Intelligentes PECVD-System

VerhandlungsfähigAktualisieren am12/28

Modell

Natur des Herstellers: Hersteller

Produktkategorie

Ursprungsort

Online Beratung

Übersicht

Der PECVD-III-500A-D210 ist ein intelligentes PECVD-System. Die Anlage ist in vier Hauptteile unterteilt: Mehrtemperaturzonenrohrofen, RF-Komponenten, Luftwegsysteme und integrierte Systeme für Automatisierungssoftware.

Produktdetails

Die Anlage ist in vier Hauptteile unterteilt: Mehrtemperaturzonenrohrofen, RF-Komponenten, Luftwegsysteme und integrierte Systeme für Automatisierungssoftware.

1, offener Heizofen

Die Beheizung des Ofens verwendet ultraleichtes Aluminiumfasermaterial, mit K-Typ-Thermoelement, 6-Punkte-Temperaturregelung; Die Abkühlungssteuerung der Anlage ist flexibel und der Heizofen kann elektrisch geöffnet werden, um den Kunden den Austausch der Wartungsreaktionsrohre zu erleichtern.

2. Luftwegsystem

Mehrfachgase können mit einem Massenflussmesser präzise gesteuert werden, um das Mischverhältnis nach unterschiedlichen Durchflussen zu vergleichen und nach einem einzelnen Durchlauf durch den Trommel in das Reaktionsrohr zu gelangen.

3. Funkfrequenzkomponenten

Die hochleistungsstarke HF-Leuchtkraft von 1000W ist gleichmäßig, so dass sich die gesamte Reaktionshalle in der Leuchterzeugungszone befindet.

4. Intelligentes Steuerungssystem

Mit intelligenter PID-Verschwommenheitsteuerung, programmierbare Steuerung mit 30 Segmenten. Es verfügt über eine extrem milde Alarmfunktion.

Maximale Temperatur	1200℃
Dauerhafte Betriebstemperatur	≤1100℃
Erwärmungsgeschwindigkeit	≤10 ℃ / min
Temperaturgenauigkeit	±1℃
Heizungselemente	Widerstandsdraht
Thermoelemente	Typ K
Temperaturregelung	Verschwommene PID-Steuerung und Selbsteinstellung, programmierbare Steuerung mit Künstlicher Intelligenz in 30 Abschnitten, Übertemperatur- und Zwischenkoppelularmfunktion, Mensch-Maschinen-Schnittstelle plus SPS-Steuerung, 15-Zoll-LCD-Bildschirmsteuerung, Dual-Steuerung mit digitalen industriellen Steuergeräten, Dual-Steuerung mit industriellen intelligenten Thermometern und Software
Gesamtheizleistung	≤15KW
Heizungsbereichsgröße	300 + 300 + 300 mm
RF-Leistung	1000W
Gerätegröße	2550 * 850 * 1600mm
Ausrüstungsgewicht	ca. 600 kg

Ähnliches Produkt Empfehlen