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Produktkategorien
Hefei Schwere Elektronik Technologie Co., Ltd.
Vollautomatische Entklebemaschine
VerhandlungsfähigAktualisieren am02/09
- Modell
- Natur des Herstellers
- Hersteller
- Produktkategorie
- Ursprungsort
Übersicht
Vollautomatische Entklebemaschine Produktbeschreibung: $ n1 Gerätenamen: Vollautomatische Trockenführung Entklebemaschine $ n2 Gerätemodell: CGST3100 $ n3 Geräteprinzip: ICP $ n4 Wafer Größe: 8 Zoll (4 oder 6 Zoll kompatibel) $ n5 Wafer Material: Si-Basis (wenn für andere Materialien angegeben werden müssen)
Produktdetails
Vollautomatische EntklebemaschineProduktbeschreibung:
1 Name der Anlage: Vollautomatische Trocknungsmaschine
2 Geräte Modell: CGST3100
Grundsatz 3: ICP
Wafer Größe: 8 Zoll (kompatibel mit 4 oder 6 Zoll)
Wafer Material: Si-Basis (wenn für andere Materialien angegeben werden muss)
Vollautomatische EntklebemaschineParameter:
| Hauptgerät | |
| Gerätegröße | L1300 × W1190 × H1847mm |
| Ausrüstungsgewicht | 800 kg |
| Geräte Stromversorgung | AC220V，3P,50/60Hz， 5 Leitungen, 16A |
| Host-Software | für Windows 10 |
| Host Kommunikation | SECS/GEM |
| Host-Festplatte | Einzel/Doppel |
| Prozesskammer | ICP， Einkammer |
| Typ der Box | Offene Kassette (Open Cassette) |
| Wafer-Einbehandlungskapazität | Ein Stück. |
| Roboter | 3 Achsen (optional mit einem oder zwei Armen) |
| Roboter | Mapping (optional) |
| Stundenausgabe (WPH) | 35 Tabletten / Stunde (1-minütige Standardrezept) |
| Heizungsplatte | Aluminiumlegierung, Temperatur: 50-250 ℃ |
| Plasmaerzeugungssystem | |
| Stromtyp | Radiofrequenz |
| Stromversorgung | 0 bis 1000W |
| Netzfrequenz | 13,56 MHz |
| Übereinstimmung | Automatische Übereinstimmung |
| Vakuumsystem | |
| Prozesskammer | Aluminiumlegierung |
| Kammertür | Türventile, pneumatisch |
| 真空管路 | Vollständig Edelstahlrohre und hochfeste Vakuumwallen |
| Schmetterlingsventil | Druckgenauigkeit: ± 50 mtorr |
| Vakuumrohrschalter | Winkelventil, pneumatisch |
| Vakuumpumpen | Trockenpumpe: 600m3/h |
| Vakuummeter | 0,001-10 Torr |
| Kammervakuumschalter | 750 Torr |
| Vorderleitungsvakuumschalter | 100 Torres |
| Gassysteme | |
| Prozessgassysteme | Gasschrank, modular (GAS BOX) |
| Gasgehäusematerial | rostfreier Stahl |
| Gasschrankabgasse | Negativer Druck, Säure |
| Gasschrankkonfiguration | Filter, manuelle Ventile, Durchflussmesser, Pneumatikventile, Druckmessgeräte, Drehzahlregelventile, Kettenschalter |
| Anzahl der Gaswege | |
| Luftweg 1 | O2 5SLM |
| Luftweg 2 | N2 1SLM |
| Luftweg 3 | CF4 100SCCM |
| Luftweg 4 | 4%H2/N2 1SLM |
| Luftweg 5 | N2 Langsam/schnell brechen |
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