Drei-Ionen-Strahlschneider Leica EM TIC 3X

Drei-Ionen-Strahl-Technologie

Drei-Ionen-Strahl-Komponenten senkrecht zur Probenseitenoberfläche, so dass die Probe (auf der Probe-Trage befestigt) beim Ionen-Strahl-Bomben keine Schwingbewegung erfordert, um den Projektions-/Blockiereffekt zu verringern, was wiederum eine effektive Wärmeleitung gewährleistet und die Wärmedeformation der Probe während der Behandlung verringert.
Technologie
Der Drei-Ionenstrahl versammelt sich an der Mitte des Scheibenrandes und bildet eine 100°-Bomberfläche, die die oberhalb des Scheibens ausgestellte Probe schneidet (das obere Ende der Probe liegt etwa 20-100 μm über dem Scheiben), bis die Bombe den inneren Zielbereich der Probe erreicht. Die neu entwickelte Ionenpistole erzeugt eine Ionenstrahlschleifgeschwindigkeit von bis zu 300 μm/h (Si10 kV, 3,0 mA, 50 μm Schneidhöhe). Leicas einzigartiges Drei-Ionen-Strahlsystem ermöglicht eine hohe Schnittqualität mit hoher Geschwindigkeit und einer breiten und tiefen Schnittfläche, was erhebliche Arbeitszeiteinsparungen ermöglicht. Diese einzigartige Technologie ermöglicht qualitativ hochwertige Schnittabschnitte mit Flächengrößen von > 4 x 1 mm

Leica EM TIC 3X - Innovationen in Design und Bedienung

Hoher Durchfluss und höhere Kostengewinne
››Hochwertige Schnittabschnitte mit Flächengrößen von > 4 x 1 mm
››Multi-Probe-Stand-Design für drei Proben auf einmal
Hohe Ionenschleifgeschwindigkeit, Si-Material 300 μm / h, 50 μm Schneidhöhe, die hohen Durchflussanforderungen des Labors erfüllen
››Die größte Probengröße ist 50 x 50 x 10mm
››Vielfältige Probenbeträger für einfache Anwendung und hohe Präzision
››Einfache und präzise Kalibrierung der Probe auf dem Träger und Einstellung der Position gegenüber der Scheibe
››Einfache Bedienung über den Touchscreen ohne spezielle Bedienungskenntnisse
››Der Probenbehandlungsprozess kann in Echtzeit überwacht werden und kann über einen TV-Spiegel oder eine HD-TV-Kamera beobachtet werden
›› LED-Beleuchtung für beobachtliche Proben und Positionkalibrierung
› Eingebautes, entkoppeltes Vakuumpumpensystem für einen vibrationsfreien Blickfeld
›› Auf dem vorbereiteten flachen Schnittabschnitt kann eine weitere Linierverstärkung, d. h. Ionenstrahlgravierung, durchgeführt werden.
› Parameter und Programme können über USB hochgeladen oder heruntergeladen werden
››Für nahezu alle Materialproben geeignet
››Mit einem gefrierten Probentesch kann die Temperatur von Scheiben und Proben auf –150°C gesenkt werden

Vielfältige Probenaufnahme

Es ist für nahezu alle Probengrößen geeignet und für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet. Mit einem Probenträger können die Vormaschinenvorbereitung (Leica EM TXP) bis zum Ionenstrahlschneiden (Leica EM TIC 3X) sowie die SEM-Inspektion durchgeführt werden, bevor sie für die Nachprüfung in die Probenkasten gelegt werden.

Verbesserte Auskleidung

Nach dem Ionenstrahlschneiden muss die Probe nicht entfernt werden, die gleiche Probenstütze kann auch die Probe mit einer Verstärkung der Auskleidung verstärken, die die Topologie vor der verschiedenen Phase in der Probe (z. B. die Kristallgrenze) verstärken kann

Hohe Präzision

Die immer kleinere Detailstruktur der Probe gewinnt nun allmählich Aufmerksamkeit. Und Schnitte durch Schneiden, wie zum Beispiel den Erhalt einer sehr kleinen TSVia-Bohrstruktur, wurden leicht zu heben. Alle Probenstände sind für eine Probenpositionsgenauigkeit von ±2 μm ausgelegt. Nicht nur die Kontrollgenauigkeit des Probenstands ermöglicht eine derart präzise Zielpositionierungskalibrierung, sondern das Beobachtungssystem kann auch Probendetails mit einer Größe von mindestens etwa 3 μm beobachten, um eine genaue Zielpositionierung zu ermöglichen. Um eine bessere Beobachtung der Probe bei der Positionierung zu ermöglichen, sind die 4-teiligen LED-Ringlichtquellen oder die LED-Koaxialbeleuchtung sehr hilfreich, um dem Benutzer zu helfen, ein klares Bild von einem TV-Spiegel oder einer HD-TV-Kamera zu erhalten.
Da die Vakuumpumpe im Inneren des Geräts eingebaut ist, muss kein Platz mehr freigestellt werden. Dank der Entkopplungskonstruktion der Vakuumpumpe wird das Sichtfeld während der Probenvorbereitung nicht durch die von der Vakuumpumpe erzeugten Schwingungen gestört.