Gleichmäßige Rotationsbeschichtung

Gleichmäßige RotationsbeschichtungWS-650Auf der hohen Drehgeschwindigkeit der Substrate, Tropfen verschiedene Arten von Glue, die Verwendung von Zentrifugalkraft, um die Glue gleichmäßig auf der Substrate beschichtet, die Drehgeschwindigkeit und die Zeit, die Glue und die Klebstoffkoeffizienten zwischen der Substrate beeinflussen die Filmdicke, die Stabilität des Rotationsprozesses und des Drehsystems hat auch einen großen Einfluss auf die Filmqualität.

1. Probengröße: φ3 ~ 300mm

2. Beschleunigung: 80000rpm / s (Leerlast), 30000rpm / s (Last: 100mm Standardwafer)

Drehzahl: 1 ~ 12000rpm, Servomotor Auflösung 4000P / rev

4. Drehrichtung: Optional mit Hz-Motor, Drehrichtung in zwei Richtungen verstellbar

CDA/N2 Luftstromschutztechnologie

6. Optionales automatisches Tropfklebemodul, EBR-Wafer-Abkantungsmodul

7. Viele Paletten optional, für Proben verschiedener Materialien

Gleichmäßige RotationsbeschichtungPlattenlösungen

1. Allgemein verwendete Vakuum-Palette: 10 ~ 150mm muss nicht ersetzt werden.

2. Einbettet: Die Mitte der Palette ist in einer runden Nut gefertigt, in der die Probe eingebettet werden kann, um zu vermeiden, dass die Probendicke zu groß ist, um den Gaswirbeleffekt zu verursachen.

3. Zellart: geeignet für ultradünne deformierbare weiche Materialien und zerbrechliche Materialien.

4. Karte-Palette: geeignet für Proben, die nicht vakuum absorbieren können, oder Proben, die auf beiden Seiten behandelt werden müssen, da die Kontaktfläche mit der Palette bei der Festlegung minimiert werden muss, kann auch die Karte-Palette verwendet werden, die Drehzahl der Karte-Palette sollte nicht zu hoch sein.