Kompositmolekularpumpe mit Magnetlager Serie TG-M

Kompositmolekularpumpe mit Magnetlager Serie TG-M

Die Turbomolekularpumpe besteht aus mehrschichtigen Rotorblättern und Statorblättern. Die folgende Abbildung zeigt den Winkel der Schaufeln und die Beziehung zur Drehrichtung Gasmoleküle gelangen von der Hochvakuumseite in die Pumpe und werden nach Befestigung an den Rotorblättern nach der Maxwell-Verteilung in verschiedene Richtungen getrennt. Aufgrund des Neigungswinkels und der Rotation der Klinge fliegen die Moleküle jedoch in die nächste Schicht und fliegen leicht durch die Statorblätter zurück nach unten. Gleichzeitig können Gasmoleküle, die von der unteren Schicht hineingeflogen sind und nach der Festlegung der Klingen zurückfliegen, durch Kollision mit den Rotorblättern wieder in die nächste Schicht fliegen. Der Winkel der Blatt ist, dass die Gasmoleküle in der oberen Schicht leicht durch den Winkel (der Unterschied zwischen der Auspufferrichtung und dem Gegenstrom ist größer), während die Gasmoleküle in der unteren Schicht nicht leicht rückgängig sind (die Auspufferrichtung und der Gegenstrom sind größer). Im molekularen Becken ist die Turbomolekularpumpe durch die Rotorblätter und Statorblätter die grundlegenden Eigenschaften zu spielen

Hauptmerkmale

Ölfreie Ultravakuumumgebung

Mechanischer Gasmolekularabblas (dynamischer Abblas), bei dem die Abblasgeschwindigkeit für alle Gase ungefähr gleich ist

• Entfernbare seltene und korrosive Gase

・kontinuierlich hohe Durchflussgase abscheiden

Breiter Arbeitsdruckbereich. (～10-10Pa).

OsakaKompositmolekularpumpe mit Magnetlager Serie TG-M

Ölfreie Abgase mit magnetischen Schwenglagern und langen Wartungszeitraumen. Produkte mit Abgasgeschwindigkeiten von 300L/s bis 3400L/s.

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

Eigenschaften der neuen Magnetlagerpumpe TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

• Stromsparendes Design

• Arbeitsdaten, Anzahl der Lagerkontakte, Maschineninformationen usw. können im Körper der Molekularpumpe gespeichert werden. ※ Bei Wartung können Daten auch beim Austausch der Steuerung übertragen werden

• Mehrere Kommunikationsspezifikationen (EtherCAT-kompatibel)

• Internationale Spezifikationen

• Konformität mit CE, SEMI-S2, NRTL Spezifikationen

  Anwendungen:

  
  

• Halbleiterherstellungsanlagen

• FPD Fertigungsanlagen

• Anlagen zur Herstellung von Solarzellen

• Bearbeitung von optischen Komponenten wie Glas/Linsen

• Filmbearbeitung

• Experimentelle Ausrüstung für Beschleuniger/kosmische Umgebung

  Technische Parameter:

• 

  

•