Z-Achse kleines Volumen Nano Shift Tisch piezoelektrische Keramik Nano Tisch NM-005 NM-010 kundenspezifische Preis Kontakt
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Produktbeschreibung:
NM-005 ist ein Z-Richtung-Direktantrieb-Spannungsverschieber, mit dem Konstruktionsprinzip des piezoelektrischen Keramik-Direktantriebs, mit kleinem Volumen, reibungsfrei, schneller Reaktionsgeschwindigkeit und anderen Merkmalen, Konfiguration eines hochpräzisen Sensors, kann eine nanoskalige Auflösung, Positionierungsgenauigkeit mit hoher Zuverlässigkeit erreichen, Spannungsverschieber spielt eine wichtige Rolle im Bereich der Präzisionspositionierung.
Die untere Plattform festgelegte Montage Loch kann M3 Gewinde Loch wählen, die einfache Installation für den Benutzer, die bei der Bestellung angegeben werden muss. Die Standardversion der Plattform-Fixierlöcher hat einen Durchmesser von 2,2 Durchgänge.
Der Formstreckenbereich beträgt 5 μm (geschlossen).
NM-010 ist Z-Richtung-Direktantrieb-Spannungsverschieber, mit dem Konstruktionsprinzip des piezoelektrischen Keramik-Direktantriebs, mit kleinem Volumen, reibungsfrei, schneller Reaktionsgeschwindigkeit und anderen Merkmalen, Konfiguration eines hochpräzisen Sensors, kann eine nanoskalige Auflösung, Positionierungsgenauigkeit mit hoher Zuverlässigkeit erreichen, Spannungsverschieber spielt eine wichtige Rolle im Bereich der Präzisionspositionierung.
Die Pressepotentialverschiebungsstelle liefert SGS-Sensorfeedback oder keine Rückmeldung (offen).
Für Anwendungen, die kompakte Abmessungen, hohe Dynamik und eine Positionierungsauflösung auf Subnanoscale erfordern, aber keine absolute Positionierungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern, bietet Open Loop eine kostengünstige Option. Auch bei der Steuerung der piezoelektrischen Position durch externe Rückmeldungsquellen (Interferometer, Sehsysteme, optoelektronische Detektoren usw.) kann eine Open-Ring-Version verwendet werden.
Produktparameter:
| Modell |
NM-005 |
NM-005S |
NM-010 |
NM-010S |
Toleranzen |
| Bewegungsachsen |
Z |
Z |
Z |
Z |
|
| Integrierte Sensoren |
|
von SGS |
|
von SGS |
|
| Nominaler Strombereich (@0~+120V) |
5 μm |
5 μm |
10μm |
10μm |
±5% |
| Maximaler Strombereich (@-20~+150V) |
7 μm |
7 μm |
12 μm |
12 μm |
±20% |
| Auflösung |
0,05 nm |
0,1 nm |
0,1 nm |
0,2 nm |
typ. |
| Minimale Bewegungsschritte |
3,0 nm |
3,0 nm |
0,4 nm |
0,4 nm |
typ. |
| Linearer Fehler |
|
0.2% |
|
0.2% |
typ. |
| Wiederholte Positionierungsgenauigkeit (gesamter Prozess) |
|
0.1% |
|
0.2% |
typ. |
| Winkel-Abweichung (Neigung / Abweichung / Drehen) |
5 μrad |
5 μrad |
5 μrad |
5 μrad |
typ. |
| Tragfähigkeit |
8N |
8N |
8N |
8N |
Max. |
| Resonanzfrequenz (0g) |
2500Hz |
2500 Hz |
2300Hz |
2300 Hz |
±20% |
| Bewegungsrichtungssteifheit |
2N / μm |
2 N/μm |
2N / μm |
2 N/μm |
±20% |
| Bewegungsrichtung Schub/Zug |
12N / 2N |
12N /2N |
12N / 2N |
12N /2N |
±20% |
| Antriebsmittel |
Elektrokeramik |
Elektrokeramik |
Elektrokeramik |
Elektrokeramik |
|
| Betriebstemperaturbereich |
-20~+80℃ |
-20~+80 °℃ |
-20~+80℃ |
-20~+80 °℃ |
typ. |
| Kabellänge |
1.5m |
1.5 m |
1.5m |
1.5 m |
± 10 mm |
| Hohlgröße |
|
|
|
|
|
| Größe (Länge x Breite x Höhe) |
30 × 30 × 24 mm |
30 × 30 × 24 mm |
30 × 30 × 29,2 mm |
30 × 30 × 29,2 mm |
|
| Gewicht |
70 g |
70 g |
80g |
80g |
±5% |
| PZT&Sensor Steckverbinder |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
|
| Körpermaterial |
Aluminium |
Aluminium |
Aluminium |
Aluminium |
|
Hinweis: Alle Spezifikationsparameter basieren auf Raumtemperatur (22 ° C ± 3 ° C), für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte. Das „-“ in der Tabelle ist nicht anwendbar.
1. Das Endsuffix "-S" ist geschlossen mit eingebautem Positionssensor. Öffnen Sie den Ring ohne '-S, drahtlose Fehler, Wiederholungsdaten.
Die maximale Antriebsspannung beträgt -20V ~ + 150V, für eine hohe Zuverlässigkeit und langfristige Verwendung wird die Antriebsspannung bei 0. + 120V empfohlen, größere Fahrten bitte konsultieren. Die Fabrik ist eine nominale Fahrt.
Auflösung ist Positioniergeräusch. Da das piezoelektrische Keramik-Nano-Positionierungssystem keine Reibung hat, ist die Systemauflösung nur durch Verstärker-Rauschen und Messtechniken begrenzt. Normalerweise wird der Wert RMS (1σ) zur Messung und Spezifikation verwendet.
4. bezieht sich auf den minimalen Schrittlängenwert der beweglichen piezoelektrischen Plattform, der durch ein Interferometer gemessen wird, der hauptsächlich durch die DAC-Auflösung des piezoelektrischen Controllers bestimmt wird. Im besten Fall ist in der Parametertabelle der entsprechende Bitverschiebungslängenwert 16 Bit.
5. Axiallast, höhere Last bitte konsultieren, beachten Sie, dass die Überschreitung der Nennlast Schäden an der flexiblen Mechanismus verursachen kann.
Bei längeren Kabellängen bitte beraten.
Das Körpergewicht des Tisches beinhaltet nicht das Gewicht der Kabel- und Steckverbinder.
8. max. Toleranz bedeutet den maximalen Wert; Typ. steht für den typischen Standarddatenwert und der tatsächliche Messwert wird im Testbericht angegeben.
Produktgröße:

