Neues SCHOTT Field Launch Scanner Elektroskop SU7000

Neues SCHOTT Field Launch Scanner Elektroskop SU7000
- Verschiedene Informationen über Proben zur Analyse des hohen Durchflusses -

Das Scannelektroskop SU7000 von SCHOTT Field hat die Zeit verkürzt, um eine Vielzahl von Probeninformationen durch die Erfassung mehrerer Signale zu erfassen, was eine hohe Durchflussbeobachtung und Analyse ermöglicht.

SU7000 Aussicht

Das Scan-Elektronenmikroskop (SEM) kann eine Vielzahl von Informationen über die Mikrostruktur bis hin zu den Komponenten durch die Erkennung von Signalen wie Sekundärelektronen, Rückstreuelektronen und Röntgenstrahlen, die von Proben angeregt werden, erhalten und wird daher in vielen Bereichen wie Nanotechnologie, Halbleiter, Elektronik, Biologie und Materialien weit verbreitet. Da sich der Anwendungsbereich von SEM weiter erweitert, entsteht die Notwendigkeit, die Beobachtungszeit zu verkürzen und die Signale schnell und effizient zu erfassen.
Der SU7000 verfügt über einen neu entwickelten Detektor, der die Erkennung von sekundären elektronischen Signalen und elektronischen Rückstreuungssignalen sowie die Trennfähigkeit erheblich verbessert. Früher mussten wir den Abstand zwischen der Probe und der Linse (Arbeitsabstand / WD) anhand des erhaltenen Signals anpassen, um die am besten geeigneten Beobachtungs- und Analysebedingungen einzurichten, während der SU7000 durch das neu entwickelte Probenlager und das Detektorsystem verschiedene Signale effizienter empfangen kann, ohne die WD zu ändern, was die Zeit für die Beobachtung und Analyse der Probe verkürzt und die Testeffizienz verbessert.
Darüber hinaus verfügt der SU7000 über eine gleichzeitige 6-Kanäle-Anzeigeschnittstelle (Vorgängermodelle können nur 4 Kanäle gleichzeitig anzeigen), um das SEM-Steuersystem weiter zu aktualisieren und die Signalaufnahmegeschwindigkeit erheblich zu verbessern, was eine hohe Durchflussbeobachtung der Probe ermöglicht.
Es ist auch standardmäßig mit einem übergroßen Probenlager ausgestattet und verfügt über eine Zubehörschnittstelle, die für die Beobachtung und Analyse einer Vielzahl von Proben geeignet ist.
Hitachi Hightech wird den SU7000 auf der Microscopy & Microanalysis (Sonntag, 5. August bis Donnerstag, 9. August) in Maryland und auf der JASIS 2018 (Mittwoch, 5. September bis Freitag, 7. September) im Shoraga Exhibition Center (Chiba, Prefectur Chiba) präsentieren, mit einem voraussichtlichen weltweiten Verkauf von 150 Einheiten pro Jahr.
Hitachi High-Tech-Wissenschaftssysteme ist das mittelfristige strategische Ziel der Elektronenmikroskopindustrie bis 2020 zu werden und wird sich in Zukunft weiterhin bemühen, die Produktentwicklung und -vermarktung zu fördern und einen größeren Beitrag zur globalen Fertigungsindustrie zu leisten. Als fortschrittliches, innovatives Unternehmen mit Spitzenrichtungen im Bereich der Karriere will wir in Zukunft ein weltweit führendes Unternehmen in der Bereitstellung von High-Tech-Lösungen sein, immer in der Position des Kunden stehen und die Bedürfnisse der Kunden und des Marktes schnell erfüllen.

[Hauptmerkmale]
Unter den gleichen WD-Bedingungen können Sekundärelektronen, Rückstreuelektronen und Röntgenanalyse gleichzeitig realisiert werden.
Bis zu 6 Kanäle gleichzeitig erkennen und anzeigen
Bilddaten bei maximalen Pixeln von 10.240 x 7.680
4. Bis zu 18 konfigurierbare Zubehörschnittstellen für Geräte der gleichen Klasse*
5. Unterstützung des Niedervakuummodus mit mindestens 300Pa (optional)
* Raumauflösung unter 1 nm/1 kV

[Hauptspezifikationen]

Schlüsselkonzept

1. Vielseitige Bildgebungsfähigkeit
   Der SU7000 zeichnet sich durch die schnelle Erfassung mehrerer Signale aus, um umfangreiche SEM-Bedürfnisse zu erfüllen, von der Abbildung eines breiten Sichtfeldes bis hin zur Visualisierung von Sub-Nanometerstrukturen und allem dazwischen.
   Die Einbeziehung neuer Elektronenoptik und -detektionssysteme ermöglicht eine effiziente gleichzeitige Erfassung mehrerer Sekundärelektronen und rückgestreuter Elektronensignale.
2. Multi-Channel-Bildgebung
   Die Anzahl der auf dem SEM montierten Detektoren nimmt stetig zu, zusammen mit der Notwendigkeit, alle gesammelten Informationen effektiv anzuzeigen.
   Der SU7000 ist in der Lage, bis zu 6 Signale gleichzeitig zu verarbeiten, anzuzeigen und zu speichern, um die Informationserfassung zu maximieren.
3. Vielfältige Beobachtungstechniken
   Die Probenkammer und das Vakuumsystem sind für:
   ・ Große Probengröße
   ・ Probenmanipulation an verschiedenen Achsen
   ・ Variable Druckbedingungen
   ・ Kryogene Bedingungen
   ・ In-situ-Beobachtung von Heizung und Kühlung
4. Mikroanalyse
   Die Elektronenpistole ist mit einem Schottky-Emitter ausgestattet, der bis zu 200 nA Strahlstrom liefert, um verschiedene Mikroanalyseanwendungen aufzunehmen.
   Die Probenkammer und das Portlayout sind so konzipiert, dass mehrere Analyseoptionen einschließlich EDX, WDX, EBSD, Kathodolumineszenz und vieles mehr integriert werden.
   Der SU7000 vereint mit der Kombination zahlreicher analytischer Zubehörtechniken multidisziplinäre Techniken in einer einzigen Plattform.

Bildleistung

Verbesserte Informationserfassung

Single-Scan Multi-Signal-Bildgebung

Probe: Bio-beschichtete Goldstäbe

Probe mit freundlicher Genehmigung von: Mr. Smart und Ms. Je Chemie Dept.,
Vassar Hochschule

Simultane Bilderfassung für Oberflächen-Mikrostrukturinformationen (UD), Oberflächenbeschichtungen (MD) und Gesamttopographische Informationen (LD). Beschleunigungsspannung: 1 kV

Intuitive grafische Benutzeroberfläche

Verbesserte Signalanzeige

• Anpassbare Anzeigemodi.
• Single- und Dual-Monitor-Konfigurationen.
• Simultane Bildanzeige bis zu 4-Kanal (Single) und 6-Kanal (Dual).
• Kammerbereich und SEM MAP für optische Bühnennavigation.

Hochflexibles Bildschirmlayout

Die Software ist in der Lage, 1, 2 oder 4 Signale einschließlich des Kammerbereichs oder SEM MAP auf einem einzigen Monitor anzuzeigen.
Darüber hinaus kann das Bedienfeld angepasst werden, um Untermenüs überall auf dem Bildschirm anzuzeigen.

Doppelmonitor

Der erste Monitor kann als dedizierte Bildanzeige verwendet werden, während der zweite Monitor für den Betrieb verwendet wird.
Fünf Detektorbilder (UD, LD, UVD, MD und PD-BSED) und SEM-MAP von nichtmetallischen Einschlüssen in einer Stahlprobe werden angezeigt (links).
Der Bildschirm zeigt das Menü des Bedienfeldes und das Miniaturbildfenster auf einem Bildschirm (rechts).
Die Dual-Monitor-Konfiguration unterstützt eine erhöhte Produktivität mit erweitertem w

Erweiterbare Beobachtung und Analyse

Große Probenkammer und große Bühne

Die Probenkammer kann eine hohe Probe von φ 200 mm oder 80 mm Höhe und 18 Zubehöröffnungen aufnehmen. Die große Bühne verläuft 135 mm (X) x 100 mm (H) und kann bis zu 2 kg Probe aufnehmen.^(*)Große Proben oder variable Art von Unterstufen können leicht an der vorderen öffnenden großen Bühnentür montiert werden.

(*)bei 0° Neigung

Kameranavigation^(*)

Links: Bild der Probe, die von der Kamera aufgenommen wurde, die in der Kammer ausgestattet ist.
Rechts: Kamerabild zur Navigation auf den SEM MAP-Bildschirm übertragen.

Die Kameranavigationsfunktion korreliert ein optisches Bild mit dem Zielbeobachtungsbereich.
Die in der Probenkammer installierte Kamera erfasst das Probenbild zum Zeitpunkt der Probeinleitung. Das Bild wird für eine grafisch gesteuerte Navigationsschnittstelle auf den SEM MAP-Bildschirm übertragen.
Die Kameranavigation unterstützt maximal φ 100 mm Probe.

(*)

Kameranavigationsfunktion ist optional

Erkennungssystem, das dynamische Beobachtung ermöglicht

Der SU7000 unterstützt die Beobachtung unter verschiedenen Umgebungsbedingungen. Eine Vielzahl von Detektoren^(*)wie UVD und MD sind zusätzlich zum PD-BSED zur Beobachtung unter niedrigen Vakuumbedingungen auswählbar.

Detektorauswahl unter geringen Vakuumbedingungen
Probe: Faser mit Metalloxid
Links: MD (Backscattered Electron) Bild
Rechts: UVD (Bild SE)
Der Oxiddispersionszustand bzw. der Faserschichtzustand werden beobachtet.

Links: Traditionelle PD-BSED-Antwort bei der Scanrate von 30 ms x 64 Bildern
Rechts: SU7000 PD-BSED-Bild mit verbesserter Reaktion und Bildqualität zur Erweiterung der In-situ-Beobachtungsfähigkeit