Honeywell Sensoren der Serie AWM40000*

Honeywell Honeywell verstärkter Gasmassenflusssensor AWM40000-Serie
kompensiert oder nicht kompensiert. ± 25,0 SCCM, 1,0 SLPM und 6,0 SLPM Simulation der Ausgabe.

Das Arbeitsprinzip des Microbridge-Gasmassenflusssensors ist die Wärmeübertragung. Der Massenstrom des Gases wird über die Oberfläche des Sensorelements geleitet. Die Ausgangsspannung ist proportional zur Luft- oder sonstigen Gasqualität, die durch die Verpackung in- und ausgeführt wird. Das speziell gestaltete Gehäuse leitet und steuert den Luftstrom durch mikrostrukturelle Sensorelemente präzise. Die mechanische Konstruktion der Verpackung ermöglicht die einfache Montage auf einer Leiterplatte.

Der Microbridge Gas Masse Flow Sensor enthält einen Siliziumchip auf Basis der Mikrostrukturtechnologie. Der Chip besteht aus einer dünnen Folie und einer isolierten Brückenstruktur mit Heizung und Temperatursensoren. Die Brückenstruktur reagiert schnell und empfindlich auf Luft- oder andere Gasströme, die durch den Chip fließen. Doppelfühler auf beiden Seiten des Zentralheizelementes können auch die Richtung und Geschwindigkeit des Luftstroms anzeigen. Die Laserkorrigierung der Dick- und Dünnfilmwiderstände gewährleistet stets eine konsistente Austauschbarkeit zwischen jedem Sensor.

Microbridge-Gasmassenflusssensoren nutzen einen Wärmewiderstand, der in eine Siliziumnitridfilm eingehüllt ist. Diese Widerstände stehen in Suspension und bilden zwei Brücken über dem Gravur der Siliziumflatte. Der Chip befindet sich in einem genau spezifizierten Luftstromkanal und bietet eine wiederholbare Durchflussreaktion. Durch das Gravieren von Hohlräumen unter der Durchflusssensorbrücke werden Heizgeräte und Sensorwiderstände effektiv isoliert. Die kleine Größe und die Wärmeisolierung des mikrobrückenförmigen Gasmassenflusssensors ermöglichen eine extrem schnelle Reaktion auf den Luftstrom und eine hohe Empfindlichkeit.

Whistlestone Dual Bridge Controller Luftstrommessung – eine bietet die Regelung eines geschlossenen Schleifenheizers und eine andere mit Doppelinduktionselementen. Die Heizkreise reduzieren die Leistungsänderungen, die durch Umgebungstemperaturänderungen verursacht werden, indem sie eine Ausgabe liefern, die direkt proportional zum Massenstrom ist. Dieser Schaltkreis hält die Temperatur des Heizers bei einer konstanten Temperaturdifferenz über die Umgebungstemperatur (160 °C), die durch die Messung des Wärmewiderstands auf dem Chip erfasst wird. Die Ausgabe des Sensors ist proportional zur Versorgungsspannung und entspricht auch der Differenzspannung der Whistlestone Bridge-Schaltung.

Achtung
Verringerung der Auswirkungen von Staubverschmutzung, die in bestimmten Anwendungen entstehen können. Es ist so konzipiert, dass mögliche Staubpartikel im Luftstrom parallel zur Oberfläche des Chips über den Chip fließen. Darüber hinaus kann der durch den Mikrostrukturchip erzeugte Wärmemigrationseffekt Mikron-Staubpartikel auf der Brückenstruktur entfernen.

Ein einfacher Filter kann verwendet werden, um zu verhindern, dass sich Staub an den Chipkanten und den Kanäloberflächen befestigt. In den meisten Anwendungen wird eine ausreichende Filterwirkung erzielt, wenn ein einmaliges Fünf-Mikrometer-Filter auf der Upstream-Seite der Luftströmungseinrichtung in Serie angeschlossen wird.

Hinweis: Produktschäden
Die Mikro-Brücke-Gasmasse-Durchflusssensoren der AWM-Serie eignen sich nicht für die Messung von Flüssigkeitsströmen und können den Sensor beschädigen, wenn Flüssigkeit durch den Sensor fließt.

Honeywell Sensoren der Serie AWM40000*Versorgung.

Produktparameter:

Versorgungsspannung: Minimum 8,0 Vdc, typischer Wert 10,0 Vdc, maximal 15,0 Vdc
Kompensationstemperaturbereich: -25°C bis 85°C [-13°F bis 185°F]

Ausgangswärme:
±6% Lesezeiten
±2,5% Lesezeiten

Signalstellung: nicht verstärkt (mV).

Ausgangsspannung des Einstellpunkts:
54,7 mV DC bei 1000 sccm (1 SLPM) ± 3,7 mV DC
8,5 mV DC bei 25 sccm ±1,5 mV DC

Betriebstemperatur: -40°C bis 125°C [-40°F bis 251°F]

Schlag: 100 g Spitze (5 Tropfen, 6 Achsen)

Lagertemperatur: -40°C bis 125°C [-40°F bis 251°F]

Durchfluss-/Druckbereich
±25 sccm
±1000 sccm (1 SLPM)

Stromverbrauch:
Maximal 75 mW
Maximal 60 mW

Gemeinsamer Druck
150 psi
25 psi

Regelmäßige Modelle sind: AWM43600V,AWM5104VN ，AWM42150VH,AWM5101VN，AWM3150V，AWM3200V，AWM3300V，，AWM3100V

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