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Hitachi High-Tech (Shanghai) International Trade Co., Ltd.
Ultrahochauflösende Feld-Emissions-Scan-Elektronenmikroskope Regulus-Serie
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/20
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- Ursprungsort
Übersicht
Die bestehenden Modelle SU8240, SU8230, SU8220 und SU8010 wurden zu Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 und Regulus 8100 neu integriert. Die "Regulus-Serie" erbt die Beobachtungs- und Analyseleistungen bestehender Modelle und ist mit einer geräuscharmen Elektropistole mit kaltem Feld*1 der SU8200-Serie ausgestattet, um einen hochstabilen Strahlstrom zu erzielen. Durch die Optimierung der elektronischen Optik wurde die Regulus 8240/8230/8220 bei 1 kV auf 0,7 nm aufgelöst und die Regulus 8100 auf 0,8 nm. Darüber hinaus wurde die Vergrößerung von 1 Million auf 2 Million*1 erhöht, um die Leistung der Ultrahochauflösung voll auszuschöpfen. Regulus 8240/8230/8220/8100 erweitert auch die Benutzerunterstützung, die den Benutzern hilft, die Erkennungsprinzipien komplexer Signale besser zu verstehen und die optimale Leistung ihrer Geräte zu nutzen. *1 Nur für Regulus 8240/8230/8220
Produktdetails
Ultrahochauflösende Feld-Emissions-Scan-Elektronenmikroskope Regulus-Serie
Die bestehenden Modelle SU8240, SU8230, SU8220 und SU8010 wurden zu Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 und Regulus 8100 neu integriert.
Die 'Regulus-Serie' erbt die Beobachtungs- und Analyseleistungen bestehender Modelle mit einer geräuscharmen Elektropistole mit kaltem Feld der SU8200-Serie*1Sie können eine hohe Stabilität erreichen.
Durch die Optimierung der elektronischen Optik erhöht sich die Regulus 8240/8230/8220 bei 1 kV auf 0,7 nm und die Regulus 8100 auf 0,8 nm.
Darüber hinaus wurde die Vergrößerungsrate von einer Million auf zwei Millionen Mal erhöht, um die Fähigkeit der ultrahohen Auflösung voll zu nutzen.*1.
Regulus 8240/8230/8220/8100 erweitert auch die Benutzerunterstützung, die den Benutzern hilft, die Erkennungsprinzipien komplexer Signale besser zu verstehen und die optimale Leistung ihrer Geräte zu nutzen.
- *1
- Nur für Regulus 8240/8230/8220
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Eigenschaften
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Spezifikationen
Eigenschaften
- Kaltfeld-Elektropistole mit der 'SU8200-Serie'*2
- Die Stabilitätsbereiche mit hoher Helligkeit, die nach dem Blinken auftreten, als Intervall für stabile Beobachtungen ermöglichen eine optimale Leistung für hochauflösende Beobachtungen und Analysen unter niedrigen Beschleunigungsspannungsbedingungen
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Kleines, hochvakuumiges Probenlager mit Verschmutzung
- Mit einem Energiefilter (optional) können verschiedene Komponentenkontraste beobachtet werden*2
Hochauflösende Beobachtung bei extrem niedriger Landungsspannung
Probe: Goldpartikel
Landespannung: 10 V
Ultrahochauflösende Beobachtung
Probe: Pt-Katalysator
Beschleunigungsspannung: 30 kV
Hochauflösende EDX-Analyse bei niedriger Beschleunigungsspannung
Beispiel: Sn Ball
Landespannung: 1,5 kV
- *2
- Nur für Regulus 8240/8230/8220
Spezifikationen
| Projekte | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Sekundäre elektronische Auflösung | 0.7 nm (Beschleunigungsspannung 15 kV) 0.8 nm (Landspannung 1 kV)*3 |
0,6 nm (Beschleunigungsspannung 15 kV) 0,7 nm (Landungsspannung 1 kV)*3 |
|||||
| Landungsspannung | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| Vergrößern | 20 bis 1.000.000 Mal*4 | 20 bis 2.000.000 Mal*4 | |||||
| Probentesch | Probenstücksteuerung | 3-Achs-Motortisch (optional 5-Achs-Motortisch) | 5 Achsen Motorantrieb | ||||
| Bewegungsbereich | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| Reproduzierbarkeit | - | - | - | ±0,5 µm unter ±0,5 µm | |||
- *3
- Beobachtung im Bremsungsmodus
- *4
- Vergrößerung basierend auf 127 mm x 95 mm Filmen
Verwandte Produktkategorien
- Fokussiertes Ionenstrahlsystem (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM-Vorbehandlungsanlage
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