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Shanghai Jiayi Präzisionsinstrumente Co., Ltd.
HEMADE MHS300G-4P und MHS600G-4PHalbleiter-Sonden-KältegerätEs ist ein speziell für die Entwicklung und das Testen von Halbleiterchips entwickeltes Produkt. DiesesHalbleiter-Sonden-KältegerätDie Heizstation verfügt über eine hochpräzise Sondenverschiebungsplattform, eine gute Luftdichtigkeit und eine präzise Temperaturregelung.
Temperaturbereich: -196 ℃ ~ 600 ℃
Heizungsbereich: φ27mm
Sondenstrecke: 13mm
Sondenverschiebungsgenauigkeit 1μm
Durchmesser der Sondenspitze (Standard) 100μm
Arbeitsabstand des Objektivs: 15mm
Durchmesser: 2mm
Maximale Erwärmungsgeschwindigkeit: 0 ~ 150 ℃ / min
Beobachtungsfenster: φ40mm
Temperaturgenauigkeit: 0,1 ℃
Unterstützung für Reflexion/Transmission
Unterstützung für Änderungen und Anpassungen
Softwaresteuerung



Modell |
MHS300G-4P |
MHS600G-4P |
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Temperaturkontrollmodule |
Kühlung/Heizung |
Flüssigstickstoffkühlung, Widerstandsbeheizung |
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Temperaturregelbereich |
-196~300°C* |
-196~600°C* |
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Temperaturstabilität |
±0.1°C |
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Temperaturauflösung |
0.1°C |
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Maximale Erwärmungsgeschwindigkeit |
0 bis 150°C/min (feststellbare Temperatur) |
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Temperatursteuerung |
PID |
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Temperatursensoren |
PT100 |
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Optische Eigenschaften |
Lichtweg |
Reflexions-/Transmittionsweg (optional) |
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Fenstermaterial |
Quarzglas* |
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Fenstergröße |
φ40mm* |
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Fensterdicke |
0,5 mm* |
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Arbeitsabstand der Objektive |
15 mm* |
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Lichtdurchlässigkeit |
φ2mm* |
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Elektrische Eigenschaften |
Sonden |
Mobiles Sondenmodul x4*, manuelle Einstellung XYZ |
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Sondenreise |
13 mm |
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Sondenverschiebungsgenauigkeit |
1μm |
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Sondenschnittstelle |
SMA-Schnittstelle x4* |
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Sondendurchmesser |
10 / 50 / 100 μm* |
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Probenpotential |
Erdung (Standard-Erdung) / Elektrische Aufhängung / Tri-Coaxial* (optional) |
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Strukturelle Eigenschaften |
Probengröße |
φ27mm* |
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Mustermaterial |
Kupfer* |
Reines Silber* |
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Abmessungen |
460x290x82mm* |
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Probenhöhe |
12mm* |
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Kammer |
Luftdicht |
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Grundkonfiguration |
Wärmeanlage x1, Temperaturregelung x1, Tieftemperaturanlage x1, Flüssigstickstoffbehälter 2Lx1, Wasserzirkulationsanlage x1, Temperaturregelungssoftware |
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Auswahl |
PC-Host / Tablet / Touchscreen / Montagefestiger / Vakuumsystem / Andere Anpassungen |
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Bemerkung |
Diese sind Standard-Parameter * sind anpassbar |
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Weitere optionale Modelle |
Konfiguration nach Bedarf |
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