Hitachi Ionen-Spritzer (Vergoldet) MC1000

Der MC1000 Ionen Sputter Coater ist ein Probenvorbereitungsinstrument für den Einsatz mit einem Scanning Electron Microscope (SEM). Der MC1000 ist für die Ablagerung einer dünnen Metallbeschichtung wie Platin (Pt), Gold (Au), Platin-Palladium-Legierung (Pt-Pd) oder Gold-Palladium-Legierung (Au-Pd) konzipiert, um die Oberfläche einer Probe elektrisch leitfähig zu machen und den Ladungsaufbau bei der Beobachtung in einem SEM zu vermeiden. Die Dicke der Metallablagerung ist mit der LCD-Touchscreen-Steuerung von wenigen Nanometern bis zu zehnen Nanometern variable. Bis zu 5 Bearbeitungsbedingungen können gespeichert werden.

Der MC1000 arbeitet über eine Magnetronelektrode, was bedeutet, dass ein Magnet in das Ziel (Negativelektrode) eingebaut ist, um ein senkrecht zum elektrischen Feld auf der Zielfläche angelegtes Magnetfeld zu erzeugen. Dies minimiert Probenschäden durch Bestrahlung mit schnell bewegenden Partikeln (einschließlich reflektierter Ionen) und ermöglicht eine Beschichtung mit hoher Granularität (Partikel mit kleinerem Durchmesser).

Eigenschaften

• One-Touch-Bedienung vom LCD-Touchpanel
• Speichert und erinnert sich an bis zu 5 Rezepte
• Magnetron-Elektrode verringert Probenschäden und reduziert die durchschnittliche Partikelgröße
• Optionale Kammer für Proben bis zu 150 mm Durchmesser
• Optionaler Abstandshalter für Proben bis zu 45 mm hoch
• Hauptventil, um die Kammer im Vakuum zu halten, wenn sie nicht verwendet wird