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3. Etage, Gebäude 4, Elektromechanischer Industriepark, Yulan Avenue, Shushan, Hefei, Anhui
Produktkategorien
Hefei neue Elemente Wissenschaft und Technologie Equipment Co., Ltd.
Schiebeofen mit PECVD-System
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/07
- Modell
- Natur des Herstellers
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- Produktkategorie
- Ursprungsort
Übersicht
Gleitende PECVD-Systemofen mit niedriger Temperatur und hoher Effizienz machen sie unersetzlich in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, flexible Elektronik und andere, im Vergleich zu herkömmlichen CVD ist der bemerkenswerte Vorteil von PECVD, dass es eine qualitativ hochwertige Folienablagerung bei niedrigeren Temperaturen ermöglicht, die sich für Substrate mit hoher Temperaturbeständigkeit eignet.
Produktdetails
Der Systemofen OYS-1200C-II-60-PECVD ist ein mittleres, schiebendes, offenes PECVD-System. Diese komplette Anlage verfügt über eine Plasma-HF-Stromversorgung, ein dreiweges Massenstrommischsystem (1-100SCCM, 1-200SCCM, 1-200SCCM), einen offenen Rohrofen mit einem Durchmesser von 60 mm (mit Vakuumflansch und Anschlussleitung) und eine mechanische Pumpe.
Schiebeofen mit PECVD-Systemtechnische Parameter | |||||||
Spezifikationen Modell |
Z高Temperatur |
Länge der Heizungszone |
Länge der Heizungszone |
Nennleistung |
Nennspannung |
Außengröße |
Gewicht |
OYS-1200C-SL |
1200 ℃ (<0,5 h) |
Φ25 * 1000mm |
440mm (Einzeltemperaturzone) |
3,1 KW |
AC220V |
1680mm * 490mm * 700mm |
ca. 75 kg |
● Gehäusestruktur: PECVD-Systemofen verwendet eine doppelschichtige Gehäusestruktur und ist mit einem luftgekühlten System ausgestattet, um die Gehäuseoberflächentemperatur effektiv zu senken; Der Ofen verwendet hochreines Aluminiumfasermaterial, um den Energieverlust zu reduzieren; Die Oberfläche des inneren Ofens ist mit einer US-importierten Hochtemperatur-Aluminiumoxidbeschichtung beschichtet, die die Reflexivität und die Heizeffizienz der Ausrüstung verbessern kann, aber auch die Lebensdauer des Instruments verlängern kann, mit Überhitzung und Trennschutz, Tür öffnen, Stromausfall und Verbesserung der experimentellen Sicherheit; Die untere Installation des Ofens verfügt über ein Paar Schienen, die den Ofen von einer Seite des Ofenrohres auf die andere schieben lassen, um eine schnelle Erwärmung und eine schnelle Kühlung zu erreichen.
• Temperaturregelsystem: enthält einen Temperaturregler Typ YD858; PID-Steuerung und selbstintegrierte Einstellung, intelligente programmierbare Steuerung mit 50 Abschnitten, mit Übertemperatur- und Unterbrechungsalarmfunktion; Temperaturgenauigkeit ± 1 ℃; Standardanschlussport für DB9 PC-Kommunikation; Optionale Computertemperaturregelungssoftware (für Regler der Serie YD858P) zur Steuerung der Erwärmungskurve und zum Exportieren von Daten.
● Ofenrohr: Hochreines Quarzrohr φ100 * 1000mm, Doppelschiene aus verchromtem Stahl, manuelle Schienenlänge 1400mm.
• Vakuumflansch:
◎ Ausgestattet mit einem Satz von 304 Edelstahl-Dichtflansch, mit Silikon-Dichtring-Dichtung.
◎ Edelstahl Vakuumflansch an beiden Enden des Ofenrohres installiert, um die Montage zu erleichtern.
◎ Der linke Flansch verwendet einen 1/4-Zoll-Kartanschluss für die Einleitung des Reaktionsgases.
Ein mechanisches Druckmesser ist am linken Flansch installiert, um den Rohrdruck zu überwachen.
◎ Der Flansch bietet einen Φ6.35mm-Karteneingang, der Ausgang ist mit einem unabhängigen Φ9.2mm-Abgasöffnung und einem Kugelventil ausgestattet, die Ausrüstung reserviert KF25-Pumpöffnung und KF16-Vakuummeter-Anschlüsse, die Vakuumkomponenten anschließen können.
• Vakuumkomponenten:
◎ mit einer Vakuumpumpe ausgestattet (Pumpgeschwindigkeit ≥ 16 m³ / h, Vakuumgehalt ≤ 5,0 x 10-1 Pa)
◎ Widerstandsvakuummeter 1 Satz
◎ 1 manuelles Ventil
◎ 1 Wellenrohr
Ölnebelfilter 1 Satz
◎ Klemme (Modell: KF25) ≥ 3 und entsprechende Verbindungen
● Endvakuumgehalt: ≤1Pa (kalte Leerlast).
• Einatmung:
◎ 1 Satz Schwimmer Durchflussmesser, Messbereich ist optional, auf dem Gerät installiert;
◎ Die Gasflasche ist mit 1 Set von Gasdruckminderventilen ausgestattet.
● Standard-Zubehör: Quarzrohr ≥1 Stück, Molai-Rohr-Blockade ≥1 Paar, Edelstahlflansch ≥1 Satz, Silikon-Dichtring ≥2 Satze, Hochtemperatur-Handschuhe ≥1 Paar, Ofenhaken ≥1 Stück.
●Schiebeofen mit PECVD-SystemZertifizierungsstandards und Kernteile: Die gesamten Kernteile der Maschine entsprechen CE, UL, MET und anderen Zertifizierungsstandards; Kernteile sind ABB Elektrokomponenten, UL-zertifizierte Drähte, Kabel, Omega, Aerospace, Continental Instrumente usw.
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