Vakuumbeschichtung (z. B. Magnetron-Spritzen, Verdunstungsbeschichtung,PECVDDie Kernbedürfnisse sindHoher Vakuum, geringe Verschmutzung und stabiler ProzesstaktDas Dichtmaterial des Vakuumventils, der Durchmesser, die Öffnungsgeschwindigkeit und die Schließgeschwindigkeit müssen mit der Tiefe des Prozesses (Pumpen von Vakuum, Beschichtung, Werkstück) angepasst werden, folgende spezifische Logik:

1. Dichtmaterial: Anpassung an Vakuum und Medium, Verunreinigung zu vermeiden

Das Dichtmaterial bestimmt direkt die Leckage, die Temperaturbeständigkeit und die Freisetzung von Schadstoffen des Ventils und muss die Wahl der Vakuumstufe und der Medientyp des Beschichtungsprozesses kombinieren:

1. Passende Dichtungsmaterialien nach Vakuumgrad

2. Spezielle Anforderungen an Prozessmedien

•Bei Beschichtungsprozessen mit korrosiven Gasen (z. B. Chlor, Fluorid): VorrangPerfluorkautschuk (FFKM） oderHash Legierung Dichtungzu verhindern, dass Gummialterung zu Dichtungsausfällen und Gasleckagen führt;

•Wenn es sich um ein ölfreies Vakuumsystem handelt (z. B. Halbleiterbeschichtung): die Verwendung von ölhaltigen Dichtmaterialien ist streng verboten. “Ölfrei zertifiziert”Gummidichtung oder Metalldichtung, in KombinationMKSTrockene Vakuumpumpe verwendet, um Öldampf Verschmutzung der Beschichtungsschicht zu vermeiden;

•Hochtemperaturbeschichtungsverfahren (z. B. Hochtemperaturverdampfungsbeschichtung, Temperatur >300℃:: AuswahlMetalldichtung (Kupfer, Aluminium) Oder hochtemperaturbeständiger Fluor-Gummi, um zu verhindern, dass das Dichtmaterial bei hohen Temperaturen verunreinigt wird.

3. Anpassung an Lecksysteme

Die Leckage des Dichtmaterials muss mit der Erkennungsgenauigkeit des Vakuumsystems übereinstimmen, die Leckage wird empfohlen≤10⁻¹⁰ Pa・m³/sVentile (z.B.MKSVakuumventil mitFFKMDichtungen), die einen geschlossenen Kreislauf mit dem Heliumspektrometer bilden, um die Stabilität des Vakuums der Beschichtungshalle zu gewährleisten.

Durchmesser: Passen Sie den Durchflussanforderungen und den Prozesstakt an, um die Effizienz und die Vakuumhaltung auszugleichen

Durchgangsdurchmesser (Ventilinnendurchmesser) bestimmt die Gasabzugsgeschwindigkeit und die Durchgangsfähigkeit des Werkstücks, die Kombination des Beschichtungshahlvolumens, der Pumpvakuumzeit und der Werkstückgröße erfordert:

1. Kernformel für Durchmesserauswahlung (vereinfachte Version)

DurchmesserD（mm）≈ √(V×S÷t)Darunter:

•VBeschichtungsvolumen (L）；

•SPumpengeschwindigkeit (L/swieMKS EDGESerie von unterstützenden Vakuumpumpen);

•tZiel-Vakuumzeit (S).

2. Durchmesser für verschiedene Beschichtungsszenen

3. Wichtige Hinweise

•Übermäßig großer Durchmesser führt leicht zu einem erhöhten Risiko von Vakuumleckage und erfordert eine Vakuumpumpe mit höherer Pumpgeschwindigkeit; Wenn der Durchmesser zu klein ist, verlängert sich die Vakuumzeit und verringert den Produktionslinientakt;

•Mehrkanalbeschichtungssystem (z. B. Multi-Target Magnetron Spritzen): Hauptpumpekanal mit großem Durchmesser (DN80 bis DN125Zweigkanal mit kleinem Durchmesser (DN15 bis DN40Partitionsvakuumkontrolle zu realisieren.

3. Öffnungsgeschwindigkeit: Anpassung des Prozesses, um Vakuumschwankungen und Beschichtungsfehler zu vermeiden

Die Öffnungsgeschwindigkeit (die Zeit des Ventils von vollständig geschlossen bis vollständig geöffnet) muss an die Kernanforderungen des Prozesses angepasst werden, um zu vermeiden, dass die Geschwindigkeit zu schnell ist/Zu langsam verursacht Vakuumschwankungen oder Beschichtungsqualitätsprobleme:

1. Geschwindigkeitsversammlung verschiedener Prozessverbindungen

2. Synergie zwischen Geschwindigkeit und Dichtmaterial

•Schnellschaltventil: Wählen Sie verschleißfeste, stoßfeste Dichtungsmaterialien (z. B. Fluor-Gummi, Metalldichtung) bevorzugt, um zu vermeiden, dass häufiges Schalten zu Verschleiß der Dichtung führt und die Lebensdauer verlängert;

•Entspannungsventil: Optional mit einer elastischeren Silikongummidichtung, um die Schlagkraft beim Schließen des Ventils zu reduzieren und die Dichtungszuverlässigkeit zu verbessern.

3. Anpassung an den Produktionslinientakt

•Serienproduktionslinie (z. B. Handy Glasbeschichtung): Wählen Sie ein Schnellschaltventil (0,1 bis 0,3 s) kombiniert.MKSDie schnelle Start-Stopp-Funktion der HF-Stromversorgung verkürzt die einzelne Batch-Prozesszeit;

•Hochpräzise, maßgeschneiderte Beschichtung (z. B. optische Linsen): Verwenden eines Dämpfungsventils (2 bis 3 sVermeiden Sie Vakuumschwankungen, die zu ungleichen Beschichtungsdicken, Farbdifferenzen und anderen Mängeln führen.

4. Auswahl umfassender Passfall

mit „100 LMagnetron Spritzbeschichtung (Hochvakuum)10⁻⁷ PaSerienproduktion von Handyglas)”Zum Beispiel:

1. Dichtmaterial: AuswahlFFKMPerfluorkautschuk (niedrige Entgasungsrate, Plasmakorrosionsbeständigkeit), der den sehr hohen Vakuumanforderungen entspricht;

2. Durchmesser: Beschichtungshahlvolumen100 LiterGeschwindigkeit der Vakuumpumpe50 L/sZiel Pumpen Vakuumzeit60 sBerechnen Sie Durchmesser≈√ (100 × 50 ÷ 60) ≈9 mmPraktische AuswahlDN40（1.5'Durchmesser, Redundanz vorbehalten;

3. Öffnungsgeschwindigkeit: für die Pumpenphase0,2 SekundenSchnell das Magnetventil öffnen und das Beschichtungsmittel wechseln1,5 SekundenLösen Sie das pneumatische Ventil ab, das Werkstück wird eingesetzt3 sSchalten Sie das elektrische Ventil langsam auf und balancieren Sie Effizienz und Stabilität.

Hangzhou Domain Technologie Co., Ltd.Konzentriert sich auf die Bereitstellung von technischen Dienstleistungen und Lösungen für industrielle und wissenschaftliche Kunden in Bezug auf Durchfluss-, Druck-, Vakuum- und Steuerungsprüfung und Vertrieb in den USAALICAT、 Die Marken Vogtlin in der Schweiz, MKS in den USA und EBARA in Japan bieten unseren Kunden qualitativ hochwertige Durchfluss- und Drucküberwachungslösungen, die darauf abzielen, die Forschungs- und Entwicklungs- und Produktionseffizienz der Kunden zu verbessern, den Herstellungsprozess der Kunden zu verbessern und den Forschungs- und Innovationsfortschritt der Kunden zu fördern.