Bau sauberer Anlagen in Zhuhai

Der Bau von sauberen Anlagen in Zhuhai wird allgemein als staubfreie Werkstatt, Reinigungswerkstatt, Reinraum und andere Namen bezeichnet. Es bezieht sich auf die Entfernung von Mikropartikeln, schädlicher Luft, Bakterien und anderen Schadstoffen in der Luft innerhalb eines bestimmten Raumbereichs und die Kontrolle der Innentemperatur, der Sauberkeit, des Innendrucks, der Luftstromgeschwindigkeit und der Luftstromverteilung, der Lärmvibration und der Beleuchtung, der statischen Elektrizität in einem bestimmten Bedarfsbereich, und der speziell gestaltete Raum.

Bau sauberer Anlagen in ZhuhaiAllgemein bekannt als Staubfreie Werkstatt, Reinigungswerkstatt, Reinraum und andere Namen; Es bezieht sich auf die Entfernung von Mikropartikeln, schädlicher Luft, Bakterien und anderen Schadstoffen in der Luft innerhalb eines bestimmten Raumbereichs und die Kontrolle der Innentemperatur, der Sauberkeit, des Innendrucks, der Luftstromgeschwindigkeit und der Luftstromverteilung, der Lärmvibration und der Beleuchtung, der statischen Elektrizität in einem bestimmten Bedarfsbereich, und der speziell gestaltete Raum.

Bau sauberer Anlagen in ZhuhaiTemperatur- und Feuchtigkeitskontrolle

Die Temperatur und Luftfeuchtigkeit des Reinraums werden hauptsächlich anhand der Prozessanforderungen bestimmt, aber unter den Bedingungen, die die Prozessanforderungen erfüllen, sollte der menschliche Komfort berücksichtigt werden. Mit der Verbesserung der Luftreinigkeitsanforderungen entsteht der Trend, dass die Anforderungen an die Temperatur und Luftfeuchtigkeit des Prozesses immer strenger werden. Die spezifischen Prozessanforderungen an die Temperatur werden später aufgeführt, aber im allgemeinen betrachtet wird die Anforderung an den Temperaturschwankungsbereich immer kleiner, da die Bearbeitungsgenauigkeit immer feiner wird. Beispielsweise bei der gravierten Belichtungsprozess für die Massenfertigung von integrierten Schaltungen wird der Unterschied zwischen dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Glas und Siliziumfliechen als Maskenplattenmaterial immer geringer. Durchmesser 100 um Siliziumflatte, die Temperatur steigt um 1 Grad, verursacht eine lineare Expansion von 0,24 um, so muss es eine konstante Temperatur von ± 0,1 Grad geben, während die Anforderung an Feuchtigkeitswerte im Allgemeinen niedriger ist, weil die Menschen nach dem Schweißen, das Produkt wird verschmutzt sein, vor allem Natrium fürchten Halbleiterwerkstatt, diese Werkstatttemperatur sollte nicht mehr als 25 Grad, übermäßig hohe Feuchtigkeit erzeugt mehr Probleme. Wenn die relative Luftfeuchtigkeit über 55% liegt, wird die Wände des Kühlwassers entdeckt, was bei Präzisionsgeräten oder Schaltungen zu verschiedenen Unfällen führen kann. Bei einer relativen Luftfeuchtigkeit von 50 % ist es leicht zu rosten. Darüber hinaus wird die Luftfeuchtigkeit zu hoch durch Wassermoleküle in der Luft die Staubchemie, die an der Oberfläche des Siliciums haftet, an der Oberfläche adsorbiert, die schwer zu beseitigen ist. Je höher die relative Luftfeuchtigkeit ist, desto schwieriger ist es, die Haftung zu entfernen, aber wenn die relative Luftfeuchtigkeit unter 30% liegt, können die Partikel aufgrund der Wirkung der statischen Kraft auch leicht an der Oberfläche adherieren, während eine große Anzahl von Halbleitergeräten leicht brechen können. Der optimale Feuchtigkeitsbereich für die Siliziumfliegefertigung beträgt 3.545 %.

Luftdruckvorschriften

Um das Eindringen äußerer Verschmutzung zu verhindern, muss der innere Druck (statischer Druck) höher gehalten werden als der äußere Druck (statischer Druck). Die Aufrechterhaltung der Druckdifferenz sollte im Allgemeinen den folgenden Prinzipien entsprechen:

Der Druck im sauberen Raum ist höher als der Druck im nicht sauberen Raum.

Der Druck in einem Raum mit hohem Reinigungsniveau ist höher als der Druck in einem benachbarten Raum mit niedrigem Reinigungsniveau.

Die Aufrechterhaltung der Druckdifferenz hängt von der neuen Luftmenge ab, die die Luftmenge kompensieren kann, die unter dieser Druckdifferenz aus der Spalte leckt. Daher ist die physikalische Bedeutung der Druckdifferenz der Widerstand, wenn die Luftmenge durchläuft (oder durchdringt) durch verschiedene Spalten im Reinraum.

Regelung der Luftströmungsgeschwindigkeit im Reinraum

Die Luftströmungsgeschwindigkeit, die hier diskutiert werden soll, bezieht sich auf die Luftströmungsgeschwindigkeit in sauberen Räumen, die in anderen sauberen Räumen bei der Diskussion über spezifische Geräte beschrieben wird.

Da hauptsächlich auf die Verdünnungsfunktion der Luft angewiesen ist, um den Grad der Innenverschmutzung zu verringern, wird das Konzept hauptsächlich mit der Anzahl der Luftwechselzeiten verwendet und nicht direkt mit dem Konzept der Geschwindigkeit, aber die Geschwindigkeit der Innenluftströmung hat auch die folgenden Anforderungen;

(1) Die Luftstromgeschwindigkeit der Zufuhrmündung sollte nicht zu groß sein, und im Vergleich zu einem einfachen klimatisierten Raum ist die Geschwindigkeit schneller zu dämpfen und der Verbreitungswinkel größer.

(2) die Luftströmungsgeschwindigkeit über die horizontale Oberfläche (z. B. die Rückströmungsgeschwindigkeit bei der Seitenabgabe) sollte nicht zu groß sein, um zu vermeiden, dass die Oberflächenpartikel in den Luftstrom zurückkehren und eine weitere Verschmutzung verursachen, diese Geschwindigkeit sollte in der Regel nicht sehr trocken sein 0,2 m / s.

Für den parallelen Strom Reinraum Gewohnheit genannt Schichtstrom Reinraum, da hauptsächlich durch den Luftstrom "Kolben-Extrusion-Wirkung, um die Verunreinigung auszuschließen, so ist die Geschwindigkeit auf dem Schnitt ist ein sehr wichtiger Indikator. In der Vergangenheit verweist man auf den amerikanischen 20gB-Standard, die Verwendung von 0,45 m / s. Aber die Leute wissen auch, dass die erforderliche Lüftungsmenge für eine solche hohe Geschwindigkeit sehr groß ist, um Energie zu sparen, sind auch die Machbarkeit der Reduzierung der Windgeschwindigkeit zu erforschen.

In unserem Land sind sowohl die Maßnahmen zur sauberen Lufttechnologie als auch die (Normen zur Konstruktion sauberer Anlagen) so vorgesehen.

Vertikaler paralleler Strom (Schichtstrom) Reinraum ≥0.25m / s

Horizontale parallele Strömung (Schichtströmung) Reinraum ≥ 0,35 m / s

Geräuschsteuerung

Die Standards für Reinraum-Lärm sind in der Regel strenger als die Standards für den Gesundheitsschutz, um den ordnungsgemäßen Betrieb zu gewährleisten, die notwendigen Gesprächskontakte und eine sichere und komfortable Arbeitsumgebung zu erfüllen. Die wichtigsten Indikatoren für die Messung des Lärms im Reinraum sind:

1. Auswirkungen der Sorgen

Aufgrund des Lärms, die Menschen unruhig fühlen und störende Emotionen erzeugen, sind sie in der Regel in sehr ruhig, sehr ruhig, ruhiger, etwas lauter, lauter und sehr laut 7 Sorgenklassen unterteilt. Jeder Reaktionsniveau, der sehr laut und äußerst laut ist, ist eine hohe Ärger, und der Prozentsatz der hohen Ärger in der Gesamtzahl ist eine hohe Ärgerungsrate.

Auswirkungen auf die Arbeitsproduktivität

Dies hängt hauptsächlich von drei Aspekten des Reaktionsniveaus ab: Konzentration, Bewegungsgenauigkeit und Arbeitsgeschwindigkeit.

Störungen der integrierten Kommunikation

Dies ist hauptsächlich unterteilt in: klar oder zufrieden, etwas schwierig, schwierig, unmöglich

Die oben genannten drei Indikatoren werden mit der A-Klasse bewertet. In den 1950er Jahren wurde vorgeschlagen, eine Spektralkurve als Bewertungskriterium zu verwenden, bei dem die Schalldruckstufe der Zentralfrequenzen jedes Bandes diese Kurve nicht überschreiten darf. Später wurde gelernt, dass die Brush-Klasse A, um Lärm und Lärm zu messen, die Sprachstörung und das Niveau der Ärger besser ist, kann als Indikator für die Bewertungskriterien die Multifrequenz-Band-Schalldruckstufe ersetzen.

mit hohen Anforderungen. Hier ist es notwendig, zuerst die Beleuchtung eines Fensterfreien Raums zu erläutern:

1) Allgemeine Beleuchtung

Es bezieht sich auf eine Beleuchtung, die ohne Berücksichtigung spezieller lokaler Bedürfnisse eingestellt ist, um den gesamten beleuchteten Bereich zu beleuchten.

(2) Lokale Beleuchtung

Dies bezieht sich auf eine Beleuchtung, die eingestellt wird, um die Beleuchtung eines bestimmten Ortes, wie zum Beispiel eines Arbeitsplatzes, zu erhöhen. Aber in der Innenbeleuchtung wird in der Regel nicht allein die lokale Beleuchtung verwendet.

(3) Gemischte Beleuchtung

Dies bezieht sich auf die Beleuchtung der Arbeitsfläche, die aus allgemeiner Beleuchtung und lokaler Beleuchtung zusammengesetzt wird, wobei die Beleuchtung der allgemeinen Beleuchtung 10% bis 15% der Gesamtbeleuchtung gemäß den "Clean Plant Design Specifications" ausmachen sollte, aber nicht 150 LX trocken.

Die hohen Anforderungen an die Intensität von Reinräumen im Ausland, wie z. B. die Anforderungen an mehrere Standards für Reinräume in den USA sind:Künstliches Licht 300lx hat eine bessere Wirkung, 500x ist auch erlaubt, wenn das Werkstück feiner ist. Für Orte, an denen rotes Licht beleuchtet werden soll, wie z. B. die Werkstatt der Elektronikindustrie, ist die Beleuchtung in der Regel (25501x),Mit natürlichem Licht kann eine höhere Beleuchtung erlaubt werden, was für die Arbeit vorteilhaft ist, so dass die Beleuchtung von Reinräumen in Zukunft sowohl mit künstlichem Licht als auch mit natürlichem Licht vielversprechend sein kann, was auch eine Bewegung ist, um Energie zu sparen.

Antistatik

Unfälle in Reinräumen aufgrund von statischer Elektrizität treten oft auf, daher ist die antistatische Fähigkeit eines Reinraums ein nicht zu vernachlässigender Aspekt bei der Bewertung ihrer Qualität geworden.

Die sogenannte statische Elektrizität ist aufgrund von Reibung und anderen Gründen, die die gleichmäßige elektrische Neutralität der positiven (+) und negativen (-) Ladung des Objekts zerstören, wodurch die Ladung überschüssig ist und das Objekt in einem geladenen Zustand ist, da diese Ladungen in der Regel nicht fließen, wird statische Elektrizität genannt.

Statische Unfälle im sauberen Raum haben folgende Aspekte:

Elektrostatischer Schock, der durch elektrostatische Elektrizität verursacht wird, verursacht ein Gefühl von Unsicherheit und Angst und kann sekundäre Verletzungen verursachen (z. B. Menschen, die durch einen Elektroschock stürzen, durch einen Sturz verletzt werden);

2. durch die elektrostatische Entladung verursachte Entladungsstrom kann zu Schäden und Fehlbewegungen wie Halbleiterkomponenten führen, z. B. 50 P-MOS-Schaltungen in Plastiktüten zu setzen, nach mehreren Schütteln 39 Stücke mit einem nicht-Tür-Tor schwer durchbrechen, die Ausfalleffizienz beträgt 78%, da das Halbleitergerät sehr empfindlich für die elektrostatische Entladung ist;

Elektromagnetische Wellen, die durch elektrostatische Entladungen erzeugt werden, können Geräusche und Fehlbewegungen von elektronischen Geräten und Geräten verursachen;

4. Die Lichtemittanz der elektrostatischen Entladung kann zu Lichtschäden wie Fotosensoren führen;

5. Das mechanische Phänomen der statischen Elektrizität kann dazu führen, dass das Siebloch durch Staub verstopft ist, das Garn verwirrt ist, die Druckfläche ungleichmäßig ist und das Produkt verschmutzt ist.

Die Erzeugung von statischen Unfällen liegt hauptsächlich in der Erzeugung und Ansammlung von statischer Elektrizität, während der Luftstrom, der Luftstrom und die Rohrleitung, die Ventilation, die Filter und andere Reibung, die Reibung des menschlichen Körpers und der Kleidung, die Reibung zwischen Kleidung, das Prozessschleifen, das Sprühen, das Strahlen, das Waschen, das Rühren, das Kleben und das Entfernen und andere Operationen, alle Auswahl kann statische Elektrizität erzeugen, im Allgemeinen, je kleiner die Leitfähigkeit der Nichtleiter (Isolator), da die Ladung nach der Erzeugung nicht einfach ist zu fließen, so wirkt es sich als leichter zu laden.

Das Problem mit statischer Elektrizität ist besonders ernst in den Reinraum, weil nicht nur die oben genannten Prozessfaktoren zur Erzeugung von statischer Elektrizität im Reinraum vorhanden sind, sondern auch weil viele Materialien im Reinraum wie Plastikboden, Wände, Nylon und andere Arbeitskleidung einen hohen Widerstand haben, die sehr leicht statische Elektrizität und statische Elektrizität erzeugen, bevor die statische Katastrophe im Reinraum nicht berücksichtigt wird, werden diese Materialien weit verbreitet.