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mfcsales@sevenstar.com.cn
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Adresse
8 Wenchang Avenue, Wirtschafts- und Technologieentwicklungszone, Peking (Postleitzahl: 100176)
Beijing Seven Star Huachang Durchflussmesser Co., Ltd.
mfcsales@sevenstar.com.cn
8 Wenchang Avenue, Wirtschafts- und Technologieentwicklungszone, Peking (Postleitzahl: 100176)
Vorteile
• CS100 Produkte sind kundenspezifisch gestaltet,
• Kunden können je nach Bedarf ±15V Dual Power oder +24 Single Power versorgen;
• Metalldichtungen oder Gummidichtungen;
• Die Produktgrößen sind sowohl für Produkte, die den internationalen SEMI-Standards entsprechen, als auch für Dichtprodukte erhältlich.
Technische Parameter
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CS100 |
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Modellnummer |
CS100A |
CS100D |
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Typ des Ventils |
Häufig geschlossen |
Keine |
Häufig geschlossen |
Keine |
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Durchflussspezifikation (N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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Genauigkeit |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
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Linear |
±0.5% F.S. |
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Wiederholungsgenauigkeit |
±0.2% F.S. |
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Reaktionszeit |
≤ 1sec |
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Arbeitsdruckdifferenzbereich |
0.05~0.35MPa; Durchflussspezifikation ≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; Durchflussspezifikation ≤10SLM |
<0.02 MPa |
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Temperaturfaktor |
Nullpunkt: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Einstellung: ≤ ± 0,1% FS / ℃ |
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Druckbeständigkeit |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
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Auslaufrate |
1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He) |
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Dichtungsmaterial |
Fluor Gummi |
Metalldichtung |
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Maximaler Arbeitsdruck |
0.45MPa |
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Arbeitsumgebungstemperatur |
(5~45)℃ |
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Eingabesignal |
Simulation: |
Nummer: RS485 |
Keine |
Keine |
Simulation: |
Nummer: RS485 |
Keine |
Keine |
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Ausgangssignal |
Simulation: |
Nummer: RS485 |
Analog: (0 bis 5) VDC |
Nummer: RS485 |
Simulation: |
Nummer: RS485 |
Simulation: |
Nummer: RS485 |
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Stromanschlussform |
Typ D 9 Stift Typ D 15 Stift |
Typ D 9 Stift Typ O 3 Nadeln |
Typ D 15 Stift |
Typ D 9 Stift Typ D 15 Stift |
Typ D 9-Pin-Verbindungen; O-Typ 3-Pin-Anschluss |
Typ D 15-polige Anschlüsse |
Typ D 9 Stift Typ D 15 Stift |
Typ D 9 Stift Typ O 3 Nadeln |
Typ D 15 Stift |
Typ D 9 Stift Typ D 15 Stift |
Typ D 9-Pin-Verbindungen; O-Typ 3-Pin-Anschluss |
Typ D 15-polige Anschlüsse |
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Stromversorgung |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
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Automatisch Null |
Unterstützung |
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Oberflächenrauheit |
25μinch Ra |
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Standardverbindungsform |
Doppelkarte φ6; Doppelkarte φ3; Doppelkarte 1/4´´; Doppelkarte 1/8´´; VCR1/4´´ Sonnenverbindung; φ6 (innen) x1 Schlauchverbindung; φ5 (innen) x1,5 Schlauchverbindung; φ4 (innen) x1 Schlauchverbindung |
VCR1/4″ Anschluss |
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Gewicht |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |
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