Hochempfindliches Siliciumdioxid-Konzentrationsmesser

SLIA-300Hochempfindliches Siliciumdioxid-Konzentrationsmesser

Erfüllen Sie die Kundenanforderungen bei der Messung von Siliziumdioxid mit ultraniedriger Dichte mit einer hohen Empfindlichkeit von 0,01 µg/L (0,01 ppb)

Das bei der Halbleiterherstellung verwendete ultrareine Wasser kann durch den Einsatz von Ionenaustauschharzen weiter gereinigt werden. Die schnelle Erfassung des gelösten Siliciumdioxids aus dem Ionenaustauschharz kann die Qualität des ultrareinen Wassers kontrollieren, was für den Prozess von großer Bedeutung ist.

HORIBA Advanced Techno hat eine neue „Long Light Path Length Measurement Unit“ entwickelt und eingeführt, die eine hochempfindliche Messung von Siliciumdioxid mit ultraniedriger Dichte ermöglicht und gleichzeitig ein kompaktes Desktop-Modell zur Verbesserung der Praktizität bietet.

Mit einer Reihe von Standardfunktionen wie Selbstdiagnose sowie neuen Leistungsverbesserungen wie hohe Geschwindigkeit und hohe Empfindlichkeit unterstützt das Produkt reine Wasserprozesse in Halbleiterproduktionsprozessen.

Hohe Empfindlichkeit und Wiederholbarkeit

Die Anwendung der Fasertechnologie gewährleistet eine hohe Empfindlichkeit bei ultraniedriger Dichte durch einen langen Lichtweg von ca. 1 m. Das Produkt gewährleistet einen 5-minütigen Hochgeschwindigkeitsmessprozess mit einer wiederholten Genauigkeit von ±2% F.S. im Messbereich von 0-2 µg/L.

• Kompaktes Design des Desktops

Auch die flexible Struktur der Langlichtweglängenmesseinheit ermöglicht ein revolutionäres kompaktes Design. Dieses Desktop-Modell eignet sich für eine Vielzahl von Installationsbedingungen, einschließlich enger Räume.

Reduzierung des Reagenzverbrauchs auf 1/5

Um den Reagenzverbrauch auf das frühere 1/5 zu reduzieren, wurde die Reaktionseinheit verbessert und vom Messbecken getrennt. Außerdem wurde die Messeinheit auf den Rohrtyp geändert. Durch den Einsatz der "Long Light Path Length Measurement Unit" können die Betriebskosten des Reagents erheblich gesenkt werden.

• Reduzierung des Reagenzverbrauchs um mehr als die Hälfte

Es reduziert nicht nur den Verbrauch von Reagenzien, sondern auch den Verbrauch von Probenwasser. Durch die Einführung der „Langlichtweglängenmesseinheit“ wurde der Verbrauch von teurem reinem Wasser (als Probenwasser) um 60 % reduziert. Die Siliziumdioxid-Konzentrationsmessgeräte von HORIBA Advanced Techno helfen, die Betriebskosten vor Ort zu senken.

• Selbstdiagnostische Funktion des Konzentrationsmessgerätes

Selbstdiagnostik von Fehlverfahren, wie z. B. Injektion von Probenwasser und/oder Reagenzien, Korrekturfehler, Temperaturerkennung in der Einheit und Lichtquellenfehler. Wenn ein Fehler festgestellt wird, leuchtet die Warnlampe auf und zeigt eine Textnachricht an.

Automatische Korrektur für eine ausgezeichnete Wartbarkeit

Eine kontinuierlich automatische Nullpunktkalibrierung zur Überprüfung des durchlässigen Lichts und zur Korrektur der Trübung.

Viele bis zu sechs Punkte Messungen erlaubt (optional)

Bis zu sechs Messpunkte können eingestellt werden. Eine einzelne Einheit kann mehrere Messungen durchführen.

Lichtquelle: Kein Austausch erforderlich

Einfarbige Halbleiterlichtquellen bieten eine stabile Lichtmenge und eine längere Lebensdauer. Kann als Lichtquelle verwendet werden.

Langlichtweglängenmesseinheit: bis zu 0,01 µg/L erkennbar

Die Messeinheit besteht aus einer doppelschichtigen Struktur, bei der ein Lichtdurchlässiges Fluorkohlenharzrohr durch ein Edelstahlrohr hindurchgeht. Aufgrund der Brechungsdifferenz zwischen Fluorkohlenhohlrohren und der Umgebungsluft wird das Licht, das von einer Seite der Rohrleitung eintritt, wiederholt in der Rohrleitung reflektiert, bevor es auf der anderen Seite gelangt.

Dieser optische Übertragungsmechanismus ist die Anwendung der Fasereffizienz und des niedrigen Blockierprinzips, der eine höhere Erkennungsempfindlichkeit und eine hohe Wiederholbarkeit erreicht.

Diese Langlichtwegmesseinheit verfügt über eine flexible Rohrstruktur und ist kompakt. Durch die Aufbewahrung einer bis zu einem Meter langen Einheit in einem kompakten Desktop-Gehäuse wurde die Einheitsgröße erfolgreich auf 1/8 der Vorgängergeneration reduziert.

Darüber hinaus senkt die Leitungsstruktur der Messeinheit effektiv die Betriebskosten: Der Verbrauch von Farbstoff und Probenwasser wird auf 1/5 bzw. 1/2 der vorherigen Menge reduziert.

SLIA-300Hochempfindliches Siliciumdioxid-KonzentrationsmesserSpezifikation