Schweizer MwSt. Hochvakuum-Regelventil Serie 65.5

65.5 Hochvakuum-Regelventile bieten ein hochkontrolliertes Strömungsspektrum. Aufgrund seiner glatten Öffnungs- und Schließbewegung ist die Partikelzahl und die Partikelproduktion extrem niedrig, was auch sein Hauptmerkmal ist.

Das Ventil ist speziell für anspruchsvolle Prozesse wie korrosive Gravur- und Reinigungsanwendungen in der Halbleiterherstellung entwickelt worden, bei denen ein hoch kontrolliertes Stromleitungsspektrum erforderlich ist, wenn die anfängliche steuerbare Stromleitung niedrig ist.

65.5 Mit einem DN von 250 mm (10') kann das Hochvakuum-Regelventil den minimalen Durchfluss auf nur 2 ls-1 regeln. Durch die ausgezeichnete Datenverarbeitungsleistung des 32-Bit-Laufwerksteuers kann die Steuerung der Flussleitung auf ein sehr feines Maß erhöht werden. Darüber hinaus können schnellere Treiber angeboten werden, da Sensoren und Steuerbefehle schneller verarbeitet werden als gleichwertige 16-Bit-Controller. Die verschiedenen Standardanschlüsse auf dem Controller sind einfach über einen PC oder über eine Verbindung zur Prozesssteuerung zugänglich.

Die Klappenventilblattenmechanismen sind extrem robust und stellen sicher, dass sie gegen Nebenprodukte jedes Prozesses standhalten. Um den Verschleiß der Dichtung zu reduzieren und die Partikelbildung zu vermeiden, sind die Öffnungs- und Schließbewegungen getrennt. Durch eine vertikale Bewegung weg vom Ventilsitz wird die erste Stufe der Durchflussleitung realisiert und die Durchflussleitung durch Bewegung der Schaukelventilplatte in einer horizontalen Bewegung erhöht. Aufgrund der guten Bewegungskontrolle der Ventilplatten kann die vorgegebene Bewegungsreihe genau an die Prozessanforderungen angepasst werden. Um sicherzustellen, dass die Dichtung geschlossen ist, wird die Ventilplatte durch eine spezielle Druckstange auf den Ventilsitz gedrückt. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Verteilung des Dichtdrucks in allen Bereichen der Ventilplatte.

Dank der kompakten Konstruktion und der direkten Montageoptionen sowie einer Vielzahl weiterer Konstruktionsoptionen ist die 65.5-Serie einfach in eine Vielzahl von Vakuumprozessen zu integrieren.

65.5 Hochvakuum-Steuerklappen aus Aluminium oder hartem Aluminiumoxid mit ISO-F- und JIS-Flanschschlüsseln. Ein kundenspezifischer Flansch kann integriert werden oder als Heizer für Ventile mit Betriebstemperaturen bis zu 120 °C verwendet werden.

1. Ventile
2. Antriebsachse
3. Doppelachsantrieb
4. Antriebsspeisedichtung
5. Schließen