Elliptisches Polarisationsspektrometer UVISEL PLUS

Spektralbereich von FUV bis NIR: 190-2100 nm

UVISEL PlusElliptische PolarisationsspektrometerEs bietet eine optimierte Kombination aus Modularität und Leistung für die Charakterisierung von Folien, Oberflächen und Schnittstellen.

UVISEL Plus ist einKlassische Elliptikmodelle für Genauigkeit, Empfindlichkeit und StabilitätDie PEM-Phasenmodulationstechnologie bietet eine bessere Stabilität und ein besseres Signal-Rausch-Verhältnis im Vergleich zur mechanischen Drehteiltechnologie.Das Spektrum reicht von 190nm bis 2100nm.

UVISEL Plus integriert neue FastAcqTMSchnelle Sammeltechnologie,Hochauflösende Probentests in weniger als 3 Minuten (190-2100 nm)Die Kalibrierung dauert nur wenige Minuten. Auf der Grundlage neuer Elektronik, Datenverarbeitung und Hochgeschwindigkeitsmonometer bietet die FastAcq-Technologie den Anwendern eine hohe Auflösung und eine schnelle Datenerfassung. FastAcq ist für die Charakterisierung von Folien konzipiert,DoppelmodulationstechnologieSie können dafür sorgen, dass Sie ausgezeichnete Testergebnisse erhalten.

Die Phasenmodulationstechnik ist durch eine Hochfrequenzmodulation von 50 kHz gekennzeichnet, wobei der Signalaufnahmeprozess ohne bewegliche Teile erfolgt:

• Testen Sie die gesamte Palette von elliptischen Winkeln, Ψ (0-90)，Δ (0-360)
• Ausgezeichnetes Signal-Rausch-Verhältnis von FUV zu NIR
• Die schnelle Datenerfassung von bis zu 50 ms/Punkt ist ideal für dynamische Forschung und Online-Messungen

Im Vergleich zur AnnahmeKonventionelle elliptische Polarisationsspektrometre für die Modulation von Rotationselementen， Phasenmodulationsmodus von UVISEL PlusHöhere Empfindlichkeit und Genauigkeit bei der Charakterisierung von FolienEs kann nicht nur extrem dünne Folien oder Schnittstellen erkennen, die mit anderen Ellipsometern nicht beobachtet werden können, sondern auch dicke Folien von 50 µm charakterisieren.

Rückreflex beim TestBei transparenten Proben ist der Test einfach und genau.Keine Notwendigkeit, die Rückseite zu kratzen.

UVISEL Plus bietet zudem eine Vielzahl von Zubehör und optionalen Funktionen, die es Kunden ermöglichen, die richtige Konfiguration entsprechend den Anforderungen der Anwendung und dem Budget zu wählen. Zum Beispiel werden Mikroflecken für Musterproben, automatische Winkelwandler, automatische Probentasche usw. verwendet.

UVISEL Plus ist modular und flexibel skalierbar. Kann offline verwendet werdenTischmessungenEs kann auch an Beschichtungsgeräte gekoppelt werden, um eine Online-Überwachung durchzuführen.

UVISEL Plus kann die Bedienungsschnittstelle je nach Gewohnheit auswählen.DeltaPsi2Funktionen zur Modellierung und Anpassung; Eine andere ist die benutzerorientierte, vollautomatische Probentest-Schnittstelle von Auto-Soft, die einen intuitiven Workflow bietet und für Nicht-Profis einfach zu bedienen ist.

UVISEL Plus mit FastAcq Technologie ist die Wahl für Materialforschung und -verarbeitung, Flachbildschirme, Mikroelektronik und PhotovoltaikUniverselles Spektralellipsometer.

UVISEL PlusEs ist das ideale Werkzeug für die Materialwissenschaftliche Forschung.