Pressodetektoren

Pressodetektoren

Parameter des piezoelektrischen Antriebs:

l Biegbare Schienen für lineare Bewegungen mit minimaler Neigung

l Reisebereich ist1 mm

l Kraft bis100 n

l Steife und spaltlose Struktur

l Integrierter Positionssensor verfügbar

l Lebensdauer des piezoelektrischen Aktors

l Ideal.OEMAktuatoren zur Krafterzeugung in der adaptiven Systemtechnik für Nanodruckprozesse oder Werkzeugmaschinen

l Eine maßgeschneiderte Version mit längerer Reichweite, kürzerer Reaktionszeit oder magnetischer

l Nano-Positionierung

l Hochgeschwindigkeitsschalter

l Folienklemmer

l Spuren Klebstoff

l Adaptive Systemtechnologie/Automatisierung

l Photonen/Integrierte Optik

l Biotechnologie

Lebensdauer

Alle piezoelektrischen Antriebe sind keramisch isoliert. Dies schützt sie vor Ausfällen durch erhöhte Feuchtigkeit und Leckstrom. Die Lebensdauer der Aktoren ist zehnmal so lang wie die der herkömmlichen Polymer-isolierten Aktoren. Es hat sich bewiesen.1000Es gibt keinen Fehler in einer Million Zyklen.

Nullspaltflexible Führungsschienen mit hoher Orientierungsgenauigkeit

Flexible Führungsschienen erfordern keine Wartung, Reibung und Verschleiß sowie keine Schmierung. Ihre Steifigkeit erlaubt eine hohe Belastbarkeit und ist unempfindlich gegenüber Stoßen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem sehr breiten Temperaturbereich.

Kompatibel mit neuen ModellenMEMSDie Sonde.

Diese neuen TypenMEMSDie Sonden haben eine größere Elastizität und thermische Stabilität, da sie robustere Komponenten und eine neue Geometrie aufweisen, ähnlich der im vergangenen Jahr vorgestellten0.025N/mDie Sonde. Außerdem ermöglichen sie uns, in96Miniaturisierte Messungen der Sonde in einer Mikroporenplatte. Neuer TypMEMSDie Steifigkeit der Sonde ist0.25±0.07und3.5±0.7 N/mDer Radius istR = 3、10、25、50 μmder0.25und3.5 N/mDie Sonde ersetzt die derzeitige0.5 N/mund5 N/mBandförmige Armsonde.

Aufgrund des größeren Spalts zwischen der Faser und dem Arm hat der Wellenlängenschan mehr Streifen. Wir empfehlen, die Laserleistung zu erhöhen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu erhöhen.

MEMSDie Kalibrierung der Sonde sollte auf PTFE-Platten durchgeführt werden, insbesondere wenn Messungen aufgrund des Vorhandenseins von statischer Kraft in der Luft durchgeführt werden.TeflonDas Substrat wird zusammen mit der Sonde gesendet. Aufgrund der Veränderung der Frequenz der Schwingungsfrequenz kann ein Oberflächenprogramm in der Öffnungsphase (schrittweise und nicht kontinuierlich) Schwingungen auf dem Schwingungsarm anzeigen. Wenn das System zu früh aufhört, nach Oberflächenprogrammen zu suchen, reduzieren Sie den Schritt oder erhöhen Sie die Empfindlichkeit (Schwelle). Bei Verwendung eines geschlossenen Rings (Druck)-Die Verformungsrate (Druckgeschwindigkeit) oder die maximale Drucktiefe oder die Last ändern sich nicht, da die Messung im geschlossenen Kreislauf nicht von der Steifigkeit der Sonde abhängt. Bei Verwendung eines offenen Ringes (Verschiebungssteuerung) wird die Probe mit einer niedrigeren Verformungsrate (Verschiebungsgeschwindigkeit) gemessen und mit der gleichen Verschiebungskontur, aber härteren Sonde (0.5und5 N/mim Vergleich zur Verwendung0.25und3.5 N/mDie Sonde erreicht eine niedrigere Drucktiefe oder -last. Sie können die Verschiebungskontur entsprechend anpassen, indem Sie die piezoelektrische Geschwindigkeit und die Verschiebung erhöhen.

Laserleistungseinstellung

MEMSGrößere Hohlräume führen zu einer geringeren Signalstärke. Um das Signal-Rausch-Verhältnis zu erhöhen, kann die Laserleistung erhöht werden. Sie können sie auf25.12 mWMaximale Laserleistung. Dann fahren Sie mit dem normalen Kalibrierungsverfahren fort. Daher sehen Sie, dass die Verstärkungseinstellungen nach dem Wellenlängenscann niedriger sind als bei der Verwendung einer minimalen Laserleistung. Wenn die Messung in der Luft durchgeführt wird, wird die Laserleistung von der maximalen Leistung auf eine niedrigere Leistung gesenkt, da die Signalstärke in der Luft viel höher ist und die maximale Laserleistung zu einer Signalsättigung führen kann, die zu einer flachen Linie nach dem Scannen der Wellenlänge führt.

Punkte verwenden

Bei der Messung in Flüssigkeiten (z.B. Wasser, Medium) können Sie den Wert, der auf der Sondekode angegeben wird, durch den Brechungsindex des Mediums (z.B.n=1.33Überprüfen Sie Ihre Kalibrierungsgeometrie. Wenn die Geometrie nicht den Erwartungen entspricht:

-Während der Kalibrierung wird überprüft, ob die Sonde mit dem Substrat in Kontakt steht.

-mit Isopropanol (1-2Milliliter, dauerhaft0.5-1Min.) Reinigen Sie die Sonde und das Substrat und spülen Sie dann mit Wasser, um alle Rückstände zu entfernen.

-Nach der Kalibrierung drücken Sie auf das Substrat den gleichen Abstand wie die Kalibrierung (in der Regel3000 nmVon der Berührungsstelle aus, überprüfen Sie die Überlappung zwischen dem Decoupling-Kreis und dem piezoelektrischen und den Armsignalen.