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FluxDancer E900 Halbleiterparameteranalyser

VerhandlungsfähigAktualisieren am05/25
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Der Halbleiterparameteranalyzer FluxDancer E900 ist ein hochpräzises Prüfgerät von Oriental Spectra, das speziell für die Messung und Analyse der elektrischen Eigenschaften von Halbleitergeräten entwickelt wurde. Das Gerät kombiniert eine Vielzahl modernster Messtechnologien wie Stromversorgung, Spannungsmesser, Stromzähler, LCR-Zähler und Schaltmatrizen, um eine Vielzahl von Tests wie Strom-Spannung (IV) und Kapazität-Spannung (CV) sowie schnelle Impuls-IV-Messungen durchzuführen.

Produktdetails

FluxDancer E900 HalbleiterparameteranalyserEinführung:

Der Halbleiterparameteranalyzer FluxDancer ist ein hochpräzises Prüfgerät von Oriental Spectra, das speziell für die Messung und Analyse der elektrischen Eigenschaften von Halbleitergeräten entwickelt wurde. Das Gerät kombiniert eine Vielzahl modernster Messtechnologien wie Stromversorgung, Spannungsmesser, Stromzähler, LCR-Zähler und Schaltmatrizen, um eine Vielzahl von Tests wie Strom-Spannung (IV) und Kapazität-Spannung (CV) sowie schnelle Impuls-IV-Messungen durchzuführen.


FluxDancer liegt in seinem Streben nach Präzision und Auflösung. Es ist nicht nur in der Lage, eine präzise IV- und CV-Charakterisierung zu liefern, sondern wird auch in den Bereichen Halbleiterentwicklung, Prozessentwicklung, Zuverlässigkeitsprüfung von Geräten und Prüfung von optoelektronischen Geräten weit verbreitet. Im Vergleich zu herkömmlichen Multiinstrumentkombinationen gewährleistet das integrierte Design des FluxDancer eine höhere Messgenauigkeit und -auflösung.

Hauptspezifikationen:

    Vollständige Funktionen wie Strom-Spannung (IV), Kondensator-Spannung (CV), Impuls-IV-Test;

    □ Strommessungsauflösung zui 0,1 fA, Prüfgenauigkeit 30 fA;

    □ IV-t-Testmodus, zui schnelle Probenahme nicht weniger als 65 us / Punkt;

    □ Die kürzeste Impulsbreite im unterstützten Impulsmodus beträgt 10 ns;

    □ Testfunktionen: IV, IV-t, PIV (Impuls IV), Super-PIV (10 ns Sampling) CV, Impedanz, 1/f (100 KHz), Super-1/f (1 MHz), Solarzelle, FET, BJT, EL usw.

    • hohe Präzision und hohe Auflösung;

    □ Schnelle Messung und Analyse, die mehrere Messmuster unterstützt;

    □ Modulares Design, leicht zu aktualisieren und zu erweitern: Konfiguration > 10 Steckplätze, die Zui große Absorptionsstrom bis zu 4A unterstützen;

    □ Elektronische Geräte für Geräte, Materialien, aktive / passive Komponenten und andere Arten;

    • Intuitive Benutzeroberfläche, die den Betriebsprozess vereinfacht;

    Unterstützung für automatisierte Tests und Datenanalysen.

    Quellenmesseinheit (SMU)

    Hochleistungs-SMU:

    • Spannungsbereich: ±100 V-200V

    • Gleichstrombereich: ±1A

    • Impulsstrombereich: ±2A±3A

    • Mindestauflösung: 0,1fA

    • Mindestspannungsauflösung: 100nV

    • Strommessbereich: 10fA

    • Spannungsmessablösung: 0,5 uV

    • Gleichstromleistung: 20W oder 40W optional

    • Zui Impulsleistung: 480W (Zui Spannung 160V, Zui Strom 3A)

    • Impulsgrenzen Mindestbreite: 50 us, Ausgabe von 50 us Impulstest

    • Unterstützung von Vier Quadranten-Tests

    • Unterstützung für 2- oder 4-Leiter-Tests

    • Unterstützung für IV-T-Testmodus, Zui-Abtastrate 550ns pro Punkt, Datenspeicherpunkt kann auf 10K, 1M, 10M oder 100M eingestellt werden

    Mittelleistungs-Gleichstrom-SMU:

    • Spannungsbereich: ±40-±50 V

    • Strombereich: ±1.5A

    • Minimale Stromauflösung: 400 pA

    • Mindestspannungsauflösung: 4uV

    • Strommessungsauflösung: 10fA

    • Spannungsmessoplösung: 0,5 uV

    • Unterstützung von Vier Quadranten-Tests

    • Unterstützung für 2- oder 4-Leiter-Tests

    Kleinleistungs-Gleichstrom-SMU:

    • Spannungsbereich: ±14 V

    • Strombereich: ±40 mA

    • Minimale Stromauflösung: 200 nA

    • Mindestspannungsauflösung: 60 uV

    • Strommessungsauflösung: 10fA

    • Spannungsmessoplösung: 0,5 uV

    • Unterstützung von Vier Quadranten-Tests

    • Unterstützung für 2- oder 4-Leiter-Tests

    • Anzahl der unterstützten Quellen: 1-5 Optional

    • Vorverstärkung: Konfigurierbare Vorverstärkung mit erhöhter SMU-Strommessungsauflösung auf 0,1 fA

    C-V mehrfrequente Kondensatoreinheit (CVU)

    • AC-Impedanzmessungen sind CV, C-f, C-t

    • Breiter Bereich von 1 kHz bis 10 MHz, Mindestfrequenzauflösung 1mHz

    • Genauigkeit der kondensativen Prüfung (dielektrischer Verlust D): @1MHz ± 0,3%, 10pF@1MHz ±0.15%, 10pF@100kHz ±0.2%

    • ±30 V (60Vpp), integrierter Gleichstromversetzungsbereich kann auf ±210 V erweitert werden (420 V Differenz)

    • Mit CV, CV automatischer Prüfung und Messung

    • Unterstützung für CV, C-t Kapazitätsmessungsscanner

    Impulsförmige I-V-Ultraschnelle Impulsmesseinheit (PMU)

    • Zwei unabhängige Hochgeschwindigkeits-Impuls-IV-Quellen und Messkanäle

    • 200 MSa/s, 5 ns Probenabstand

    • ±40 V(80V p-p), ±800 mA

    • Übergangswellenformerfassungsmodus

    • Belieblicher Wellenformgenerator mit programmierbarer Auflösung von 10 ns

    Hochspannungspulsgeneratoren (PGU)

    • Zwei Hochgeschwindigkeits-Impulsspannungsquellkanale

    • ±40 V(80V p-p), ±800 mA

    • Belieblicher Wellenformgenerator mit programmierbarer Auflösung von 10 ns

    I-V/C-V Mehrkanalschaltmodul (CVIV)

    • Wechseln zwischen IV-Quelle und CV ohne Sondenheben

    • Beliebliche Ressourcen CV-Messung ohne Sondenheben

    • Unterstützung für ±210 V DC

    1n Geräuschprüfmodul (FNU)

    • Geschwindigkeit 8-10s/Bias

    • Bandbreite 1Hz bis 100kHz

    • Geräuschbasis: < 120uA@2Hz

    • 2% Messabweichung bei voller Bandbreite