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Wuxi Erde Technologie
Produktkategorien
Wuxi Geocentric Technologie Co., Ltd.
ZTT-V2 Serie Schalttisch individuelles Bewegungssystem
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/06
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Übersicht
ZTT-V2-Serie Schwingtisch kundenspezifisches Bewegungssystem ist eine vertikale Hebe und horizontale Ausrichtung von drei Achsen in einer Präzisionspositionierungsplattform, mit linearem Motorantrieb, mit präziser Kugelscharnierkopplung, mit sehr ausgezeichneter mikrodynamischer Genauigkeit und dynamischer Leistung. Kleine Gesamthöhe, kompakte Größe, hohe Steifigkeit, Belastbarkeit von bis zu 10 kg, kompatibel mit der Reinraum-Umgebung. $r$n$r$nZTT-V2 verfügt über eine statische Punkt-zu-Punkt-Positionierungsgenauigkeit und eine außergewöhnlich hohe dynamische Genauigkeit, die sich für Anwendungen wie Wafer-Inspektion, optische Ausrichtung, Panel-Inspektion oder Maskenlose Photografie anpassen kann, die strenge Anforderungen an Mikrobewegungen und dynamische Verfolgungsfehler erfordern.
Produktdetails
ZTT-V2 Serie Schalttisch individuelles BewegungssystemEs ist eine vertikale Hebe- und horizontale Gleichstellungsplattform mit drei Achsen, die einen linearen Motorantrieb verwendet und eine präzise Kugelscharnierkopplung verwendet, die eine sehr ausgezeichnete mikrodynamische Genauigkeit und dynamische Leistung hat. Kleine Gesamthöhe, kompakte Größe, hohe Steifigkeit, Belastbarkeit von bis zu 10 kg, kompatibel mit der Reinraum-Umgebung.
ZTT-V2 Serie Schalttisch individuelles BewegungssystemNeben der statischen Punkt-zu-Punkt-Positionierungsgenauigkeit verfügt sie auch über eine sehr hervorragende dynamische Genauigkeit, die sich an Anwendungen wie Wafer-Detektion, optische Ausrichtung, Panel-Detektion oder Maskenlose Lithographie anpassen kann, die strenge Wafer-Detektion, optische Ausrichtung oder Maskenlose Lithographie erfordern.
ZTT-V2 Plattform mit minimalen SchrittenTest
Z auf 20 nm
Stabilität auf allen Achsen
| Name der Achse | Z | θx | θy |
| Effektive Reisen\Travel | 5 mm | 2° | 2° |
| Genauigkeit\Genauigkeit | ± 0,3 μm | NA | NA |
| Wiederholte Positionsgenauigkeit Bi-Repeatability | ± 0,1 μm | ±0,1 Bogensekt | ±0,1 Bogensekt |
| Maximale Geschwindigkeit (1) | 20 mm/s | NA | NA |
| Maximale Beschleunigung (1) | 1 g | NA | NA |
| Mindestschritt (2) | 20 nm | 0,05 Bogenseken | 0,05 Arcsec |
| Maximale Belastungskapazität | 10 kg | ||
| Plattformgewicht \Stage Mass | 8 kg | ||
| Plattform \Material | Aluminium | ||
Hinweis:
(1) Leerlast, Verstärker mit entsprechender Leistung konfiguriert werden müssen;
(2) Die Standardposition des Testpunkts beträgt 25 mm über dem Tisch.
Hinweis:
Einheit: mm;
(2) Kabelverbindung nicht angezeigt;
Vollständige 3D-Zeichnungen können heruntergeladen werden.
Produktkonfigurationsoptionen
| Produktreihe | Tischgröße | Rückmeldung |
| ZTT-V2 | -200 | - AS |
Feedback-Optionen
| - AS | VPP 1 Volt Sinus Analogeingang |
