SU1510

Standardspezifikationen

(1) Grundspezifikationen

SE Bildauflösung 3,0 nm bei 30 kV (x100.000, WD = 5 mm, Hochvakuummodus)
15 nm bei 3 kV (x30.000, WD = 5 mm, Hochvakuummodus)

BSE Bildauflösung 4,0 nm bei 30 kV (x60.000, WD = 5 mm, 6 Pa im Vakuum-Mode)

Vergrößerung : ´5–´300,000
(Die höchsten und niedrigsten Vergrößerungen hängen von der Beschleunigungsspannung, WDand-Scangeschwindigkeit ab)

(2) Elektronoptik

Elektronenstrahlquelle : Vorzentriertes Cartridge-Filament (Wolfram-Haar-Pin-Filament)

Beschleunigende Spannung 0,3 kV bis 30 kV

Gun Bias: Quadrant Bias

Strahlausrichtung 2-stufige elektromagnetische Ablenkung (funktioniert als Strahlblanking, wenn ein Bild gefroren ist)

Linsensystem: 3-stufige elektromagnetische Linsenreduktionsoptik

Stigmator: X-Y Oktopol elektromagnetisch

Scannspule 2-stufige elektromagnetische Ablenkung

Objektiv bewegliche Blende: 4 Löcher mit Klick-Stop-Design (30, 50, 80, 150 µm Durchmesser)

Bildverschiebung: ±50 µm oder größer bei WD = 15 mm

Analyseposition WD = 15 mm, TOA = 35°

Detektoren: SE-Detektor im Hochvakuummodus
BSE-Detektor in Hoch- und Niedervakuummodus

(3) Probenbereich

(4) Evakuierungssystem

Evakuierungskontrolle Vollautomatische Abfolge mit Motorventilen

Vakuummessgerät : Pirani-Messgerät

Ultimates Vakuum Größe: 1,5 x 10^-3Pa

Verstellbarer Druckbereich: 6 – 270 Pa (nur im Vakuum-Modus)

Vakuumpumpe:Turbomolekularpumpe (TMP) 210l/s,´1 Öldrehpumpe 135 l/min. (50Hz), 162 l/min. (60Hz),´1

(5) Anzeige

Steuerung: Grafische Benutzeroberfläche (GUI), englisches Menü

Betriebssystem: Microsoft^®Windows^®XP Professionelle

Betrieb: Maus/Tastatur, Drehknopfset (Option)

Monitor: 19 Typ LCD (1280)´1024 Pixel auf dem Desktop)

Bildanzeigemodus Vollbildbildschirm (1280 ´960 Pixel)
Standardbildschirm (640)‚480 Pixel)
Duale Bildschirm (640 ´480 Pixel)´2), Signalmischung

Scanmodus : TV/FAST

: Langsam

Reduzierte Fläche (320)´240 Pixel)

:Wellenform

: Split Screen / Doppelvergrößerung

:Hochauflösende Bilderfassung (max. 2560 ´1920 Pixel)

Bilderfassung mit Rahmen-Integration (max. 2560 ´1920 Pixel)

Scangeschwindigkeit : TV-Scan
(640´480 Pixel, 25/30* Bilder/Sek.)

:Schneller Scan
(Vollbildanzeige: 6,3/7,5* Bilder/Sek.)

: Langsamer Scan
(Vollbildanzeige: 1, 4, 20/16, 40/32, 80/64* Sek./Bild)
(640´480 Pixel: 0,5, 2, 10/8, 20/16, 40/32*s/Bild)

Reduzierter Area Scan
(320´240 Pixel: 25/30,3/4* Bild/Sek.)
* Frequenz der Stromversorgung: 50/60Hz

Automatische Einstellfunktionen

Automatische Helligkeit und Kontrast (ABCC)

Automatische Fokussteuerung (AFC)

Automatischer Stigmator und Fokus (ASF)

:Automatische Filament Sättigung (AFS)

Automatische Strahlausrichtung (ABA)

:Automatische Strahleneinstellung (ABS)
(AFS + ABA + automatische Pistole Bias)

Signal- und Bildverarbeitungsfunktionen

Verbesserung des S/N-Verhältnisses durch Durchschnitt (TV, FAST-Scan)

Verbesserung des S/N-Verhältnisses durch Pixelintegration

Verbesserung des S/N-Verhältnisses durch Frame-Integration
(Maximalrahmen für die Integration: 1024)(TV, FAST, SLOW1)

: Composite Bi-Color Bildschirm
(Echtzeit im Dual-Bild-Anzeigemodus / Bild speichern)

: Pseudo-Farbdisplay (Bild speichern)

Bildverarbeitung in Echtzeit
(Umkehrter Kontrast, Gamma-Steuerung)

: Echtzeit-Histogramm-Anzeige

Bildverarbeitung zum Speichern des Bildes
(Umkehrter Kontrast, Gamma-Steuerung, Glättung, Kantenverbesserung usw.)

Bildspeicherung : Bildspeichergröße
(640´480 Pixel, 1280 ´960 Pixel, 25601920 Pixel, 5120´3840 Pixel)

Bilddateiformat: BMP, TIFF, JPEG

Bildausdruck Kostenlose Layout-Druckfunktion im Standard

Verwaltung des Bildes speichern

:SEM Datenmanager (Bilddatenbank) im Standard
(Datenmanagement, Miniaturanzeige, verschiedene Bildverarbeitungsfunktionen)

Weitere Funktionen Beam blanking, wenn ein Bild eingefroren ist.

:Rasterrotation

Dynamischer Fokus/Neigungskompensation

: Datenanzeige (Bildnummer, Beschleunigungsspannung, Vergrößerung, Mikronmarker, Einheit, WD, Datum, Zeit, Druck, Detektor)
Datenanzeige wählbar zwischen mit und ohne Bild

Dateneingabe[Figuren (Kreis, Rechteck, Pfeil, Messlinie), Zeichen］

: Einfache Messfunktion (Abstand zwischen 2 Punkten und Messlinien mit Pfeil)

Wartungsanleitung für 3D-Animationen

Bildübertragung auf Quartz Imaging PCI

Röntgenmodusfunktion Eingangssignalanschlüsse für Röntgenratenmesser (0 - +10V) und Mapping (TTL)

Scanmodus (Linienanalyse, Spotanalyse, Durchschnittskonzentrationsanalyse)

:DBC-Schnittstelle (Option)

Anschlussanschluss für externe Geräte

: USB-Schnittstelle

:Netzwerkschnittstelle (Ethernet), Einrichten ist optional.

VTR-Signal: Nur NTSC-Schwarz-Weiß-Signal (BNC), ein Bild im Standard-Anzeigemodus.

(6) Sicherheitsvorrichtung

: Geschützt vor Stromausfall, Leckstrom und Vakuumausfall.

(7) Dimensionand Gewicht