Thermo Scientific ™ Apreo ChemiSEM ™ Feld-Emissionsspiegel sind für hochleistungsfähige und qualitativ hochwertige Bildgebung bevorzugt. Es integriert automatisierte Arbeitsabläufe für die Analyse der Komponenten und der Struktur, so dass Benutzer mit unterschiedlichen Erfahrungen leicht auf qualitativ hochwertige Daten zugreifen können.

Apreo ChemiSEM bietet großen Forschungseinrichtungen und Industriekunden eine Lösung für eine Vielzahl von Proben mit unterschiedlichen Erfahrungsstufen.GesamtIntegrierte Analysetechnik mit vollständigen Analyseergebnissen. Für vielseitige Labore mit mehreren Benutzern und einer Vielzahl von Probentypen optimieren die neuen Funktionen Smart Frame Integration (SFI), Autofocus und Auto-Dispersion des Systems automatisch die Bilderfassungsparameter und erfassen Daten ohne manuelle Anpassung. Das System bleibt immer in gutem Zustand und kann jederzeit abgebildet werden, so dass der Benutzer mehr Zeit hat, sich auf die gewünschten Daten zu konzentrieren.

ChemiPhase zur Phasenalyse von Verbundmassen in Stahl. ChemiPhase identifiziert verschiedene Mischungen effektiv, erfasst die Zusammensetzung und Flächenbereiche der Mischungen, erkennt unerwartete Phasen und extrahiert vollständige Informationen in einer Analyse.

Hauptmerkmale

Hochauflösende Bildleistung：Thermo Scientific ™ Trinity ™ Detektionssysteme und Automatisierungstechnologien vereinfachen die Datenerfassung in einer Vielzahl von Anwendungen

* Optimierte Analyselösungen: Der TrueSightPro EDS-Detektor, die ChemiSEM-Technologie und der TruePix EBSD-Detektor ermöglichen eine vollständige und umfassende Charakterisierung der Probe

Integrierte ArbeitsabläufeKompatibel mit MAPS-Software, benutzerdefinierten Skripten und CleanConnect ™， Kompatibilität ermöglicht Ihnen die vollständige Kontrolle über Ihren Analyseprozess

Das Apreo ChemiSEM System integriert drei Funktionen*, die den Betrieb vereinfachen und die Zuverlässigkeit der Ergebnisse gewährleisten: Thermo Scientic ™ ChemiSEM ™ Technologie, neuer TruePix Backscattered Electronic Diffractor (EBSD) und einzigartiger Thermo Scientic ™ Trinity ™ Erkennungssystem im Spiegel.

Die ChemiSEM-Technologie nutzt vollautomatische quantitative Echtzeit-Algorithmen, um Merkmale zu präsentieren, die nur durch Bildgebung nicht bemerkbar sind, um die Probe vollständiger zu informieren. Diese Funktion funktioniert jederzeit und ist einfach zu bedienen, liefert schnellere Ergebnisse und hilft, Benutzerabweichungen zu beseitigen.

Der TruePix EBSD-Detektor kann mit dem Apreo ChemiSEM-System erweitert werden. Die neue EBSD-Software kann den Detektor steuern und den Benutzer bei der Parametereinstellung, der Datenerfassung und der Datenverarbeitung begleiten.

Das in-vitro-Detektionssystem von Trinity ermöglicht die synchrone Erfassung hochwertiger Form-, Polarfläche- und Komponenteninformationen ohne den Einsatz von ETD- oder BSD-Detektoren.

Es verfügt über eine einzigartige Signalfilteroptionen, die eine hohe ZUI-Auflösung von 0,9 nm ohne Elektronenstrahlverlangsamung bei einer Spannung von 1 kV ermöglichen.

Das Apreo ChemiSEM-System kombiniert hochauflösende Bildgebung, Elementanalyse und Strukturanalyse und bietet den Anwendern leistungsstarke Werkzeuge zur Analyse aller Materialtypen.

Elektronische Optik

• High-Resolution Field Emission SEM-Spiegel verfügt über folgende Eigenschaften:

– Hohe Stabilität der Short Base Field Launch Gun für einen stabilen, hochauflösenden Analyseström

– Kombinierte Endlinsen mit elektrostatischen, leckfreien und eintauchenden magnetischen Linsen (optional)

– Objektivgeometrie von 60° für eine größere Neigung der Probe

– Selbstbeheiztes Licht für Sauberkeit, berührungsfreier Lichtschalter

• SmartAlign-Technologie: Keine Benutzer-Mitte erforderlich

• Reduzieren Sie den Effekt der Skirt-Streuung durch die Differenzpumpung des Vakuums durch die Linse im Low-Vacuum-Modus (optional), um eine genaue Analyse und eine hochauflösende ZUI-Bildgebung zu ermöglichen

• Elektronenstrahlbremsungsfunktion mit Abdruckbereich von -4.000 V bis +600 V

• Kontinuierliche Änderung des Strahlstroms und Optimierung der Apertur

• Doppelte Probentasche Scan Ablenkung

• Einfache Installation und Wartung von Elektropistolen: Auto-Backen, Auto-Start, keine mechanische Ausrichtung erforderlich

• PivotBeam-Modus für die Bildgebung von Elektronenkanälen im Bereich der Auswahl, auch als "Swing-Elektronenstrahl"-Modus bezeichnet (nur für Apreo ChemiSEM Typ S)

ZUI Kurzlebensdauer: 36 Monate

ChemiSEM Technologie

• TrueSight； Detektorgröße: 25 oder 70 mm²

• Energieauflösung bis zu 125 eV @ Mn

• Elementdetektionsbereich Be-Am

• Empfindlichkeit für leichte Elemente auf Silizium (Si Lα)

SEM-EDS-Funktionen integriert in eine einzige Benutzeroberfläche

• Projektbasierte Datenspeicherung

• Projektdatenbaum für einfache Datenverwaltung

• Branchenstandard-Datenformate

• Spezieller Analysemodus für eine nahtlose Integration zwischen Punkt-, Linien- und Flächenscanmodus

• Auswahl der verfügbaren elektronischen Bildtypen in der xT SEM-Benutzeroberfläche

• Erstellen von Berichten mit einem Klick

• Entfernung von Spitzen und Fluchtspitzen

• Automatische Spitzenerkennung

• Synthetische Spitze- und Hintergrundüberlagerung

• Präzise Messung in großen Arbeitsabständen, Strömungs- und Elektronenstrahlenergiebereichen

• Benutzer können die Option definieren, ein Element zu enthalten, auszuschließen oder quantitativ zu fehlen

• Automatische oder benutzerdefinierte Auswahl von KLM-Linien zur quantitativen Analyse

• Entfernung der Rückseite durch digitale Filterung

• Quantitative Analyse ohne Proben durch ZUI-Filtration

• Ausgezeichnete Quantifizierung leichter Elemente mit der PROZA-Metode

• Qualitatives und quantitatives Linienscannen, mit dem Tests zeitlich oder zählend gestoppt werden können

• ChemiSEM-Technologie für schnelle Flächenkvalifikation in Kombination mit elektronischen Bildalgorithmen

• Quantitativer Scan ist immer aktiviert und bietet einen Quantitativer Scan für die Spektralspitzen

• Zählflächen-Scan, unterstützt die Auswahl der Einelement-Linie

• Quantitatives Scannen mit Square-Kernelisierung (optional)

• Überlagern von mehreren Gesichtsscannbildern auf ein elektronisches Bild

• Benutzerdefinierte oder automatische Auswahl der Elementfarbe

• Erfassen und Zusammenfügen mehrerer Sichtfelder durch Navigationsmontages

• Kompatibel mit der MAPS-Software für das automatische Zusammenfügen von Multi-Vision-Feldern

• Extraktion von Spektren mit Punkten und Rechteckfeldern

• Extrahieren von Linienscanndaten aus Röntgenoberflächen durch flexible Auswahl von Linienrichtung, Breite und Punktzahl

• Multispektraler Normalisierungsvergleich

• Driftkorrektur für Flächenscans auf Basis von DCFI

• Chemiometrische Analyse von Verbindungen für Boride, Carbide, Oxide und Nitridide

• ChemiPhase für Echtzeit- oder Offline-Phasenentifizierung mit mehreren statistischen Analysemethoden

ChemiView ermöglicht Offline-Weiterverarbeitung und Berichterstellung verschiedener Datentypen

TruePix EBSD-Detektor

• Mixed-Pixel-Direkt-Elektronik-EBSD-Detektor

• Einer Detektor, bestehend aus einzelnen Timepix-basierten Modulen

• Null Leserauschen, hohes Signal-Hintergrund-Verhältnis

• Null Verzerrungen

• Einzelpartikelzählung

• Schwellenwerte für Energie

• 2.000 FPS Bildleserate

• Automatische Einstellung des Detektors, der Kalibrierung, der Musteroptimierung und des Gesichtsscanns innerhalb einer Minute

EBSD-Erfassungs- und Datenverarbeitungssoftware

• Vollständig integrierte Online- und Offline-Datenverarbeitungssysteme

• Automatische Musteroptimierung: Das System erfasst > 20 EBSPs von zufälligen Punkten im Aufnahmebereich für eine hochwertige Hintergrundkalibrierung

• Messung der hohen Belichtung von ZUI: Das System bestimmt die hohe Belichtung von ZUI vor der Sättigung des Signals und führt eine automatische Bildintegrierung durch, wenn die Belichtungszeit die hohe Belichtung von ZUI überschreitet

• Automatische Flachfeldkorrektur und Verbesserung der Linie (zusätzliche Kalibrierungsverfahren)

• Automatische Kalibrierung des Probenzentrums für verschiedene Detektorpositionen, Arbeitsabstände und Probenneigungswinkel

• Überlagerung beliebiger Bilder

• Korngröße Histogramm

• Geräuschbeseitigung und Pixelverstärkung

• Benutzerdefinierte Vorlagen für Berichte

• Alle sieben Klassen von Kristallsystemen und 11 Laue-Gruppen identifizieren

• Mehrere gleichzeitige Kalibrierung

• Qualitätsindikatoren für schnelle Fourier-Transformationen und Musterfläche

• Niedrige SEM-Vergrößerung Muster Center Korrektur

• Optimale Kinematik-Simulation und Überlagerung mit EBSP

• Euler-Diagramm, X/Y/Z-Gegenpol-Diagramm (Roll, Horizontal, Horizontal), Euler-Orientierungsdiagramm, Foto- und Orientierungsdifferenzscan

Vakuumsystem

• Ölfreies Vakuumsystem

• 1 × 240 l/s Turbomolekularpumpe

• 1 × PVP-Wirbelpumpe

• 2 × IGP

• Probenlagervakuumgehalt (Hochvakuum) < 6,3 x 10-6 mbar (nach 12 Stunden Pumpenarbeit)

• Vakuumzeit: ≤ 3,5 Minuten

• Niedervakuummodus (Kammerdruck von 10-500 Pa) (optional)

• Automatische Beladungseinrichtung mit begrenztem Druck (PLA)

Probentesch

• Standard-Multifunktions-Probenhalter, der direkt auf dem Probenstisch montiert werden kann, mit Platz für bis zu 18 Standard-Probenhalter (Durchmesser 12 mm), drei Vorgeneigte Probenhalter, Schnittprobenhalter und zwei Vorgeneigte STEM-Probenhalter (optional) (38° und 90°); Installation von Proben ohne Werkzeuge

• Jeder optionale STEM-Träger bietet Platz für sechs STEM-Netzwerke

• Wafer und kundenspezifische Probentasche (optional)

Elektronenstrahlauflösung

BD: Elektronenstrahlbremsungsmodus, WD: Arbeitsabstand (Auflösung nach optimaler Arbeitsabstand, sofern nicht anders angegeben). Standardmäßig sind die Systemakzeptanzprüfbedingungen nach der ZUI-Endinstallation: Hochvakuumbedingungen von 1 kV und 30 kV mit Einschaltung des Eintauchmodus (falls zutreffend).

Elektronenstrahlparameterbereich

Elektronenstrahlparameterbereich: 1 pA bis 50 nA (optional 400 nA)

• Beschleunigungsspannungsbereich: 200 V - 30 kV

Landungsenergiebereich: 20 eV - 30 keV

• ZUI große horizontale Sichtfeldbreite: 3 mm bei 10 mm WD (ZUI kleine Vergrößerung: 29x)

Probenlager

• Innenbreite: 340 mm

• Analysearbeitsabstand: 10 mm

• Anschlüsse: 12

Charakterisierung von Magnesiumoxidpartikeln mit niedrigem kV (500 V) durch Elektronenstrahlverlangsamung (BD). BD verbessert die Profildetails und verringert den Ladeeffekt.

Detektoren

Apreo ChemiSEM kann verschiedene Detektoren oder -partitionen (optional) beliebig kombinieren und bis zu vier Signale gleichzeitig erkennen:

• Trinity-Erkennungssystem (in Objektiv und Spiegel)

– Niedrigstufendetektor im Split-Objektiv T1

– T2 Objektiv mittlerer Detektor

– T3-Spiegelditektor (optional)

• TD: Everhart-Thornley Sekundärelektronendetektor

• DBS: Ausdehnbarer Partitionierbarer Elektronendetektor unter Polstiefel (optional)

• Niedervakuum-Sekundärelektronik-Detektor (optional)

• DBS-GAD: Elektronendetektor zur Atmosphärenanalyse, der auf Objektiven installiert ist (optional)

• STEM 3+ skalierbarer Partitionsdetektor (BF, DF, HADF, HAADF) (optional)

• Infrarot CCD

• hermo Scientifc ™ Nav-Cam ™ Navigationskamera (im Probenlager)