Shanghai Maverick Furnace Technologie Single Temperatur Zone Plasma PECVD System

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MFLPECVD408-12 ist ein Rohrofensystem für PECVD-Systeme. Besteht aus Vakuumrohrofen, HF-Stromversorgung, Gasversorgungssystem, Vakuumsystem. Die maximale Temperatur kann 1200 Grad erreichen, mit einem 30-Abschnitt-Verfahren-Temperaturmessgerät, einem K-Typ-Thermoelement, einem Ofen aus hochreiner Aluminiumoxid-Keramikfaser, dieses Gerät kann für das Wachstum von Nanodrähten oder die Herstellung verschiedener Dünnfolien mit der CVD-Methode verwendet werden.

Produktdetails

Einer,Produktbeschreibung

Zwei,Produkteigenschaften

1, das Gas im Quarzvakuumkammer durch die HF-Stromversorgung in den Ionenzustand umwandeln.
PECVD hat niedrigere Temperaturen als herkömmliche CVD zur Ablagerung chemischer Gase
3. Die Spannungsgröße des abgelagerten Films kann durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden
4, PECVD als normales CVD für eine hohe chemische Gasphase-Ablagerungsrate, eine gute Gleichmäßigkeit, Konsistenz und hohe Stabilität.
5, weit verbreitet in: Wachstum verschiedener Dünnfolien, wie: SiOx, SiNx, SiOxNy und amorphoses Silizium (a-Si: H).

Technische Parameter

Gerätemodell	MFLPECVD408-12
Rohrofen	Temperaturbereich	Raumtemperatur - 1200°C
	Betriebstemperatur	≤1100℃
	Länge der Heizungszone	400 mm
	Quarzrohr	Durchmesser 80mm, Länge 1400mm (Rohrdurchmesser 50, 60, 100 optional)
	Temperaturgenauigkeit	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	Temperaturschwankungen	±1°C (Testpunkt 1000°C)
	Erwärmungsgeschwindigkeit	Empfohlene 1000 Grad unter ≤10 ℃ / min, die schnellste Erwärmungsgeschwindigkeit ≤30 ℃ / min
	Kühlgeschwindigkeit	Über 700 ℃ ≤10 ℃ / min
	Ofentemperatur	Oberflächentemperatur unter Raumtemperatur +10 (Messpunkt 1000 °C)
	Temperaturmesselemente	K-Thermoelement
	Temperaturkontrollmodus	Verschwommene PID-Steuerung und Selbsteinstellung, intelligente 30-Segment-programmierbare Steuerung mit Übertemperatur- und Zwischenkoppelalarm
	Spannungsleistung	220V 3KW
Gasversorgungssystem	Luftweg	4 Straße
	Luftwegstromkontrolle	Protonenflussregler (7-Sterne-Durchflussmesser)
	Kontrollgenauigkeit	± 1,5% F.S.
	Wiederholungsgenauigkeit	± 0,2% F.S.
	Durchflussbereich	1-500 SCCM
	Mechanische Druckmesser	Ein mechanisches Druckmesser auf der Platte, und die Mischgasversorgung verbindet Maßbereich: -0,1 ~ 0,15 Mpa



Vakuumsystem Option 1 (niedriges Vakuum: mechanische Pumpe)	Stromversorgung	220V
	Endvakuumgehalt	5X10^-1Pa
	Pumpgeschwindigkeit	2 Liter pro Sekunde
	Vakuumventil	KF25
	Modell	VRD-8
	Motorleistung	0,4 KW
Vakuumsystem Option 2 (Hochvakuum: Mechanische Pumpe + Molekularpumpe)	Modell	GZK-16-600
	Stromversorgung	AC100-240 50 / 60HZ
	Leistung	1KW
	Gewicht	25 kg
	Grenzdruck	*1,0 10-4Pa**
	Ein- und Abgasanschluss	KF40
	Maximaler Durchfluss des Kälters	10L / MIN
	Vakuummeter	Kompositvakuummeter
	VakuumKontrollgenauigkeit	± 1%
	Vakuummessbereich	1,0x10 - 1,0x10-5pa
Stromversorgung (Plasma-Generator)	Leistungsumfang	0-500W
	Leistungsstabilität	≤±5W
	Arbeitsfrequenz	Radiofrequenz:13,56MHZ ± 0,005%
	Übereinstimmungsmethode	Automatisch
	Kühlungsart	Luftkühlung
	Lärm	<50dB







Sicherheit	Arbeitsumgebung	RT ± 5-40 ℃
	Nutzungsgarantien	Türöffnung Stromausfall Überhitzungsalarm Leckageschutz Überhitzungsschutz




	Rohrofen	Einer.
Fabrikliste	Vakuumsystem	ein Set
	Gasversorgungssystem	ein Set
	HF-Stromversorgung	ein Set
	Wärmehandschuhe	Carson ein paar.
	Ofenhaken	Einen.
	Luftrohre	Einen.
	Geräteanleitung	Einen.
	Geräteanleitung	Einen.
	Garantiekarte	Einen.
Ausgewählte Produkte	Mobiler Ofen	rostfreier Stahl
Ausgewählte Produkte	Touchscreen intelligente Messgeräte	50 Programmierungsabschnitte ermöglichen eine Verbindung zum Computer. Fernsteuerung, Echtzeitverfolgung, Historie, Ausgabeberichte und vieles mehr mit einem oder mehreren Ofen durch ein spezielles Computersteuerungssystem.

Hinweis: Rohrdurchmesser optional: 50/60/80/100/120/150/200/300 mm,

Temperaturzonen können Dual-Temperaturzonen, Drei-Temperaturzonen und andere Multi-Temperaturzonen,

Bitte kontaktieren Sie den Kundenservice.

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