Schweizer MwSt. Hochvakuumkontrollventil Serie 65.3

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Schweizer MwSt. Hochvakuumkontrollklappen Serie 65.3 für optimale Nachdruckregelung und -isolierung in Halbleiter- und Monitorsystemen Diese Serie von Steuerklappenventilen ist speziell für Halbleiter- und Monitorproduktionssysteme konzipiert und bietet ein hohes Maß an Steuerbarkeit in einem breiten Leitungsbereich. 65.3 Das Steuerklappenventil ist mit einem Motor mit integrierter Positionssteuerung ausgestattet und bietet verbesserte Funktionen.

Produktdetails

Schweizer MwSt. Hochvakuumkontrollventil Serie 65.3

65.3 Steuerschwenkventile setzen neue Maßstäbe für die nachgelagerte Druckregelung und Isolierung. Diese Serie von Steuerklappenventilen ist speziell für Halbleiter- und Monitorproduktionssysteme konzipiert und bietet ein hohes Maß an Steuerbarkeit in einem breiten Leitungsbereich. 65.3 Das Steuerklappenventil ist mit einem Motor mit integrierter Positionssteuerung ausgestattet und bietet verbesserte Funktionen.

Die Laufwerksteuerung verfügt über eine höhere 32-Bit-Datenverarbeitungsleistung und bietet eine völlig neue Steuerbarkeit. Dies bedeutet, dass die einzelnen Positionen der Schaukelventilplatten sehr schnell, fein und präzise gesteuert werden können, wodurch eine sehr präzise Nachdruckregelung in sehr kurzer Reaktionszeit erreicht wird. Die vorgegebene Bewegungsfolge des Ventils kann an Geschwindigkeit und Route entsprechend einer Vielzahl variierender Prozessparameter angepasst werden. 65.3 Das Steuerklappenventil verhindert auch die Freisetzung von Partikeln. Die optimierte Dämpfungsschlussbewegung der Ventilplatte verhindert die üblichen Stoße und Vibrationen herkömmlicher Ventile. 65.3 Gleiches Schließen des Steuerklappenventils ist ungehindert und das Schließen und Öffnen ist kaum erkennbar. Die Ventilplatte bietet eine sehr präzise mechanische Führung, die eine berührungsfreie Luftströmungsregelung in der Rücklaufbewegung gewährleistet und eine gleichmäßige Dichtung in allen Bereichen der Dichtbewegung ermöglicht.

65.3 Steuerschwenkventile wurden in hunderten anspruchsvoller Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert und beweisen ihre Zuverlässigkeit und Leistung. Das 65.3-Steuerschwenkventil ist auch ideal für die Modernisierung bestehender Systeme.

65.3 Das Steuerschwenkventil ist in den Größen DN 100-350 mm (4' - 14') aus Aluminium oder hartem Aluminiumoxid mit ISO-F- und JIS-Flanschverbindung gefertigt. Ein maßgeschneiderter Flansch kann integriert werden oder als direkte Installationsoption erhältlich sein. Standard-Dichtungsmaterial ist Fluor-Gummi und andere Materialien können auf Anfrage verwendet werden.

Der Controller kann spezielle Steueralgorithmen verwenden (adaptive, feste PID, Upstream, Softpumpe). Die verschiedenen Standardanschlüsse auf dem Controller sind einfach über einen PC oder über eine Verbindung zu einer Prozesssteuereinheit (PCU) zugänglich. Spezielle Controlled Performance Analyzer (CPA)-Software ermöglicht die einfache Kalibrierung des 65.3-Regelventils und vereinfacht die Wartungsplanung

瑞士VAT高真空控压摆阀65.3系列

Eigenschaften:

Schnelle und präzise Druckregelung
Schockfreier Betrieb: Keine Partikelerzeugung
Verbesserte Prozessstabilität: Kontrolle aller Strömungen und Drucke
Integrierter 32-Bit-Druckregler (IC2) mit Controlled Performance Analyzer (CPA)
„Plug-and-Use“-Transformation: Keine Kalibrierung oder Übereinstimmung erforderlich

Vorteile:

Zuverlässigkeit, Präzision und Geschwindigkeit
Wartungszyklus verlängert
Niedrige Betriebskosten

Größe		DN 100 (4'), DN 160 (6'), DN 200 (8'), DN 250 (10'), DN 320 (12'), DN 350 (14')
Laufwerk		Schrittmotor mit integriertem Druckregler
Ventilkörper Material		Aluminium: Aluminium oder hartes Aluminiumoxid
Zufuhrteile	Laufwerk Dichtring	Rotationsspeiseleitung Füllstufen
Standard Frankreich		ISO-F, JIS
Leckageverntilkörper	Aluminium Hartes Aluminiumoxid	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-5mbar Ls-1
Leckage-Ventilsitz	Aluminium Hartes Aluminiumoxid	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-4mbar Ls-1
Druckbereich	Aluminium Hartes Aluminiumoxid	1 × 10-8mbar bis 1,2 bar (absoluter Druck) 1 × 10-6mbar bis 1,2 bar (absoluter Druck)
Anzahl der Schalter vor Wartung1)	Druckregelung Schließen / Öffnen	Eine Million Mal. 200.000 Mal.
Temperatur	Ventilkörper Steuerung	≤ 120 °C Maximal 50 °C (empfohlen ≤35 °C)
Material	Ventilkörper, Ventilplatten	EN AW-6061 (3.3211)
	Dichtring	EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)
	Weitere Teile	AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)
Dichtung	Ventildeckel, Ventilplatte, Ventilkörpernutzung	Fluor-Gummi (Fluorelastomer enthaltend)
Installationsort		Jeder Ort

Schweizer MwSt. Hochvakuumkontrollventil Serie 65.3

Artikelnummer65350-JAUHArtikelnummer65346-PHGKArtikelnummer65350-JAUFArtikelnummer65350-JAUEArtikelnummer65350-PACE

Artikelnummer 65346-PHGNArtikelnummer 65340-JAGQArtikelnummer 65340-JAGN

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