Direktantrieb elektrischer Verschieber

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Direkt angetriebener elektrischer Verschieber, 8MTL-Serie elektrischer Verschieber mit dreiphasiger eisenloser bürstenloser Servomotor-Technologie ermöglicht Nullspaltbewegung durch hohe Präzision, Wiederholbarkeit und geringe Reibung. Der lineare berührungsfreie optische Encoder gewährleistet eine direkte Positionssteuerung mit einer Bewegungsauflösung auf Subnanoscale. Die Aluminiumlegierung garantiert die hohe Temperaturstabilität, die Weichheit des 8MTL-Instruments und die ausgezeichnete Langzyklus-Kinematik, ohne Führungssystem-Drift. Die Plattform ist kleinflächig und kann in Maschinen mit hoher Dichte und in Anwendungen mit engem Raum integriert werden und kann in Anwendungen mit Ultrareinraum und Vakuum (bis zu 10-3 Torr) verwendet werden.

Produktdetails

Direktantrieb elektrischer VerschieberZusammenfassung:

Die elektrischen Plattformen der 8MTL-Serie verwenden dreiphasige eisenlose bürstenlose Servomotorentechnologie, die durch hohe Präzision, Wiederholbarkeit und geringe Reibungskraft Nullspaltbewegungen ermöglicht. Der lineare berührungsfreie optische Encoder gewährleistet eine direkte Positionssteuerung mit einer Bewegungsauflösung auf Subnanoscale. Die Aluminiumlegierung garantiert die hohe Temperaturstabilität, die Weichheit des 8MTL-Instruments und die ausgezeichnete Langzyklus-Kinematik, ohne Führungssystem-Drift. Die Plattform ist kleinflächig und kann in Maschinen mit hoher Dichte und in Anwendungen mit engem Raum integriert werden und kann in Anwendungen mit Ultrareinraum und Vakuum (bis zu 10-3 Torr) verwendet werden.

8MTL1301-170

Modell	8MTL1301-170-LEn1-025	8MTL1301-170-LEn1-050	8MTL1301-170-LEn1-100	8MTL1301-170-LEn1-200
Reise	170 mm
Typ des Encoders	Optischer Encoder
Encoder-Auflösung	25 nm	50 nm	100 nm	200 nm
Encoder-Raster-Zyklus	20 µm
Genauigkeit:
Vor der Kalibrierung	±5 µm
Nach der Kalibrierung	±1 µm
Bidirektionale Wiederholungsgenauigkeit (Spitzenpunkt)	± 0,15 µm
Zweiwegige Wiederholungsgenauigkeit (RMS)	± 0,10 µm
Maximale Geschwindigkeit (4 kg)	< 2000 mm/s
Belastung (in der Mitte)	30 kg
Gewicht	4,1 kg

5.1.jpg

8MTL1401-300

Modell	8MTL1401-300-LEn1-025	8MTL1401-300-LEn1-050	8MTL1401-300-LEn1-100	8MTL1401-300-LEn1-200
Reise	300 mm
Typ des Encoders	Optischer Encoder
Encoder-Auflösung	25 nm	50 nm	100 nm	200 nm
Encoder-Raster-Zyklus	20 µm
Genauigkeit:
Vor der Kalibrierung	±5 µm
Nach der Kalibrierung	±1 µm
Bidirektionale Wiederholungsgenauigkeit (Spitzenpunkt)	± 0,15 µm
Zweiwegige Wiederholungsgenauigkeit (RMS)	± 0,08 µm
Maximale Geschwindigkeit (4 kg)	< 2000 mm/s
Belastung (in der Mitte)	30 kg
Gewicht	6,75 kg

5.2.jpg

Direktantrieb elektrischer Verschieber8MTL120XY

Modell		8MTL120XY-LEn1-025	8MTL120XY-LEn1-050	8MTL120XY-LEn1-100	8MTL120XY-LEn1-200
Reise		120 x 120 mm
Typ des Encoders		Optischer Encoder
Encoder-Auflösung		25 nm	50 nm	100 nm	200 nm
Encoder-Raster-Zyklus		20 µm
Genauigkeit	Vor der Kalibrierung	±4 µm
	Nach der Kalibrierung	± 0,5 µm
Bidirektionale Wiederholungsgenauigkeit (Spitzenpunkt)		± 0,15 µm
Zweiwegige Wiederholungsgenauigkeit (RMS)		± 0,10 µm
Maximale Geschwindigkeit (4 kg)		< 1000 mm/s
Belastung (in der Mitte)		30 kg
Größe		240 x 360 x 75 mm

5.3.jpg

8MRL120-15

Modell		8MRL120-15-MEn
Winkelbereich		360 Grad
Typ des Encoders		Optischer Encoder
Encoder-Auflösung		0,0000625 Grad
Encoder-Raster-Zyklus		0,05 Grad
Genauigkeit	Vor der Kalibrierung	±218 µrad/ ±45,00 Bogensekunden
	Nach der Kalibrierung	Anfrage
Bidirektionale Wiederholungsgenauigkeit (Spitzenpunkt)		±7,30 µrad/ ±1,50 Bogensekkunde
Zweiwegige Wiederholungsgenauigkeit (RMS)		±2,90 µrad/ ±0,60 Bogensekunden
Exzentrizität		±5,00 µm
Zittern		±19,40 µrad/ ±4,0 Bogensekunden
Maximale da-Geschwindigkeit (ohne Last)		<9000 Grad/s / 1500 Umdrehungen pro Minute
Lasten	Ebene	40 kg
	Vertikal	20 kg
Durchmesser der Drehscheibe		90 mm
Mittelöffnung		15 mm
Gewicht		2,6 kg

5.4.jpg

8MRL180, 8MRL250

Modell	8MRL180	8MRL250
Winkelbereich	360 Grad	360 Grad
Typ des Encoders	1Vpp Analoge Induktivität
Encoder-Auflösung	2 Bogenseken	1 Bogensekt
Zweiwegige Wiederholungsgenauigkeit	5 Bogenseken	4 Bogenseken
Jue Präzision (vor Kalibrierung)	50 Bogenseken	40 Bogenseken
Axialschlag	30 µm	30 µm
Radialer Schlag	30 µm	20 µm
Maximale Geschwindigkeit	6600 Grad/s	3300 Grad/s
Horizontale Last	12 kg	20 kg
Vertikale Last	12 kg	15 kg
Durchmesser der Drehscheibe	180 mm	250 mm
Gewicht	5 kg	9 kg

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