Wafer Heizplatten/Module (maßgeschneidert)

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Übersicht

Wafer-Heizplatte, Wafer-Heizmodul (maßgeschneidert) ist sehr wichtig im Halbleiterprozess, insbesondere in einigen Schlüsselprozessen, wie Wafer-Hitzen, Binden, homogenen Kleben, Erosion, Gasphase-Ablagerung usw. Es kann eine stabile Temperaturfeldumgebung und eine präzise Gleichmäßigkeit der Plattentemperatur bieten, um sicherzustellen, dass Wafer in verschiedenen Temperaturzonen beheizt wird, um die Herstellung und Entwicklung von Halbleitergeräten zu erreichen.

Produktdetails

Produkte, die mit der Temperaturregeltechnik und der In-situ-Mechanik-Technologie zusammenhängen, wie Wafer-Heizsysteme, Schnellherzofen, Hoch- und Tieftemperatur-Prüfkammern usw., können Kunden individuelle Anpassungen anbieten.

Obstinstrument Wafer Heizmodul:Im Prozess der Halbleiterverarbeitung ist es sehr wichtig, insbesondere in einigen Schlüsselprozessen, wie Wafer-Ausbrennen, Binden, Gleichkleben, Erosion, Gasphase-Ablagerung usw., Es kann eine stabile Temperaturfeldumgebung und eine präzise Gleichmäßigkeit der Plattentemperatur bieten, um sicherzustellen, dass Wafer in verschiedenen Temperaturzonen beheizt wird, um die Herstellung und Entwicklung von Halbleitergeräten zu erreichen.

晶圆加热盘/模组（定制）

Wafer-Heizmodule (maßgeschneidert)Eigenschaften:

• Temperaturbereich: RT ~ 600 ℃

• Temperaturstabilität: ± 0,1 °C

• Material: Aluminium, Edelstahl, Inva Legierung usw.

• Hochpräzise Temperaturregelung

• Professionelle Temperaturkontrollsoftware

• Unterstützung der Anpassung

Parameter:

Modell	Wafer-Heizmodule (maßgeschneidert)
Größe	2 / 4 / 6 / 8 / 10 / 12 Zoll
Temperaturbereich	RT ~ 600 ℃
Temperaturstabilität	±0.1℃
Material	Aluminium, Edelstahl, Inva usw.
Ebenengrad	≤10um， 3um erreichbar, abhängig vom Material
Anwendungsumfeld	Atmosphäre / Vakuum
Kühlsystem	Optional: Wasserkühlung, Luftkühlung usw.
Bindungsdruck	Optional: 0 bis 100kN

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