RIE Reaktions-Ionengraviermaschine

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CIF führt die RIE-Reaktions-Ionengraviermaschine ein, die die RIE-Reaktions-Ioneninduzierung verwendet, um die Mikrostrukturgravierung der Materialoberflächen zu erreichen. Besonders geeignet für Universitäten, Forschungsinstitute, Mikroelektronik, Halbleiterunternehmen Labor für Medien-Gravur, Silizium-Gravur, Metall-Gravur und andere Forschung. Niedrige Nutzungskosten, hohes Kostenverhältnis, einfache Wartung und schnelle und effiziente Handhabung. Die RIE-Ionengravierer eignen sich für die RIE-Ionengravierung aller Substrate und komplexer Geometrien.

Produktdetails

CIF führt die RIE-Reaktions-Ionengraviermaschine ein, die die RIE-Reaktions-Ioneninduzierung verwendet, um die Mikrostrukturgravierung der Materialoberflächen zu erreichen. Besonders geeignet für Universitäten, Forschungsinstitute, Mikroelektronik, Halbleiterunternehmen Labor für Medien-Gravur, Silizium-Gravur, Metall-Gravur und andere Forschung. Niedrige Nutzungskosten, hohes Kostenverhältnis, einfache Wartung und schnelle und effiziente Handhabung.RIE Reaktions-IonengraviermaschineGeeignet für alle Substrate und komplexe geometrische Konfigurationen für die RIE-Reaktion Ionengravierung.

Insbesondere:

Dielektrische Materialien (SiO2, SiNx usw.)

◆ Salz aus dem Sambhsee nach dem Tod der malerischen Vögel.

III-V-Materialien (GaAs, InP, GaN usw.)

Spritzmetalle (Au, Pt, Ti, Ta, W usw.)

Diamantähnliche (DLC)

Anwendungsbereiche:

RIE Reaktions-IonengraviermaschineEs wird hauptsächlich für die Entwicklung und Herstellung von Geräten in den Bereichen Mikroelektronikchips, Solarzellen, Biochips, Displays, Optik, Kommunikation usw. verwendet.

Produkteigenschaften

◆7-Zoll-Farbtouchbildschirm in englischer interaktiver Bedienungsoberfläche, automatische Steuerung und Überwachung des Prozessparameterzustands, 20 Rezeptprogramme, Prozessdaten können zurückverfolgt werden.

◆PLC-Steuerung steuert den gesamten Reinigungsprozess, manuell und automatisch zwei Arbeitsmodi.

◆Vakuumkabine, vollständiges Vakuumrohrungssystem 316 Edelstahl Material, korrosionsbeständig und ohne Verschmutzung.

◆Verwendung eines korrosionssicheren digitalen Durchflussmessers, Genaue Kontrolle der Gaseingabe. Standard mit Doppelweggasfördersystem, Optional MultigasStraßenförderungssysteme, Sauerstoff, Argon, Gase wie Stickstoff, Tetrafluorkohlenstoffe, Wasserstoff oder Gasgemische.

◆Verwenden Sie die regnerische poröse Einluftungsmethode, um die Ungleichheit des Einluftungslochs zu ändernEine gute Frage.

◆Effiziente HEPA-Filtration, Gasauffüllung und Reinigung, um Sekundärverschmutzung zu verhindern.

◆Entsprechend der menschlichen Funktionalität60 Grad Winkel Bedienungsschnittstelle Design, einfache Bedienung, Schnittstellenfreundlich.

◆Mit oberer Vakuumkammer, oberer Deckel mit offenem UnterdruckscharnierSchließen Methode.

◆Auf360 Grad Horizontale ProbenaufnahmeEntsprechend der menschlichen Funktionalität ist die Bedienung einfacher.

◆Große effektive Bearbeitungsfläche für den maximalen Durchmesser154mm Siliziumkristall.

◆Sicherheitsschutz, Öffnung der Kabinentür, automatisches Ausschalten der Stromversorgung, Transport der MaschineJa, stoppen Sie den Hinweis.

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