Japan HORIBASTEC-Z512MGX Digitaler Massenflussregler

Übersicht
Massenflussmesser sind ein sehr wichtiger Bestandteil von Halbleiterherstellungsanlagen. Die Arbeitsstabilität ist oft ein entscheidender Faktor für den Erfolg oder Misserfolg eines Halbleiterprozesses.
HORIBA STEC, Als Hersteller von Durchflussmessern mit einem weltweiten Marktanteil von mehr als 35%*1 liefert er seit langem qualitativ hochwertige, vielseitige Produkte für die Halbleiterindustrie. Heute bringt HORIBA STEC mit seiner neuen Technologie eine neue Massenflussregelung weltweit auf den Markt: die Z500-Serie.
Im Vergleich zu den alten Modellen ist die Z500X-Serie ein völlig neuer Durchbruch, der die Zukunft der Durchflusssteuerungstechnologie verändern wird. Gleichzeitig werden alle Funktionen zur Durchflussregelung bereitgestellt, die der Kunde benötigt, und die Umwandlung von Composite Gasen und Composite Flows ermöglicht. Der Kunde kann die Art und den Messbereich von Durchflussmessgasen einfach je nach Prozessbedarf ändern*2.
Darüber hinaus erfüllt die Z500-Serie durch technologische Innovationen in den Produktmaterialien die Designanforderungen von RoHS-grünen Produkten vollständig und steigert den Produktwert für Kunden.
Die leistungsstarken Durchflussmesser der Z500-Serie werden Sie noch mehr überraschen. Die Welt erlebt die Entstehung dieses neuen Massenflussmessgeräts, das die gesamte Halbleiterindustrie verändern wird.
*1 Verweis auf die Studie von VLSI aus dem Jahr 2007.
*2 Kompositgas, Kompositströmungsfunktion.
Eigenschaften
Hohe Genauigkeit: Durchflusswert von ± 1,0% festgelegt.
Die lineare Präzision des MFC wird durch eine polynomische Approximationskurve kompensiert, die eine hohe Präzision der Steuerung in jedem Steuerbereich gewährleistet. Zur Verbesserung der Präzision der Steuerung verschiedener tatsächlicher Gasarten hat HORIBA STEC ein Standard-Gasmesssystem entwickelt und auf der Grundlage zahlreicher Experimente Kalibrierungsdaten für verschiedene Prozessgase erfasst.
Hochgeschwindigkeits-Reaktion
Der SEC-Z500X verwendet das neuest entwickelte „veränderbare PID“-System, das gewährleistet, dass eine Änderung zwischen zwei beliebigen eingestellten Durchflusspunkten innerhalb einer Sekunde erfolgt. Bei der Einstellung unterschiedlicher Durchflusse werden die PID-Daten automatisch angepasst und können auch nach Änderungen der Gasart und des Durchflussbereichs für eine hohe Geschwindigkeit optimiert werden.
Kompositgase, Kompositströmungssysteme
Mit den neuen Produkten von HORIBA STEC können Kunden einfach vor Ort Gasarten und -flusse ändern. Unsere Z500 Setup-Software ist einfach und einfach zu bedienen. Noch besser ist, dass diese Änderungen nicht einmal erforderlich sind, um den MFC aus dem System zu demontieren. Dadurch kann die Anzahl der Ersatzteile des Kunden erheblich reduziert werden und gleichzeitig Zeit und Kosten eingespart werden.
Produkte und andere