Japan HORIBASTEC-8440F8450 Hochtemperatur Massenflussregler

Übersicht
Ein Massenflussmesser ist ein Gerät, das verwendet wird, um den Gasfluss zu messen oder zu steuern. Der Durchfluss ist in der Regel in Volumenstrom und Massenstrom unterteilt, aber das Volumen des Gases ist anfällig für die Temperatur und den Druck der Außenwelt, wenn eine genaue Messung erforderlich ist, müssen sich die Messbedingungen ständig ändern, um sich an die sich verändernde Außenwelt anzupassen. Der Massenfluss wird verwendet, um die Qualität des Gases zu messen, und die Qualität wird nicht von der äußeren Umgebung beeinflusst, wodurch eine hochpräzise Durchflusserkennung und -steuerung bereitgestellt werden kann und in den Halbleiterherstellungsprozessen weit verbreitet ist.
Eigenschaften
Es ist ein Massenstromregler mit einem Druckventil, der bei hohen Temperaturen verwendet werden kann.
1. Geeignet für hohe Temperaturen: kann 150 ° C Backen erfüllen
2. In der Produktpalette gibt es Produktmodelle, die die Nutzungstemperatur erfüllen können
3. Ultra sauber Typ: Entlüftung komplett aus Edelstahl
4. am besten geeignet für MOCVD mit organischen Metallmaterialien, niedrigen Dampfdruck Material, korrosiven Gas Durchflussregelung
Spezifikationen

SEC-8340SL mit Hauptbeheizung
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 80 bis 100 °C

SEC-8340SM Körperheizung ausgestattet
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 100 bis 120 °C

SEC-8440LSL
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 15 bis 35 °C

SEC-8450LSL
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	10/20 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 15 bis 35 °C

SEC-8455LSL
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	30/50 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 15 bis 35 °C

SEC-8460LSL
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	50/100 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 15 bis 35 °C

SEC-8440LSM
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 35 bis 60 °C

SEC-8450LSM
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	10/20 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 35 bis 60 °C

SEC-8455LSM
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	30/50 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 35 bis 60 °C

SEC-8460LSM
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	50/100 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 35 bis 60 °C

SEC-8440LSH
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 60 bis 80 °C

SEC-8450LSH
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	10/20 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 60 bis 80 °C

SEC-8455LSH
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	30/50 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 60 bis 80 °C

SEC-8460LSH
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	50/100 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 60 bis 80 °C

SEC-8440SL
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 80 bis 100 °C

SEC-8450SL
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	3/5/10 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 80 bis 100 °C

SEC-8455SL
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	10/20 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 80 bis 100 °C

SEC-8460SL
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	20/30/50 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 80 bis 100 °C

SEC-8440SM
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 100 bis 120 °C

SEC-8450SM
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	3/5/10 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 100 bis 120 °C

SEC-8455SM
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	10/20 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 100 bis 120 °C

SEC-8460SM
Gaskontaktmaterial	SUS-316L
Typ des Ventils	NEIN: Nicht elektrisch: eingeschaltet
Standarddurchflussmessung	20/30/50 SLM
Durchflusssteuerungsbereich	2 bis 100% F.S. (Vollständige Reichweite)
Durchflussgenauigkeit	±1,0% F.S. (Vollständiger Bereich) Gebrauchstemperatur: 100 bis 120 °C

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