Unterstützende Antriebsmodule

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Astark Halbleiter-Industrie-Antriebsmodule sind Antriebslösungen, die speziell für die Halbleiterherstellung und verwandte Präzisionsgeräte konzipiert wurden und hochpräzise Reduktoren, Präzisionsmotoren, Sensoren und Steuersysteme integrieren, die eine Bewegungssteuerungsgenauigkeit auf Mikron- und sogar Nanometern erreichen und die hohen Anforderungen an Stabilität und Präzision von Halbleiterprozessen erfüllen. Mit Präzisionsantriebsmitteln wie Harmonischer Reduktor, Planetengetriebsreduktor und anderen, in Kombination mit hochauflösenden Encodern, um #177; Wiederholte Positionierungsgenauigkeit innerhalb von 1 μm gewährleistet den präzisen Betrieb von Halbleitergeräten in der Wafer-Bearbeitung, der Prüfung und anderen Bereichen.

Produktdetails

Astark HalbleiterindustrieUnterstützende AntriebsmoduleEs ist eine Antriebslösung, die speziell für die Halbleiterherstellung und verwandte Präzisionsgeräte entwickelt wurde, die einen hochpräzisen Reduktor, einen Präzisionsmotor, einen Sensor und ein Steuersystem integriert, um eine Bewegungskontrollgenauigkeit auf Mikron- und sogar Nanometergenauigkeit zu erreichen und die hohen Anforderungen an Stabilität und Genauigkeit des Halbleiterprozesses zu erfüllen.Mit Präzisionsantriebsmitteln wie Harmonischer Reduktor, Planetengetriebsreduktor und anderen, in Kombination mit hochauflösenden Encodern, um eine wiederholte Positionierungsgenauigkeit innerhalb von ±1 μm zu erreichen, um den präzisen Betrieb von Halbleitergeräten in der Wafer-Bearbeitung, der Prüfung und anderen Bereichen zu gewährleisten.

Astark HalbleiterindustrieUnterstützende AntriebsmoduleEigenschaften:

Dünn, kompakt

Es wurde die Miniaturisierung von Maschinen und Anlagen und die Vereinfachung der Konstruktion erreicht.

Eingebaute Stützeinrichtung mit ausgezeichneter Steifigkeit

Verwendung:

Halbleiterherstellungsanlagen: Handhabungsroboter, Inspektionsplattformen

Anlagen zur Herstellung von Flüssigkristallen: Handhabungsroboter, Inspektionsplattformen

Geräte für die optische Industrie