Reinigungssystem der Serie DX-7N

Das Kryotemperatur-katalytische Gasreinigungssystem verwendet eigene patentierte Katalysatoren und Adsorptionsmittel, hat eine lange Lebensdauer, eine hohe Reinigungstiefe, eine starke Schwankungsfähigkeit von Antistoffgasen und andere Vorteile, verwendet physikalische Adsorption und katalytische Reaktionen, können Inertgase und H2O, O2, CO, CO2, H2 und MCHC in N2 bei Raumtemperatur auf ein Niveau von weniger als 1 ppb reinigen, können auch O2, CO2 und H2O in H2 entfernen. Das System verfügt über 3 manuelle, halbautomatische und vollautomatische Bedienungstypen, die je nach Anwendungsanforderungen gewählt werden können.

Produktleistung

Geeignet für Rohgas mit einer Reinheit von nicht weniger als 99,999%

◎ Dieses Produkt ist eine doppelte Struktur, eine Reihe von Arbeit, eine andere Reihe von Recycling Ersatz

◎ hohe Reinigungstiefe, Export verschiedener Verunreinigungen <10ppb ◎ elektrochemisches Polieren 316 (L) Edelstahl

Integrierter hocheffizienter Partikelfilter

◎ Katalyse und Adsorption

◎ Niedrige Arbeitstemperatur, die Ausrüstung ist energiesparender

Produktanwendungen

Schutzgasreinigung: Stahl-, Petrochemie- und Maschinenindustrie

◎ Reinigung von Elektronikgasterminals aus hochreinem einkristallinem Silizium, Chip-Ausdehnung, Massenkreislauf, Herstellung von photoelektrischen Produkten

Halbleiterprozessanlagen: CVD, MOCVD, HVPE, Diffusionsofen usw.

• Große Gasreinigung

Systemparameter