Wafer Transport

Wafer TransportDazu können FOUP (Ladeport) und FOSB verwendet werden, die sich für kostengünstige Nachprüfungen eignen. Die sichere und ergonomische Konstruktion gewährleistet die Effizienz und Sicherheit des Bedieners beim Transportieren von Wafern, einschließlich Dünn- und Verformwafern.

Ergonomisches Design für einfache Bedienung

• Der frei einstellbare Inspektionsmodus berücksichtigt die Bedienungsfähigkeit im Hintergrundprojekt und legt besonderen Wert auf die Bedienungseinfachheit der Geräte.

Die beiden Modelle sind FOUP (Load Port) und FOSB.

Wafer TransportRobuste, zuverlässige und sichere Lieferung

• Fortsetzung der Robustheit, Zuverlässigkeit und Sicherheit der vorherigen Generation, um 300 mm Wafer sicher und zuverlässig zu transportieren.

• Dünne, Warped Wafer können sicher transportiert werden.

• Makroskopische Positionsbeobachtung und zentrale Anordnung der Bedieneinheiten verbessern den Bedienkomfort der Geräte.

Ideale Beleuchtung für die Entdeckung von Fremdkörpern, Wunden, Membranflecken und Fokus

Die Kombination von hochhellen Metallhalogenidlichtquellen und Faserbeleuchtung ermöglicht eine vollständige Beleuchtung der kalten Lichtquelle von 300 mm Wafer.