AIXTRON Stationäres Thermometer EX-C-7FL

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Das Hochpräzisionsthermometer EX-C-7FL von BASF wird als Bodentemperatur-Monitor (BOTTOM TEMPERATURE MONITOR) für AIXTRON G3, G4 und G5 MOCVD verwendet.

Produktdetails

Hauptmerkmale

Temperaturmessungen mit Kurzwellen	Hohe Präzision, Auflösung bis 0,01 ºC, Temperaturgenauigkeit 1,5 ºC
Wiederholbarkeit der Temperaturmessung 0,1 ºC, Temperaturdrift nicht höher als 0,1 ºC / Jahr	Messgeschwindigkeiten von bis zu 1.000 Werten/s
Digitale/analoge Ausgabe, leicht in das Steuersystem integriert

Detaillierte Beschreibung

AIXTRON Stationäres Thermometer EX-C-7FLDas hochpräzise Sapphire-Thermometer von BASF wird als BOTTOM TEMPERATURE MONITOR für AIXTRON G3, G4 und G5 MOCVD verwendet.

AIXTRON Stationäres Thermometer EX-C-7FLEnthält EI110-Sensor, Faseroptik, Sapphire-Rohr, IFD5-Digitalmodul, IFA5-Analogmodul, Unterstützungskabel usw., Temperaturmessbereich von 100-1800 ° C, Genauigkeit von bis zu 1,5 ° C, Wiederholbarkeit von 0,1 ° C.

BASF Exactus ® Serie ThermometerEs wird weit verbreitet in Halbleiterprozessen wie Schnellherzen, Schnelle Oxidation, Dünnfilm-Ablagerung und in mehrere MOCVD-Geräte sowie andere RTP-Geräte wie AIXTRON, LPE, Premtek usw. integriert. Aufgrund seiner hohen Temperaturgenauigkeit und Stabilität wird er auch von einigen Herstellern von Hochtemperatur-Schwarzofen als Temperaturnormalisator verwendet, wie Thermogauge.

Typische Anwendung

RTP Temperaturregelung	MOCVD Temperaturregelung
MBE Temperaturregelung	Temperaturmessgerät

technische Parameter

Messparameter
Temperaturbereich:	100 – 1800℃
Arbeitswellenlänge:	1550nm
Messgenauigkeit:	Besser als 1,5 ° C oder 0,15% Messwerte
Auflösung:	最高0.01℃
Wiederholungsgenauigkeit:	0.1℃
Temperaturverschiebung:	Maximal 0,10 ° C / Jahr Umgebung: 0,05 ℃ / ℃ @ 20-45 ℃, 0,10 ℃ / ℃ @ andere Temperaturen
Aufnahmen:	Sapphire Lichtröhre

Physikalische Parameter
Stromversorgung:	12-28 VDC, 3W
Lagertemperatur:	-20 bis 70 ℃
Umgebungstemperatur:	Elektronik: 0 - 60°C Spezielle Objektive in rauen Umgebungen: 0 - 250 ℃ Hochtemperaturfaser: 0 - 250 ℃
Gehäusematerial:	Sensor- und Objektivgehäuse, 304 Edelstahl/Aluminium; Luftblasgehäuse, Aluminium; Objektiv für raue Umgebungen: 304 Edelstahl;
Gewicht:	Standardthermometer, 0,510 kg (1,125 lbs.) Fasersensor, 0,198 kg (7 oz.)

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