Wafer-Inspektionstisch

Wafer-InspektionstischEs ist XYZT 4-Achse-All-in-One-Präzisionspositionierungsplattform, XYZ verwendet einen geradlinigen Motorantrieb, die Präzisionskreuzrollenführung ausgewählt wird, mit sehr ausgezeichneter Leistung und Positionierungsgenauigkeit, XY-Achse Leerlast-Abschnittsfrequenz kann bis zu 120 Hz erreichen, mit einer guten Geschwindigkeitsstabilität, Testen Sie CUBE-4-Positionsfehler mit einer Probefrequenz von 5K über der 4-Achse-Überlagerung des Tisches, mit einer STD-Standardabweichung von weniger als 50 nm pro 0,5 mm Position. Z-Achse Leerlast-Abschnittsfrequenz kann bis zu 200 Hz erreichen. Die Theta-Achse verfügt über einen drehenden Direktantrieb mit Rundschienen und Rastern für hohe Drehzahlen und hohe Präzision. Darüber hinaus verfügt die Theta-Achse über ein verstecktes Design, das die Gesamthöhe des CUBE-4 niedriger macht und den Abfall des Arbeitspunkts fördert, um die Positionsgenauigkeit in praktischen Anwendungen zu verbessern.

Darüber hinaus kann die Z-Achse bis zu ±50 nm innerhalb von 30 ms 100 μm verfahren werden. CUBE-4 ist eine statische Präzision von Punkt zu Punkt und bietet eine hervorragende dynamische Präzision, die sich für strenge Bio- oder Wafer-Detektions-Scan-Anwendungen anpassen kann, die dynamische Fehler erfordern. Die Z-Achse kann in Echtzeit mit hoher Geschwindigkeit auf die Höhe des Sensorarbeitsabstands angepasst werden, um die Probleme der Bewegungskontrolle des Kunden zu lösen.

Dynamischer Leistungstest für vierachsige Plattformen der Serie CUBE-4

Dynamischer Test der Probenfrequenz des Interferometers 5k: XY-Position des homogenen Segments folgt einem Fehler mit einer Standardabweichung von weniger als 50 nm pro 0,5 mm STD

Minimale Schrittprüfung der vierachsigen Plattform der Serie CUBE-4

Z-Achse Schritt 100 μm, in 30 ms auf ± 50 nm eingestellt

Wafer-InspektionstischBemerkung

(1) parallel oder senkrecht zur Keilblock-Richtungsmessung;

2) Leerlastprüfung;

(3) Kraft entlang der Achsrichtung;

(4) Anpassung-AS-Feedback, Konfiguration von linearen Verstärkern;

(5) Die Standardposition des Testpunkts ist 25 mm über der Tischfläche, die Einachsindikatoren und die Leistungsindikatoren des Mehrachssystems beziehen sich auf die tatsächliche Last und die Arbeitsplatzposition;

(6) Andere Fahrten können angepasst werden.