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Hitachi High-Tech (Shanghai) International Trade Co., Ltd.
Vollautomatisches Atomkraftmikroskop AFM5500M
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/20
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Übersicht
Das AFM5500M ist ein vollautomatisches Atomkraftmikroskop mit einer deutlich verbesserten Bedienungs- und Messgenauigkeit, das mit einem 4-Zoll-automatischen Motortisch ausgestattet ist. Das Gerät bietet eine vollautomatische Bedienplattform bei Armwechsel, Laserpaaren, Testparametereinstellungen usw. Neu entwickelte hochpräzise Scanner und geräuscharme 3-Achsen-Sensoren ermöglichen eine deutliche Verbesserung der Messgenauigkeit. Darüber hinaus ermöglichen gemeinsame Koordinatenproben über SEM-AFM eine einfache gegenseitige Beobachtung und Analyse des gleichen Sichtfeldes. Symbol Beschreibung Produktionsunternehmen: Hitachi High-Tech Science
Produktdetails
Vollautomatisches Atomkraftmikroskop AFM5500M
Das AFM5500M ist ein vollautomatisches Atomkraftmikroskop mit einer deutlich verbesserten Bedienungs- und Messgenauigkeit, das mit einem 4-Zoll-automatischen Motortisch ausgestattet ist. Das Gerät bietet eine vollautomatische Bedienplattform bei Armwechsel, Laserpaaren, Testparametereinstellungen usw. Neu entwickelte hochpräzise Scanner und geräuscharme 3-Achsen-Sensoren ermöglichen eine deutliche Verbesserung der Messgenauigkeit. Darüber hinaus ermöglichen gemeinsame Koordinatenproben über SEM-AFM eine einfache gegenseitige Beobachtung und Analyse des gleichen Sichtfeldes.
- Icon Beschreibung
Hersteller: Hitachi High-Tech Science
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Eigenschaften
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Parameter
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Movie
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Anwendungsdaten
Eigenschaften
1. Automatisierungsfunktionen
- Hoch integrierte Automatisierungsfunktionen zur Effizienzprüfung
- Verringerung menschlicher Betriebsfehler bei der Erkennung
4 Zoll automatischer Motor
Automatischer Austausch der Armfunktion
2. Zuverlässigkeit
Fehler aus mechanischen Ursachen ausschließen
- Umfangreicher horizontaler Scan
- Das Atomkraftmikroskop mit einem röhrenförmigen Scanner erhält in der Regel durch Software-Korrektur Flachendaten über die durch die Scannerkreisbogenbewegung erzeugte Fläche. Die Auswirkungen der Kreisbogenbewegung des Scanners können jedoch nicht vollständig durch die Software-Korrektur eliminiert werden, da es häufig zu Verzerrungen auf dem Bild kommt.
Der AFM5500M ist mit dem neuesten entwickelten Horizontalscanner ausgestattet, der eine präzise Prüfung ermöglicht, die nicht von Kreisbogenbewegungen beeinflusst wird.
Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
- Hochpräzise Winkelmessung
- Ein gewöhnliches Atomkraftmikroskop verwendet einen Scanner, der sich beim vertikalen Ausdehnen biegt (Crosstalk). Dies ist die direkte Ursache für Bildfehler in horizontaler Richtung.
Der neue Scanner im AFM5500M kann in vertikaler Richtung ohne Verzerrung das richtige Bild erhalten.
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
- * Bei Verwendung von AFM5100N (Open Ring Control)
3. Integration
Intime Integration anderer Testanalysen
Durch die gemeinsame Koordinatenprobe von SEM-AFM können die Oberflächenform, die Struktur, die Zusammensetzung, die physikalischen Eigenschaften usw. schnell beobachtet und analysiert werden.
SEM-AFM-Beobachtungen im gleichen Horizont (Beispiel: Graphen/SiO)2）
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
Die obige Abbildung zeigt die Anwendungsdaten von Form-Bild (AFM-Bild) und Potential-Bild (KFM-Bild) von AFM5500M aufgenommen und SEM-Bild überlagert.
- Durch die Analyse von AFM-Bildern kann festgestellt werden, dass der SEM-Kontrast die Dicke der Graphenschicht charakterisiert.
- Unterschiede in der Anzahl der Graphenschichten führen zu einem Kontrast des Oberflächenpotenzials (Funktion).
- Der SEM-Bildkontrast ist unterschiedlich und die Ursache kann durch die hochpräzise 3D-Morphologie und die Analyse physikalischer Eigenschaften von SPM gefunden werden.
In Zukunft ist eine Kombination mit anderen Mikroskopen und Analyseinrichtungen geplant.
Parameter
| Motorstation | Automatischer Präzisionsmotor Maximaler Beobachtungsbereich: 100 mm (4 Zoll) Bewegungsbereich: XY ± 50 mm, Z ≥ 21 mm Mindestabstand: XY 2 µm, Z 0,04 µm |
|---|---|
| Maximale Probengröße | Durchmesser: 100 mm, Dicke: 20 mm Probengewicht: 2 kg |
| Scanbereich | 200 µm x 200 µm x 15 µm (XY: Schließkreissteuerung / Z: Sensorüberwachung) |
| RMS-Geräuschpegel* | Unter 0,04 nm (Hochauflösungsmodus) |
| Zurücksetzungsgenauigkeit* | XY: ≤15 nm (3σ, Standardabstand bei Messung von 10 μm) / Z: ≤1 nm (3σ, Standardtiefe bei Messung von 100 nm) |
| XY rechter Winkel | ±0.5° |
| BOW* | unter 2 nm/50 µm |
| Testmethode | Lasererkennung (Low Interference Optics) |
| Optisches Mikroskop | Vergrößerung: x1 bis x7 Sichtfeld: 910 µm x 650 µm bis 130 µm x 90 µm Bildschirmvergrößerung: x465 bis x3.255 (27-Zoll-Bildschirm) |
| Erschütterungsstation | Aktiver Tischdämpfer 500 mm (B) x 600 mm (D) x 84 mm (H), ca. 28 kg |
| Schallschutz | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 ca. 237 kg |
| Größe und Gewicht | 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、 ca. 90 kg |
- * Die Parameter hängen von der Gerätekonfiguration und der Platzierungsumgebung ab.
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune ® II | Automatische Einstellung der Armamplitude, der Berührungskraft, der Scangeschwindigkeit und des Signalfeedbacks |
| Bedienungsbildschirm | Betriebsnavigation, Anzeige mit mehreren Fenstern (Test/Analyse), Überlagerung von 3D-Bildern, Anzeige von Scanbereich/Messlauflauf, Analyse von Datenbatchverarbeitung, Sondenbewertung |
| X, Y, Z Scan Antriebsspannung | 0～150 V |
| Zeittest (Pixel) | 4 Bilder (max. 2.048 x 2.048) 2 Bildschirme (max. 4.096 x 4.096) |
| Rechteckscan | 2:1, 4:1, 8:1, 16:1, 32:1, 64:1, 128:1, 256:1, 512:1, 1024:1 |
| Analysesoftware | 3D-Anzeige, Rauheitsanalyse, Querschnittsanalyse, Durchschnittsanalyse |
| Automatische Steuerung | Automatischer Austausch der Arme, automatisches Laserpaar |
| Größe und Gewicht | 340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、 ca. 34 kg |
| Stromversorgung | AC100 bis 240 V ±10% Wechselstrom |
| Testmodus | Standard: AFM, DFM, PM (Phase), FFM Optionen: SIS-Profil, SIS-Physikalische Eigenschaften, LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
- * WINDOWS ist eine eingetragene Marke der Microsoft Corporation in den USA und außerhalb der USA.
- * RealTune ist eine eingetragene Marke von Hitachi High Tech in Japan, den USA und Europa.
| Anwendbare Hitachi SEM-Modelle | SU8240, SU8230 (Typ H36 mm), SU8220 (Typ H29 mm) |
|---|---|
| Probengröße | 41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H） |
| Maximale Probengröße | Φ20 mm x 7 mm |
| Mittelgenauigkeit | ±10 µm (AFM-Genauigkeit) |
Movie
Anwendungsdaten
- SEM-SPM teilt Koordinatenmethoden für die Beobachtung von Graphen/SiO im gleichen Horizont2(PDF-Format, 750kBytes)
Anwendungsdaten
Einführung in Anwendungsdaten für Scansondenmikroskope.
Beschreibung
Erklären Sie die Prinzipien und verschiedene Zustandsprinzipien des Scan-Tunnel-Mikroskops (STM) und des Atomkraftmikroskops (AFM).
Geschichte und Entwicklung von SPM
Beschreiben Sie die Geschichte und Entwicklung unserer Scannsondenmikroskope und unserer Geräte. (Global site)
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