Japan HORIBASTECE40MK3/E50MK3 Massenflussregler

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Japan HORIBASTECE40MK3/E50MK3 Massenflussregler

Produktdetails

Japan HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 Durchflussregler
Der japanische HORIBA STEC E40MK3/E50MK3-Durchflussregler ist ein serienmäßiges Produkt, das eine vollständige Kostenreduzierung unter den Bedingungen erreicht, dass die Qualitätsmerkmale, die für einen Massenflussregler erforderlich sind, nicht geändert werden. Die Material- und Leckspezifikationen entsprechen den Normen SEC-400 und SEC-500 für allgemeine Modelle. Die Hauptanwendung ist die Gasstromkontrolle für Prozesszwecke, die eine erhebliche Produktion mit Schwerpunkt auf Wiederholbarkeit und begrenzte Arten von Gasen, Durchfluss und eine erhebliche Kostensenkung erzielt. Am besten geeignet für stationäre Durchfluss, lange Zeit stabile Regelung wiederholte Regelung Gelegenheiten. Gleiches gilt auch für die einfache Durchflusssteuerung des Instituts.
Japan HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 Durchflussregler Eigenschaften
1. Vielfältige Anwendungen
2. Kostenvorteile verfolgen und Kostensenkungen erzielen

Japanische HORIBA STEC E40MK3

Japanische HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 Spezifikationen des Durchflussreglers

Modellnummer	SEC- (Masse Flow Controller)	E40 / E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (Massenflussmesser)	E40	E50
Einsetzbare Gasarten*1		Nicht-korrosive Gase (Modell MK3 für N2, O2, Luft, H2、Ar、He)
Gaskontaktmaterial		SUS316L. Fluoridgummi. PTFE、 Magnetischer Edelstahl
Typ des Ventils		Wenn nicht elektrisch ausgeschaltet
Standarddurchflussbereich (N2 entsprechend F.S.)		10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
Durchflusssteuerungsbereich (geeignet für SEC-Serie)		2 bis 100% F.S.
Durchflussmessbereich (geeignet für die SEF-Serie)		0 bis 100% F.S.
Reaktionsgeschwindigkeit		Innerhalb von 1 Sekunde (T98)
Durchflussgenauigkeit		±1% F.S.
Gerade		±0,5% F.S.
Wiederholbarkeit		±0,2% F.S.
Arbeitsdruckdifferenzwert (geeignet für SEC-Serie)		10 SCCM bis 5 SLM: 50 bis 300 kPa (d) 10〜30 SLM: 100 bis 300 kPa (d)
Druck verwenden (geeignet für die SEF-Serie)		unter 300 kPa (G)
Druckbeständigkeit		unter 1 MPa (G)
Externe Leckage		Unter 1×10-8Pa・m3/s (He)
Umgebungstemperatur verwenden		5 ~ 50 ℃ (Genauigkeit gewährleistet: 15 ~ 35 ℃)
Verkehrseinstellungssignal		0,1 ~ 5VDC (Eingangsimpedance über 1MΩ) / 2 ~ 100% F.S.
Verkehrsausgangssignal		0 bis 5VDC (Mindestlastwiderstand 2kΩ)
Antriebsleistung		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	+ 15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3,9VA
Standardverbindung*2		1/4SWL Typ

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