Ultrahochauflösendes Feld-Emissions-Scan-Elektronenmikroskop Regulus 8100

Die "Regulus-Serie" ist die neue Marke von Hitachi High-Tech FE-SEM, darunter das "Regulus 8100", das als Nachfolger des SU8010 entwickelt wurde, und das Upgrade der SU8200-Serie "Regulus 8220", "Regulus 8230" und "Regulus 8240", insgesamt vier Modelle, die eine verbesserte Auflösung und Bedienbarkeit erzielen.

Scan-Elektronenmikroskop (SEM) ist weit verbreitet in der Nanotechnologie, Halbleiter. Beobachtung von Materialstrukturen in den Bereichen Elektronik, Life Sciences, Materialwissenschaften und anderen. In den letzten Jahren wurde die Forschung über neue Arten von Kohlenstoffmaterialien, Polymerenmaterialien, Verbundwerkstoffe usw. in der Anwendung der neuen Generation von Elektronikgeräten, die weit erwartet wurde, als eine zentrale Technologie der fortgeschrittenen Wissenschaft und Technologie auf der ganzen Welt beliebt. Scan-Elektronenmikroskope sind weit verbreitet für die Beobachtung dieser Materialien. Bewertung, aber nur mit einer ultrahohen Auflösung ist nicht ausreichend. Darüber hinaus sind die Beobachtung der Oberflächenstruktur bei niedriger Beschleunigungsspannung und die Elementaranalyse mit hoher Empfindlichkeit erforderlich. Darüber hinaus wird die dauerhafte Stabilität und Zuverlässigkeit der Leistung des Elektroskops im Laufe der langfristigen Forschung verfolgt.

Die neue Elektronik-Optik der Marke "Regulus-Serie" wurde optimiert, so dass die Auflösung bei einer Landespannung von 1 kV um etwa 20% höher ist als bei den Vorgängermodellen. Die Regulus 8220/8230/8240 erreichen eine Auflösung von 0,9 nm und die Regulus 8100 eine Auflösung von 1,1 nm. Darüber hinaus vergrößert die Kaltfeld-Elektropistole, die am besten für die hochauflösende Beobachtung bei niedriger Beschleunigungsspannung geeignet ist, die Details der Probe und erhält qualitativ hochwertige Bilder. Auch die maximale Vergrößerungsrate wurde von einer Million auf zwei Millionen erhöht.
Darüber hinaus, um besser auf die Prüfung und Wartung verschiedener Proben reagieren zu können und eine hohe Leistung zu erzielen, wurde die Benutzerhilfe verbessert, wie z. B. die Betriebshilfe des Signaldetektionssystems, die Wartungshilfe usw.

Hauptmerkmale

1. Kaltfeld-Elektropistole mit minimaler Farbdifferenz für die hohe Auflösung von Beobachtungen mit niedriger Beschleunigung

2. Auflösung um etwa 20 % höher als der Vorgänger
   (Regulus 8220/8230/8240: 0,9 nm/1 kV, Regulus 8100: 1,1 nm/1 kV)

3. Maximale Vergrößerung von 1 Million auf 2 Millionen^*1

4. Benutzerfreundlichkeit, die dem Benutzer hilft, die hohe Leistung des Instruments voll auszuschöpfen

Hauptparameter

*1 Nur für Regulus 8240/8230/8220

*2 Verzögerungsmodus beobachtet

*3 Bildvergrößerung für 127 mm × 95 mm Sichtfeld

*4 5 Achsen Motortisch als Option