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Raum 208, Gebäude 5, 88, Hang North Road, Songjiang Distrikt, Shanghai
Shanghai Zhenjun Industrie Co., Ltd.
Raum 208, Gebäude 5, 88, Hang North Road, Songjiang Distrikt, Shanghai
FluxDancer E900 HalbleiterparameteranalyserEinführung:
Der Halbleiterparameteranalyzer FluxDancer ist ein hochpräzises Prüfgerät von Oriental Spectra, das speziell für die Messung und Analyse der elektrischen Eigenschaften von Halbleitergeräten entwickelt wurde. Das Gerät kombiniert eine Vielzahl modernster Messtechnologien wie Stromversorgung, Spannungsmesser, Stromzähler, LCR-Zähler und Schaltmatrizen, um eine Vielzahl von Tests wie Strom-Spannung (IV) und Kapazität-Spannung (CV) sowie schnelle Impuls-IV-Messungen durchzuführen.
FluxDancer liegt in seinem Streben nach Präzision und Auflösung. Es ist nicht nur in der Lage, eine präzise IV- und CV-Charakterisierung zu liefern, sondern wird auch in den Bereichen Halbleiterentwicklung, Prozessentwicklung, Zuverlässigkeitsprüfung von Geräten und Prüfung von optoelektronischen Geräten weit verbreitet. Im Vergleich zu herkömmlichen Multiinstrumentkombinationen gewährleistet das integrierte Design des FluxDancer eine höhere Messgenauigkeit und -auflösung.
Hauptspezifikationen:
Vollständige Funktionen wie Strom-Spannung (IV), Kondensator-Spannung (CV), Impuls-IV-Test;
□ Strommessungsauflösung zui 0,1 fA, Prüfgenauigkeit 30 fA;
□ IV-t-Testmodus, zui schnelle Probenahme nicht weniger als 65 us / Punkt;
□ Die kürzeste Impulsbreite im unterstützten Impulsmodus beträgt 10 ns;
□ Testfunktionen: IV, IV-t, PIV (Impuls IV), Super-PIV (10 ns Sampling) CV, Impedanz, 1/f (100 KHz), Super-1/f (1 MHz), Solarzelle, FET, BJT, EL usw.
• hohe Präzision und hohe Auflösung;
□ Schnelle Messung und Analyse, die mehrere Messmuster unterstützt;
□ Modulares Design, leicht zu aktualisieren und zu erweitern: Konfiguration > 10 Steckplätze, die Zui große Absorptionsstrom bis zu 4A unterstützen;
□ Elektronische Geräte für Geräte, Materialien, aktive / passive Komponenten und andere Arten;
• Intuitive Benutzeroberfläche, die den Betriebsprozess vereinfacht;
Unterstützung für automatisierte Tests und Datenanalysen.
Quellenmesseinheit (SMU)
Hochleistungs-SMU:
Spannungsbereich: ±100 V-200V
Gleichstrombereich: ±1A
Impulsstrombereich: ±2A±3A
Mindestauflösung: 0,1fA
Mindestspannungsauflösung: 100nV
Strommessbereich: 10fA
Spannungsmessablösung: 0,5 uV
Gleichstromleistung: 20W oder 40W optional
Zui Impulsleistung: 480W (Zui Spannung 160V, Zui Strom 3A)
Impulsgrenzen Mindestbreite: 50 us, Ausgabe von 50 us Impulstest
Unterstützung von Vier Quadranten-Tests
Unterstützung für 2- oder 4-Leiter-Tests
Unterstützung für IV-T-Testmodus, Zui-Abtastrate 550ns pro Punkt, Datenspeicherpunkt kann auf 10K, 1M, 10M oder 100M eingestellt werden
Mittelleistungs-Gleichstrom-SMU:
Spannungsbereich: ±40-±50 V
Strombereich: ±1.5A
Minimale Stromauflösung: 400 pA
Mindestspannungsauflösung: 4uV
Strommessungsauflösung: 10fA
Spannungsmessoplösung: 0,5 uV
Unterstützung von Vier Quadranten-Tests
Unterstützung für 2- oder 4-Leiter-Tests
Kleinleistungs-Gleichstrom-SMU:
Spannungsbereich: ±14 V
Strombereich: ±40 mA
Minimale Stromauflösung: 200 nA
Mindestspannungsauflösung: 60 uV
Strommessungsauflösung: 10fA
Spannungsmessoplösung: 0,5 uV
Unterstützung von Vier Quadranten-Tests
Unterstützung für 2- oder 4-Leiter-Tests
Anzahl der unterstützten Quellen: 1-5 Optional
Vorverstärkung: Konfigurierbare Vorverstärkung mit erhöhter SMU-Strommessungsauflösung auf 0,1 fA
C-V mehrfrequente Kondensatoreinheit (CVU)
AC-Impedanzmessungen sind CV, C-f, C-t
Breiter Bereich von 1 kHz bis 10 MHz, Mindestfrequenzauflösung 1mHz
Genauigkeit der kondensativen Prüfung (dielektrischer Verlust D): @1MHz ± 0,3%, 10pF@1MHz ±0.15%, 10pF@100kHz ±0.2%
±30 V (60Vpp), integrierter Gleichstromversetzungsbereich kann auf ±210 V erweitert werden (420 V Differenz)
Mit CV, CV automatischer Prüfung und Messung
Unterstützung für CV, C-t Kapazitätsmessungsscanner
Impulsförmige I-V-Ultraschnelle Impulsmesseinheit (PMU)
Zwei unabhängige Hochgeschwindigkeits-Impuls-IV-Quellen und Messkanäle
200 MSa/s, 5 ns Probenabstand
±40 V(80V p-p), ±800 mA
Übergangswellenformerfassungsmodus
Belieblicher Wellenformgenerator mit programmierbarer Auflösung von 10 ns
Hochspannungspulsgeneratoren (PGU)
Zwei Hochgeschwindigkeits-Impulsspannungsquellkanale
±40 V(80V p-p), ±800 mA
Belieblicher Wellenformgenerator mit programmierbarer Auflösung von 10 ns
I-V/C-V Mehrkanalschaltmodul (CVIV)
Wechseln zwischen IV-Quelle und CV ohne Sondenheben
Beliebliche Ressourcen CV-Messung ohne Sondenheben
Unterstützung für ±210 V DC
1n Geräuschprüfmodul (FNU)
Geschwindigkeit 8-10s/Bias
Bandbreite 1Hz bis 100kHz
Geräuschbasis: < 120uA@2Hz
2% Messabweichung bei voller Bandbreite