JC Nabity Elektronenstrahlenbelechtungssystem (NPGS Nanography Generator)

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Seit seiner Gründung in den 1980er Jahren hat sich die US-amerikanische Firma JC Nabity Lithography Systems für die Entwicklung von Elektronenstrahlengrafiegeräten auf Basis von SEM, STEM oder FIB beschäftigt. Die Technologie des Nanometer Pattern Generation Systems (NPGS, auch bekannt als Elektronenstrahlmikroschattensystem) ist weltweit führend in ihrer Art und ist Branchenführer. Eine wachsende Zahl von Anwendern auf der ganzen Welt, einschließlich Universitäten, Forschungseinrichtungen und Regierungslabors, verwenden NPGS für EBL-Forschungsarbeiten.

Produktdetails

Elektronenstrahlbelichtungssystem NPGS V9.1 auf Basis von SEM/FIB

1) NPGS basiert auf bestehenden SEM, STEM oder FIB, zusätzlich zu einem Elektronenstrahlensteuerungssystem, das den Vektor-Scan des Elektronenstrahls im Elektroskop über eine Computerschnittstelle steuert, um Grafiken direkt zu gravieren.

2) Das NPGS-System hat die Beobachtungsfunktion des ursprünglichen SEM. Es beeinträchtigt nicht die Funktion des SEM selbst.

3) Leistungsfähig, einfach zu bedienen und flexibel zu bedienen.

4) NPGS und heutige Mainstream SEM oder FIB sind kompatibel.

NPGS V9.0 ist ein Softwareprogramm zur Steuerung des Elektronenstrahls des Scannenelektroskops. Die Elektronenstrahlbelichtung auf der Grundlage eines Elektroskops ist einfach in zwei Teile unterteilt: das Grafikdesign und der grafische Betrieb. Die Grafikgestaltung erfolgt über das von NPGS zufällig bereitgestellte DesignCAD-Programm. Dieses CAD-Programm wurde modifiziert, um den Befehl für die Elektronenstrahlenbeleidung hinzuzufügen. Der Grafiklauf umfasst die Einstellung von Parametern, die NPGS zur Berechnung der Position und der Belichtungszeit jedes Punktes auf der Grafik verwenden.

NPGS-Hardware-Board-Karte: Die benutzerdefinierte Microshadow-Board-Karte basiert auf einem High-Speed-PCIe-Steckplatz in einer Computerarbeitsstation. Hauptmerkmale sind:

1. Verwenden Sie 16-Bit-Hochgeschwindigkeits-Digital-Konvertierung-Ausgang, X, Y-Doppelkanäle gleichzeitig Ausgang, synchrone Scan-Frequenz 5 MHz, kompatibel mit 6 MHz, Elektronenstrahl Aufenthaltszeit minimale Zunahme von 0,5 nanosekunden, und alle Frequenzen können diese Auflösung erreichen.

2. Schreiben Scan-Methode: Vektor-Scan-Methode und Bitmap-Scan-Methode.

3. Integrierte elektronische Bündelschlüssel Steuerung Ausgang.

4. Bilderfassung mit integriertem 16-Bit-Modul-Konvertierungseingang.

5. Basierend auf PCIe-Steckplatz, einfache Installation und zuverlässiger Betrieb.

Elektronischer Strahlblocker (Strahlschlüssel): Hochgeschwindigkeits-Strahlschlüssel mit elektrischem Feld. Das NPGS-System unterstützt auch den Betrieb ohne Bündelschlüssel.

Picoamper: Ein SEM-basiertes Elektronenstrahlbelichtungssystem erfordert ein Picoamper, das den Elektronenstrahlstrom der Bombenprobe genau ausliest. Normalerweise muss ein Pianometer außerhalb des Elektroskopträgers an den Stromausgang der Probe angeschlossen werden.

Elektroskopstrom: NPGS können optional angeschlossen werden, um Faraday-Becher und / oder Pico-Ampere-Messungen zu steuern, aber die meisten Benutzer verwenden manuell gesteuerte Faraday-Becher und Pico-Ampere.

Elektroskop-Parameter und Elektrostationssteuerung: Mehrere universelle Elektroskop-Digitaltreiber und Trägerstandstreiber stehen kostenlos zur Verfügung. Wenn ein serielles Kommunikationsprotokoll vorhanden ist, unterstützt das System jede externe Steuerung.

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