizontales blindes Ende: die Rohrleitung ist horizontal angeordnet und das Ende geschlossen, das Gas im blinden Ende ist schwer zu pumpen, um “Zusätzliche Gasquellen”zu hohen Messwerten führen;

•Akkumulative Flüssigkeitsverbiegung: Wenn es kondensierbaren Dampf (z. B. Wasserdampf, organischer Lösungsmitteldampf) im System gibt, wird die Rohrleitung nach unten gebogen, um eine Akkumulative Flüssigkeitsverbiegung zu bilden, die Kondensationsansammlung blockiert den Kanal und den Korrosionssensor.

Grubenvermeidungsprogramm

•LeitungenVertikale PrioritätPosition des VakuummetersHöher als der SystemanschlusspunktBildung15°~30°Neigung nach oben (erleichtert den Rückfluss der Kondensation in das System und nicht die Ansammlung in der Leitung);

•Bei horizontaler Anordnung an einem Ende in der Nähe des Vakuummeters montiertEntluftungsventilregelmäßige Entleerung von Gasen;

•System mit kondensiertem Dampf, die Rohrleitung muss aufgebaut werdenTropische Heizung(Temperatur etwas höher als der Mediumkondensationspunkt) verhindert Dampfverflüssigung.

3. Reduzierung der Pipeline“Impedanzelemente”

Ventile, Filter und Ecken erhöhen den Gasübertragungswiderstand und verringern die Pumpeneffizienz, was zu Messabweichungen führt und die Rohrleitungsstruktur so vereinfacht wie möglich vereinfacht:

Wichtige Punkte

•Zwischen Vakuummeter und Systemmöglichst kein VentilWenn installiert werden muss, wählen SieKugelventil(Der Widerstand ist kleiner als das Torventil und das Nadelventil) und das Ventil bleibt während des gesamten Zeitraums offen;

•Beseitigung unnötiger Filter; Um Partikel zu filtern, wählen SieGroße Durchmesser (≥1mmMetallfilterund regelmäßig reinigen (Verstopfungen vermeiden);

•Anzahl der Ecken≤2und den Kurvenradius≥Durchmesser3 doppelt (Verringerung der Auswirkungen von Turbulenzen auf die Gasübertragung).

4. Rohrmaterial: Niedrige Entgassung ist der Schlüssel

Gewöhnlicher Kohlenstoffstahl und die Innenwand des Gummirohres absorbieren eine große Menge an Gas und werden unter Vakuumumgebung freigegeben, was die Messgenauigkeit stört.

Empfehlungen zur Materialauswahl

•Priorisierung304/316Edelstahlrohre(Innere Wand Polieren Behandlung besser, weniger absorbierende Gasmenge);

•Ultrahochvakuumsysteme benötigtElektrolytisch polierte Edelstahlrohre(Innenwandrauheit geringer, Entluftungsrate≤10⁻¹⁰ Pa・m³/(s)・cm²)）；

•Die Verwendung von Gummischlauchen ist verboten (es sei denn, kurze Abstände grob Vakuum vorübergehend verbunden), um eine Entgasung der Schlauchinnenwände oder eine Reizung der Alterung zu vermeiden.

Zusätzliche Abwehr: Installationsort und Umweltanforderungen

1. Vakuummeter Sensor erforderlichGenau in Luftströmungsrichtung.Vermeiden Sie den Rücken auf die Pumpmündung der Vakuumpumpe (sonst “Luftblinde Zone”führt zu niedrigen Lesungen);

2. Vermeiden Sie die Installation des Vakuummeters inIn der Nähe von Wärmequellen(z. B. Backofen, Motor) kann eine zu hohe Temperatur die Genauigkeit des Sensors beeinflussen (empfohlen wird, die Arbeitsumgebungstemperatur in0~40℃bei Bedarf eine Wärmedämmung installieren;

3. Weit weg von einer Schwingungsquelle (z. B. einem Vakuumpumpenkörper), kann die Schwingung den Sensor lösen oder beschädigen, und ein Dämpfungshalter kann hinzugefügt werden.

4. Installation Akzeptanz Selbstprüfliste

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