Vakuummessung

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Die Spektrometermessung im Vakuumkammer erfordert zwei Übervakuumgeräte, die mit einer optischen Faser mit einem Kerndurchmesser von 200 Mikron und 600 Mikron verwendet werden, während eine Reflexionssonde im Vakuumkammer benötigt wird, eine Deuterium-Halogen-Wolfram-Lichtquelle im Freien und ein AvaSpec-Spektrometer benötigt werden, um eine Vakuummessungsanlage aufzubauen.

Produktdetails

Vakuummessung

Die Spektrometermessung im Vakuumkammer erfordert zwei Übervakuumgeräte, die mit einer optischen Faser mit einem Kerndurchmesser von 200 Mikron bzw. 600 Mikron verwendet werden, während eine Reflexionssonde im Vakuumkammer, eine Deuterium-Halogen-Wolfram-Lichtquelle im Außenbereich und ein AvaSpec-Spektrometer erforderlich sind, um eine Vakuummessungsanlage aufzubauen.

Typische Anwendungsbereiche

Beschichtungsüberwachung Plasmaüberwachung Plasmaüberwachung

Bestellungsinformationen

AvaSpec—Vacuum

Spektrometer	AvaSpec-ULS2048CL-EVO	UA-Raster (200-1100nm), 50 μm Schlitz OSC-UA, DCL-UV/VIS-200 AvaSoft-Full und AvaSoft-All
Lichtquelle	AvaLight-DH-S-BAL
Faseroptik	FCR-7UV200-2-ME FC-UVIR600-2-ME FC-UVIR200-2-ME
Zubehör	FC-VFT-UVIR200 FC-VFT-UVIR600

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