Direktgravierer

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Die CG-MLC6-Serie ist ein kompaktes Lichtgravierprodukt. Das Gerät verfügt über eine digitale Lithographie-Technologie, die keine Maskenversion erfordert und die Lage hat, Layout-Informationen direkt auf ein mit Lithographie beschichtetes Substrat zu übertragen. Die CG-MLC6-Serie ist flexibel, klein und kostengünstig und speziell für Universitäten, Labore und Forschungseinrichtungen entwickelt. Zu den wichtigsten Anwendungsprodukten gehören verschiedene Arten von MEMS-Herstellung (wie MEMS-Mikrofone, Drucksensoren, Beschleunigungsmesser, Gyroskope, Ultraschallsensoren, piezoelektrische Sensoren), Maskenplattenproduktion usw.

Produktdetails

DirektgraviererEigenschaften:

Digitales Lichtgraviersystem

Mikronanogeräte ohne Maske Direktgravur

Lichtmaske Herstellung

3D Strukturbelichtung

Automatische Ausrichtung

Benutzerdefinierte Markierungsausrichtung

Visualisierung der festgelegten Belichtung

Automatischer Fokus

Unregelmäßige Probenbeleuchtung

Schnell und fein in zwei Belichtungsmodi

Unterstützung mehrerer Datenformate (GDSII / Gerber / O DB ++)

Zurückausrichtung (optional)

405nm LD-Lichtquelle (optional 375nm)

DirektgraviererParameter:

Modell	MLC Lite
Modell	ModeI	Modus II	Modus III
Mindestmaße	0,5 μm	1μm	2μm
Minimale Linienbreite	0,8 μm	1,2 μm	2,5 μm
CD-Gleichmäßigkeit	10%	10%	10%
Zwei Schichten Gegenstandsgenauigkeit 5x5m㎡	500 nm	800 nm	1000 nm
Zwei Schichten Gegenstandsgenauigkeit 50x50m㎡	800 nm	1000 nm	1500 nm
Produktionskapazität	50mm²/min	100mm²/min	300mm²/min
Mindestplattengröße	5 mm x 5 mm
Substratdicke	0,1 - 12 mm (optional)
Belichtungsfläche	150 mm x 150 mm
Graustufenbelichtung	128 Optionen
Belichtungsquelle	Laser, 405nm oder 375nm

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