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Produktkategorien
Nanoscope Systeme lnc
Reflexionslasermikroskope | Nanoscope Systems lnc
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/07
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Übersicht
Das CTRM750 ist ein Mikroskop, das von der koreanischen Firma Nanoscope Systems speziell für die Halbleiterforschung entwickelt wurde. Die Integration von Kofokuss- und Wärmereflexionsmodulen ermöglicht die Messung der tatsächlichen Wärmeverteilung der Probenoberfläche während der Messung der 3D-Konturen der Probenoberfläche.
Produktdetails
Das CTRM750 ist ein Mikroskop, das von der koreanischen Firma Nanoscope Systems speziell für die Halbleiterforschung entwickelt wurde. Die Integration von Kofokuss- und Wärmereflexionsmodulen ermöglicht die Messung der tatsächlichen Wärmeverteilung der Probenoberfläche während der Messung der 3D-Konturen der Probenoberfläche. Das thermische Reflexionsmodul verwendet das Prinzip der thermischen Reflexion, sammelt die Werte der Temperaturänderungen der Zielprobenhelligkeit und verwendet die Funktion, um den thermischen Reflexionskoeffizienten (κ) zu erhalten, der thermische Reflexionskoeffizient (κ) in das System einzugeben, um den tatsächlichen Temperaturwert des Bildes der Wärmeverteilung der Zielprobe zu messen.
Features & Benefits (Leistung und Vorteile):
1. Hochauflösende schädigungsfreie optische 3D-Messung
2. Echtzeit-Kofokussierung
3. Viele optische Zooms
4. Automatische Neigungskompensation
5. Doppel-Z-Achse-Scan
6. Kompakte Modulgrößen
7. Setup-Module
8. Einfache Bedienung
Hauptfunktionen:
Gemeinsame Fokussierungsmodule
1. 3D Konturmessung
Im Fokusmodus setzen SieIn Z-Richtung.Messbereich für hochauflösende 3D-Konturbilder der Probenoberfläche und Analyse der Probenoberfläche bei unterschiedlichen TemperaturenErweiterte Daten。
2. Echtzeit-Kofokussierung
Über den Live-Modus können Proben in Echtzeit exportiert werden.
Thermal Reflexion Imaging Modul
1. Synchron
Im Synchronomodus erhält diese Methode thermische Reflexionsbilder, indem die Perioden der Signalquelle und die Messreihenfolge der Kamera abgestimmt werden.
2. ASynchron
Im Asynchron-Modus ist die Generationsdauer der Signalquelle auf diese Weise unabhängig von der Kameramessung. Das auf diese Weise gemessene Bild erhält anschließend ein Bild der Wärmeverteilung über einen separaten TRMeter.
TRViewer (Software):
Transient Thermal Imaging (Übergangsbildgebung)
Anwendungsfeld (Application Field):
Spezifikationen (Parameter):
| Modul | |||||
| Objektive | Vergrößerung | 5X | 10X | 20x | 50x |
| Arbeitsabstand | 34.0 | 33.5 | 20.0 | 13.0 | |
| NA | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | |
| Gemeinsamer fokussierter Sichtbereich | Horizontal(um) | 2800 | 1400 | 700 | 280 |
| Vertikal (um) | 2100 | 1050 | 525 | 210 | |
| Wärmereflektierender Sichtbereich | Horizontal(um) | 1330 | 655 | 332 | 133 |
| Vertikal (um) | 1330 | 655 | 332 | 133 | |
| Lichtquelle (Puls LED) | Basiswellenlänge | 430,455,505,530,565,590, 617, 625, 660, 700, 730 nm (12 wavelength) | |||
| Ausgangsleistung | 120 ~ 3000 mW (Wellenlängenabhängig) | ||||
| Bildsensoren | Wissenschaftliches CMOS | ||||
| Aktive Bildpixel | 2048x2048 Pixel | ||||
| Aktive Wärmebildpixel | 1024x1024 Pixel | ||||
| Raumliche Auflösung (horizontal) | 0,5 µm | ||||
| Wärmeauflösung | 1°C | ||||
| Thermal Reflexion Imaging-Modus | Steady State (Asynchron FFT, 4-Bucket) Übergängig | ||||
| Zeitauflösung im Übergangsmodus | 50 nsec bis 1 msec | ||||
| Elektrische Heizscheibe | Heizbereich | RT bis 110°C | |||
| Heiz-/Kühlgeschwindigkeit | · 2 Minuten zur Erwärmung von RT auf 90°C | ||||
| X, Y, Z-Tragstelle | Reichweite: 18x18x14mm | ||||
| Elektrische Z-Tragstelle | Reichweite: 60mm | ||||
| X, Y-Tragstelle für Scankopfbewegungen | Reichweite: 13x13mm | ||||
| PC | Spannung | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||
| Strom | 500W Max | ||||
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