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Der Desktop-Projektor MSD-150D wird hauptsächlich für den Bildverarbeitungsprozess nach Belichtung eingesetzt. Die Ausrüstung besteht hauptsächlich aus der Darstellungskammereinheit, der automatischen Schwingarm-Einheit und dem Flüssigkeitsversorgungssystem, dem Spindelsystem, dem Steuerungssystem und dem Abflüssigkeitssystem. Die gesamte Maschine verwendet eine Rahmenstruktur, das Aussehen ist Spiegelstahl, staubfrei und nicht absorbiert Partikel, die Arbeitsweise ist manuell auf und ab, um den Darstellungsprozess automatisch abzuschließen.

Produktdetails

Desktop-VideoMSD-150D: Für Oberflächenbehandlungsprozesse mit hohen Anforderungen an die Gleichmäßigkeit und Konsistenz der Darstellung, geeignet für Siliziumflatten, Indiumphosphid, Siliziumcarbid, Galliumnitrid usw. Wird hauptsächlich für 4 und 6 Zoll Wafer und Quadrate verwendet. Geeignet für Hochschulen, Forschungsinstitute und Unternehmenskunden.

Die Abteilung bietet auch 8-Zoll- und 12-Zoll-Desktop-Videos, weitere Funktionen wie Blowing, Rückenwaschen usw. Bitte konsultieren.

Desktop-VideoMSD-150D: Anzeigeeinheit-Substrat mit Vakuum-Adsorption und vier Umfangs-Block-Fixierungsmethode, mit importiertem Servomotor, um die Drehzahl, Beschleunigung, hohe Steuergenauigkeit und gute Wiederholbarkeit zu gewährleisten; Das Flüssigkeitsversorgungssystem verwendet die direkte Flüssigkeitsversorgung durch Werk oder Druckbehälter.

Desktop-VideoDas MSD-150D-Steuersystem zeigt in Echtzeit die Ausführung der Prozessfunktionen während des Betriebs des Geräts durch einen Touchscreen und einen SPS-Steuermodus. Freie Rezeptbearbeitung, freie Änderung, Bearbeitung, Speicherung und Fehlerbehebung von Rezepten.

Desktop-VideoTechnische Daten:

Projekt

Spezifikation

Körper

Gehäusematerial: Spiegelstahl

Bearbeitungsprobengröße: Innerhalb von 6 Zoll Wafer

Lager: PTFE

Motor:

Drehzahl: 20-3000 rpm

Arm: automatisch

Bedienungsoberfläche: 7-Zoll-Touchscreen

Bildschirmgerät

Medizinische Geräte:

Anzeige x1 (Temperaturregelung optional)

DIW x1

Steuerungssystem

System: PLC

Schnittstelle: 7 Zoll Touchscreen

Rezept: manueller und automatischer Modus

Programmierung: 50 Gruppen 20 Schritte

Sicherheitseinrichtungen

Wafer Lager Vakuum Flüssigkeitsschutz:

Vakuumprüfung:

Digitale Einstellung: Unterwertschutz

Ausführen des Endalarms

Anhang

Vakuumpumpe x1

Bildschirm x1

Deionisierter Wasserbehälter x1

Abfallbehälter x1

Vakuumsauger x1

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