Dreidimensionale Profilmessgeräte der MTS-Serie

Dreidimensionale Profilmessgeräte der MTS-SerieStruktur des spektralen konsentralen Sensors

Ein spektraler konfokaler Positionssensor ist ein Gerät, das durch das Prinzip der optischen Diffusion eine Korrespondenz zwischen Entfernung und Wellenlänge aufbaut und spektrale Informationen mit einem Spektrometer dekodiert, um Positionsinformationen zu erhalten.

In spektralen konfokalen Verschiebungssensorsystemen,

Der Messbereich des Systems wird von vier Faktoren beeinflusst:

1. Spektrale Verteilung der Lichtquelle

2. Axiale Farbdifferenz der Dispersionsobjektive im Arbeitsbereich

3. Arbeitsbereich des Spektrometers

4. Arbeitsband des Faserkopplers

Spektrale Fokusvorteile

Multifunktionale Spektralfokussensoren

Unsere optischen Sensoren fokussieren weißes Licht über hochwertige optische Objektive entlang der Radionachse in verschiedenen Entfernungen und nicht auf einen einzelnen Punkt, wobei alle sichtbaren Lichtbänder im Fokus stehen. Dieser vielseitige optische Sensor eröffnet eine neue Dimension für die Leichtmesstechnik.

· Jedes Material kann getestet werden - undurchsichtige / transparente Materialien, diffuse Reflexion / Reflexion, Absorption, Farbe, Rau / Polieren

· Koaxiale Tests vermeiden Schatteneinflüsse

· Die Schrägaufnahmefähigkeit und die numerische Öffnung ermöglichen einen messbaren Winkel von bis zu 45° auf der Reflexionsfläche und eine Dispersionsfläche > 80°

Auflösung und Genauigkeit der Z-Achse - kein Z-Achse-Scan zur Prüfung

Multi-Point-Array-Sensor mit ultraschneller Testgeschwindigkeit ermöglicht parallele Tests mit vielen Punkten

Kleine und konstante Fleckgrößen ermöglichen eine hohe horizontale Auflösung

Optische Sonden sind passiv und müssen keine Teile bewegen oder elektrisch eingebettet werden

Straße - hohe thermische Stabilität, langfristige Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit

Vergleich der Messmethoden

Digitale Mikroskope

- Die Oberflächenform erfordert eine tiefe Überlagerung, langsam - kleines Sichtfeld

- Scangenauigkeit abhängig von Z-Achsmotor und Objektivtiefe

Laser-Kofokussmikroskop

- Oberflächenformation erfordert Schicht für Schicht, langsam - Kleiner Sichtfeld

- menschliche Datenmessung

Dreieckig reflektierender Spektralkonfokus

Niedrigere Z-Achsoplösung

- Scannen von Blindzonen

- Schlechte Wirkung von transparenten und spiegelnden Materialien

Weißes Licht stört

Hohe Nutzungs- und Wartungskosten

- Nicht geeignet für größere Proben und größere Proben

- schlechte Wirkung auf rauere Oberflächen

MTS Vorteile

Berührungslose Verlustlose Messung

Z-Achse-Auflösung bis zu 20 nm

Schneller ohne Tiefenüberlagerung

Oberflächenreflexivität der Probe unbegrenzt

Alle Informationen zur Oberfläche 3D

Anpassbarer Scanbereich

Zugänglich für Q-DTS

Zugänglich für den Butterfly AI

Dreidimensionale Profilmessgeräte der MTS-SerieTechnische Parameter

① Über 2kHz, die Testreihe verringert sich mit erhöhter Frequenz

Vertikale Spiegelmessung bei 20°C

Die angegebenen Daten stammen von Tests in typischen Anwendungen und unterscheiden sich von Tests in anderen spezifischen Situationen. Folgende Druckfehler, Revisionen, Aktualisierungen können auch zu Unterschieden von den in der Tabelle aufgeführten technischen Parametern führen. Daher ist keine Garantie für die Einhaltung der in der Tabelle angegebenen technischen Parameter, Messergebnisse und Informationen gegeben.